Молекулярный вакуумный насос
ОП ИСАНИ Е ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советснми Социалистнческик Республик (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву(22)Заявлено 12.12.80 (21) 3219278/25 06 с присоединением заявки .% (23) Приоритет (53)M. Кл. F 04 D 19/04 1Ъоударстввниый комитет СССР Опубликовано 30. 05. 82. Бюллетень .% 20 Дата опубликования описания 30.05.82 по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.528. .7(088.8) (72) Авторы изобретения В.П.Иванов и В.Н.Христачев Научно-исследовательский институт прикла и кибернетики при Горьковском государств им.Н.И.Лобачевского (7I ) Заявитель (54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС Изобретение относится к вакуум- ной технике, а именно к устройству молекулярных вакуумных насосов. Известен молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с размещенными в нем статором и ротором, вы5 полненным в виде пакета дисков, установленных на валу (1 . Недостатком известного насоса является невысокая надежность, так как неточности, возникающие при жесткой сборке дисков ротора с валом, приводят к перекосу ротора при высоких скоростях вращения, а следовательно, к неравномерности нагрузки на подшипники. Цель изобретения — повышение надемности работы насоса. Указанная цель достигается тем, что каждый диск ротора установлен на валу посредством сферического шарнира, выполненного в виде закрепленной на диске цилиндрической обоймы с прорезями и контактирующеro с ней сферического кольца, жестко закрепленного на валу и снабженного диаметральными выступами, расположенными в прорезях обоймы. При этом обойма имеет высоту, не превышающую ширину кольца ° На фиг.1 представлен насос, продольный разрез; на фиг.2 - узел I на фиг.1. Молекулярный вакуумный насос ° содержит корпус 1 с размещенными в нем статором 2 и ротором 3, выполненным. в виде пакета дисков 4, установленных на валу 5, причем каждый диск 4 ротора 3 установлен на валу 5 посредством сферического шарнира 6, выполненного в виде закрепленной на диске 4 цилиндрической обоймы 7 с прорезями 8 и контактирующего с ней сферического кольца 9, местко закрепленного на валу 5 и снабженного диаметральными выступами 10, расположенными в прорезях 8 обоймы 7. 931977 Формула изобретения Насос работает следующим образом. При вращении ротора 3 откачиваемый газ, взаимодействуя с роторными дисками 4 и статором 2, переносится 5 с входа насоса к выходу из него. Шарнирная связь дисков 4 с валом 5 обеспечивает при больших оборотах вала их самоустанавливаемость в положение, перпендикулярное оси вращения. При этом цилиндрическая обойма 7, закрепленная на диске 4, имеет возможность поворачиваться около сферического кольца 9, жестко закрепленного на валу 5, причем поворот возмомен лишь в плоскости, определяемой расположением прорезей 8 обоймы 7 и выступов 10. кольца 9. Поворот же диска 4 вокруг вала 5 невозможен, что уменьшает конечную величину дис- го баланса ротора. Использование шарнирного соединения дисков с валом дает возможность в целом повысить надежность работы насоса, уменьшая износ подшипниковых 25 узлов. 1. Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с размещенными в нем статором и роторам, выполненным в виде пакета дисков, установленных на валу, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы, каждый диск ротора установлен на валу посредством сферического шарнира, выполненного в виде закрепленной на диске цилиндрической обоймы с прорезями и контактирующего с ней сферического кольца, жестко закрепленного на валу и снаб женного диаметральными выступами, расположенными в прорезях обоймы. 2. Насос по п.1, о т л и ч а юшийся тем, что обойма имеет высоту, не превышающую ширину кольца. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент ФРГ И 1628352, кл. 27 с, 15/04, опублик.1968.
