Турбомолекулярный вакуумный насос

 

ОП ИСАНИВ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советсник

Социалистически к

Реслублми

<и 918552 (6!) Долоянителвиое к авт.свив-ву (22)Заявлено 29б07.80 (21) 2964298/25-06 (5()М. Кл. с лрисоединеввеа звввкв М -.

F 04 0 19/04

Ркуазрстееа4 кееиат

АССР вв авлаи кмбретеккй в еткрмткв (2ÈИриоритет"

Оаубликоввио 07.04 82 Бюллетень лЪ 13 (53 j УД К 62 1. 528..7(088.8) Дата овублвкованна олнсания 07,04. 8

К.E.Äåèèõîâ и П.А .Гончаров

i (72) Авторы изобретения

Носковское ордена Ленина и ордена Т

Знамени высшее техническое училище (7! ) Заявитель (54) ТУРЬОИОЛЕКУЛЯРНЬФ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуум . ной технике, а именно к устройству . турбомолекулярных вакуумных насосов, Наиболее близким к предлагаемому является турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий, корпус и размещенный в нем с зазором цилиндрический ротор с лопатками, расположенными параллельно оси насоса (1).

Недостатком известного насоса яв"

1О ляется снижение степени сжатия от" дельных ступеней, вследствие уменьшения линейной скорости лопаток по мере приближения к оси насоса.

Целью изобретения является поэм"

15 шение степени сжатия.

Указанная цель достигается тем, что в роторе установлены поперечные перегородки, разделяющие его на ряд ступеней, причем s- перегородках перед каждой нечетной по ходу откачиваемого газа ступенью выполнены радиальные прорези, в зазоре на уровне перегородок с прорезями расположены,уп лотняющие элементы, а лопатки в чет1ных и нечетных ступенях выполнены с противоположными углами наклона, с

На фиг. l представлен насос, продольный разрез; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.l", на фиг.3 - разрез Б-Б на фиг. 1; на фиг.4 - разрез 8"8 на фиг. 1, Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус l и размещенный в нем с зазором цилиндрический ротор 2 с лопатками 3, расположенными. параллельно оси насоса, при этом в роторе

2 установлены поперечные перегородки

4 и 5, разделяющие его на ряд ступеней, причем в перегородках 4 перед каждой нечетной по ходу откачиваемого газа ступенью выполнены радиальные прорези 6, в зазоре на уровне перегородок 4 с прорезями 6. расположены уплотняющие элементы 7, а лопатки 3 в четных и нечетных ступенях выполнены с противоположными углами наклона.

552

Формула изобретения

3 918

Насос работает следующим образом.

Газ из откачиваемого объема поступает к прорезям 6 в перегородке 4 перед первой ступенью насоса, выполняющим функции рабочего колеса с осевым потоком газа. Затем он поступает к лопаткам 3, расположенным на цилиндрической поверхности ротора 2.

Здесь газ имеет радиальное направление от центра к периферии. Попадая в зазор между ротором 2 и корпусом газ меняет направление вследствие .изменения угла наклона лопаток второй ступени на противоположный по отношению к первой ступени и движется от периферии к центру насоса. Далее процесс повторяется аналогично первой ступени и газ нагнетается в форвакуумную магистраль.

Таким образом, лопатки всех ступеней. имеют максимально допустимую линейную скорость, которая обеспечивает повышенную степень сжатия насоса.

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и размещенный в нем

5 с зазором цилиндрический ротор с лопатками, расположенными параллельно оси насоса, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, в роторе установлены попереч<0 ные перегородки, разделяющие его на ряд ступеней, причем в перегородках перед каждой нечетной по ходу откачиваемого газа ступенью выполнены радиальные прорези, в зазоре на уровне

15 перегородок с прорезями расположены уплотняацие элементы, а лопатки в четных и нечетных ступенях выполнены с противоположными углами наклона.

20. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1 Авторское свидетельство СССР

И 174/14, кл. F 04 Р 19/04, 1964.

918552

A-4 фю Юрьи

Р

l"

Составитель В.Кряковкин

Редактор А,Долинич Техред A. Ач Корректор С.йекмар

Заказ 2090/13 Тираж 671 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб; д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.Ужгород, ул.Проектная, 4