Устройство для термообработки изделий на газодинамической подушке

 

Союз Соеетсиик

Социаинстичесиик

Респ

ОЛMC;> ;ßÈЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

898244

К йВТОРСНОМУ СВИДЕ1ЕЛЬСТВУ (61 ) Допол н и тел ьное к а вт. с вид-ву (22) Заявлено 15. 02. 80 (21) 2881700/22-02 с присоединением заявки И (23) Приоритет

Опубликовано 15 ° 01 ° 82. Бюллетень М 2

Дата опубликования описания 18 . 0 1. 82 (53)M. Кл.

F 27 В 9/20

Государственный квинтет

СССР но делам изобретений и открытий (53) УДК 621.

783.223 (088.8) (72) Авторы

В.И. Иванов, А.В. Барышев, И.Ф. Егорова Г.К.Васильев (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТЕРМООБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ

НА ГАЗОД,ДИНАМИЧЕСКОЙ ПОДУШКЕ

Изобретение относится к устройствам для термической обработки изделий, в частности к устройствам для термической обработки плоских изделий полупроводникового производства на газодинамической подушке и может быть использовано на предприятиях электронной промышленности.

Известна нагревательная печь, содержащая камеру нагрева и газотранс l6 портный лоток, имеющий направляющие дорожки с отверстиями - соплами (! ).

Наиболее близким техническим ре шением к предлагаемому является устройство для термической обработки

15 иэделий на газодинамической подушке, содержащее нагреватель и газотранспортный лоток с направляющими дорожками и расположенными в ней соплами. Нагреватель расположен над газотранспортным лотком, направляющая дорожка выполнена в виде петлеобразных секций, Устройство также имеет отражательную камеру (2 ).

Однако в этом устройстве на поворотных участках на направляющей дорожке происходят сколы краев и излом обрабатываемых пластин, а также возникают микротрещины и происходили случаи застревания обрабатываемых пластин, что в каждом случае проводило к браку и сбоям в работе устройства.

Целью изобретения является повышение качества обработки и надежности работы устройства.

Поставленная цель достигается тем, что, в устройстве для термической обработки изделий на газодинамической подушке, содержащем нагреватель, газотранспортный лоток с направляющей дорожкой и расположенными в ней соплами, нагреватель размещен на направляющей дорожке и выполнен в виде групп петлеобразных секций, направляющая дорожка выполнена с пазом для размещения нагревателя.

898244.На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. 1.

Устройство для термической обработки плоских изделий на гаэодинамичес- з кой подушке состоит из выполненного иэ нетокопроводящего материала, например керамики, лоток 1, с направляющей дорожкой 2, в которой расположены наклонные отверстия сопла 3, соединяющиеся с газовой камерой 4.

Нагреватель 5 выполнен в виде групп петлеобразных секций, например на основе резистивной пленки двуокиси оло. ва и размещен на поверхности направ- 15 .ляющей дорожки.2.

При использовании толстых пленок для нагревателей (и их видов) в направляющей дорожке 2 выполняют паз 6, форма которого соответствует форме

20 нагревателя, устанавливаемого заподлицо с направляющей дорожкой. Газотранспортный лоток 1 имеет установочные отверстия 7, а над ним расположе-. но изделие 8. Сверху над группами петлеобразных секций установлены экраны

9, выполненные например из кварца (на фиг. 1 не показаны).

Термообработка изделий 8, например круглых полупроводниковых плас30 тин, в устройстве для термической обработки изделий на газодинамической подушке осуществляется следующим образом. В газовую камеру 4 газотранспортного лотка 1 подают например сжатый воздух, обеспечивающий перемещение на газовой подушке изделия 8, над плоскостью направляющей дорожки

2 в направлении наклона отверстий сопел 3. На клеммы !О подается напря- 40 жение, под воздействием которого нагреватель 5 выделяет тепло. После выхода устройства на режим, на начало направляющей дорожки 2 подают изделие 8, которое перемещается между 45 экраном 9 и плоскостью направляющей дорожки 2. Проходя над каждой групI

;<1ой петлеобразных секций нагревателя 5 изделие 8 нагревается до заданной температуры, а на участках, свободных от петлеобраэных секций, изделие охлаждается, таким образом, производится цикличная термообработка изделий. Число групп петлеобразных секций соответствует числу циклов термообработки.

Использование данного устройства обеспечивает повышение качества обработки и повышение надежности работы устройства в виду того, что при обработке не происходит скола краев и изломов деталей и не бывает застревания деталей. Кроме того, конструкция устройства гроще и компактнее за счет того, что в нем отпадает необходимость в громоздкой водоохлаждаемой отражательной камере, что обеспечивает воэможность работы устройства в помещениях, где вода не подведена, кроме того, отпадает необходимость в соединительных водяных магистралях.

Формула изобретения

1. Устройство для термообработки изделий на газодинамической подушке, содержащее нагреватель и газотранспортный лоток с направляющей дорожкой и расположенными в ней соплами, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства, нагреватель размещен на направляющей дорожке и выполнен в виде групп петлеобразных секций.

2. Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, направляющая дорожка выполнена с пазом для размещения нагревателя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Англии h" 1058837» кл. F 4 В, 1967.

2. Авторское свидетельство СССР

IN 401185, кл. С 21 D 9/52, 1972.