Криогенный конденсационный насос

 

ОПИСАНИЕ< 964226

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советск ив

Социалистические

Республик (6l ) Дополнительное к ввт. свид-ву (22) Заявлено 02.04.81(21) 3271184/25 06 (51)NL. Кл.

F 04 В 37/08 с присоединением заявки ¹

3Ьеудеротванимй комитет

СССР ио делам изобретений и отнрнтий (23) П риоритет

Опубликовано 07.10.82. Бюллетень № 37 (53) УДК 621 528.. 1(088.8) Дата опубликования описания 10. 10.82 (72) Авторы изобретения

В. Г. Мартыненко и В, Л. Першин (71) Заявитель (54) КРИО|ЕННЪ|Й КОНДЕНСАЦИОННЪ|Й НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть применено для по-, лучения сверхвысокого безмасляного вакуума.

Известен криогенный насос, у которого откачнваюший.элемент помешен внутри охлаждаемого радиационного экрана, выполненного в виде стакана, плоское дно и цилиндрическая часть которого иэготов лены в виде шеврона (1$ .

Хотя наличие цилиндрической части радиационного экрана и дает воэможность обеспечить максимальную откачиваюшую способность поверхностей, охлаждаемых жидким гелием, но при использовании насоса в отдельном корпусе для атого необходимо увеличить диаметр корпуса насоса, чтобы обеспечить соответствующую проводимость потока откачиваемого газа.

° При атом сохраняются основные недостат ки насоса - повышенный расход хладагента, связанный с увеличенным потоком тепла через почерненный шеврон и от этого шеврона, а. также увеличенное время достижения предельного вакуума, свя занное с наличием явления переконденсации откачиваемого газа с относительно более теплых поверхностей откачивающего элемента на более холодные.

Известен также криогенный конденсационный насос, содержащий корпус, снаб женный по меньшей мере одним боковым щ патрубком, расположенным со стороны нижнего подсоединительного фланца корпуса, и размешенный в корпусе внутри охлаждаем ого экрана откачиваюший элемент в виде сосуда, под которым установц лен радиационный экран 2 ) ..

В известном насосе недостаточно используется максимальная откачиваюшая способность днища сосуда.

|1ель изобретения - повышение быс:г20 роты откачки.

Указанная цель достигается тем, что акран выполнен в виде стакана, располо

1 женного в зоне бокового патрубка и вы

3 9642 попненного в нижней части с уменьшающимся к подсоединительному фланцу hone- . речным сечением.

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Криогенный конденсационный насос содержит корпус 1, снабженный по мень шей мере одним боковым патрубком 2, расположенным со стороны нижнего подсоединительного фланца 3 корпуса 1, и !й размещенный в корпусе 1 внутри оклад» даемого экрана 4 откачиваюший элемент в виде сосуда 5, под которым установлен радиационный экран, выполненный в виде стакана 6, расположенного в зоне боково- 5 гр патрубка 2 и выполненного в нижней части 7 с уменьшающимся к подсоединительному фланцу 3 поперечным сечением.

Насос работает следующим образом.

Полость, насоса откачивают вспомогательным насосом (не показан) до давления 1 10 Па (10 «10 мм. рт.ст,)..

Затем полость экрана 4. залолняют жидким GGO FoM > & сосуд 5 заполняют жидким гелием. Откачиваемый гаэ имеет доступ к конденсирующим поверхностям сосуда 5 через радиационный экран только в зоне его днища и обращенного к почерненному радиационному экрану, что определяет экономичность насоса и уменьшает время,, достижения предельного вакуума яэ-юа отсутствия явления переконденсации молекул откачанного газа с относительно бо лее теплых конденсирующих поверхностей на более холодные. При,откачке через нижний подсоединительный . .: фланец 3 . имеет доступ потока откачиваемого газа к откачивающим поверхностям не только через нижнюю часть 7 радиационного экрана, но и через цилиндрическую поверх. ность стакана 6, а при откачке через бо

40 ковой патрубок 2 имеется доступ потока откачиваемого газа к откачивающим по верхностям не только через цилиндрическую поверхность стакана 6 радиационного экрана/но и через нижнюю часть 7, что

26 4 позволяет повысить быстроту откачки наооса.

При выполнении радиационного экрана в виде стакана появляется возможность увеличения быстроты откачки насоса путем максимального использования откачивающей способности днища откачивающего элемента, так как молекулы откачиваемого газа имеют доступ ко всему конденсирующему днищу. Однако эта возможность может быть реализована с наибольшим эффектом только в том случае, когда радиационный экран расположен в зоне бокового патрубка и нижняя часть экрана выполнена сужающейся в сторону нижнего подсоединительного фланца насоса.

Форма нижней части экрана позволяет, кроме того, увеличить общую площадь . радиационного экрана и, следовательно, повышает быстроту откачки.

Формула изобретения

Криогенный конденсационный насос, содержащий корпус, снабженный по меньшей мере одним боковым патрубком; расположенным со стороны нижнего подсоединительного фланца корпуса, и размещенный в корпусе внутри охлаждаемого экрана от качивающий элемент в виде сосуда,.под которым установлен радиационный экран, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки, экран выполнен в виде стакана, расположенного в зоне бокового патрубка и выполненного в нижней части с уменьшающимся к под» соединительному фланцу поперечным сечением.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Франции М 1526289, кл. F 04 Х, 1967.

2. Авторское свидетельство СССР

% 392268, кл, 04 В 37/08, 1971.

964226

Составитель О. Тишина

Редактор В. Пилипенко Техред М.Тенер . КоРректоР М. йемчик

Заказ 7584/8 Гираж 678 Подписное

ВНИИПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, XMS, Раушскаа наб., д. 4IS

Филиал ППП Патент г. Ужгород, ул. Проектнаи, 4