Способ изготовления многослойной печатной обмотки
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Соеетских
Социалистических
Республик
Н 02 К 24/00 Н 02 К 3/26 Н 02 К 15/ 00 с присоединением заявки ¹ Государственный комитет . CCCP llo делам изобретений и открытий (23) Приоритет 1531УДК 621. 3i3 ° 13. .049.75.001. . 2 (088. 8) Опубликовано 07.10.82. Бюллетень ¹ 37 Дата опубликования описания07.10.82 В. П. Гранкин, М. Ф. Каштанов, Л. Я. Кузнецо В.A. Лабунов, Н.Д. Махотин, И.М. Нуждин, . ВСЕСОЮЗЙ(А л В. Н. Прохоров, Ю. В. Решетников, В. A. Сокол и И.И. Сычков ТЕХНИЧКИ<"" (72) Авторы . изобретения (У! ) Заявитель Ь|1ЛИОТЕНА (54 ) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНОЙ. ПЕЧАТНОЙ ОБМОТКИ Недостатками известного способа являются низкая надежность межслоевой изоляции ийдуктосина, низкая точность преобразования индуктосина, обуслов5 ленная неплоскостностью печатных с.юев, вследствие ступенчатого характера. поверхности под приклейку второго и . следующего слоев обмотки, низкий уровень выходного сигнала и, как следат ! 0 вие, пониженная помехозащищенность индуктосина, из-за большой, порядка 0,05 мм, толщины межслоевой изояяции. Целью изобретения является обеспе". чение высокой надежности -индуктосина, повышение точности преобразования и помехоэащищенности. Поставленная цель достигается тем, что изоляционный подслой каждого печатного слоя многослойной обмотки по20 лучают сквозным химическим анодиро- . ванием слоя алюминия по всему объему металла, а печатный слой образуют сквозным химическим анодированием алюминия s м еeсoтTаeх, незащищенных контактной маской. 25 На фиг. 1 схема,,ески показан индуктосин, реализующий предлагаемый способ; на фиг. 2 - фрагмент сечения слоя печатной обмотки. На несущее основание ротора 1,ста тора 2(фиг.1)наносят,например, методоМ ". Изобретение относится к автомати- ке, вычислительной технике и может быть использовано в электрических ма- шинах с печатными обмотками. Известен способ изготовления печатной обмотки индуктосина, при котором обмотку получают химическим вытравливанием участков медной фольги, приклеенной к изоляционному слою, в местах, соответствующих расположению изоляционных промежутков обмотки (1). Недостатком этого способа является низкая надежность защитного изоляционного покрытия, нанесенного на поверхность обмотки, иэ-за наличия острых кромок на краях печатных проводников. Наиболее близким к "предлагаемому по техническому решению является способ выполнения многослойной печатной обмотки, заключающийся в последовательном изготовлении отдельных печатных слоев и включающий oneрации нанесения слоя металла, получения фотоотпечатка, являющегося защитной кОнтактной маской на поверхности слоя, хнмической обработки металла слоя, при которой участки фольги, незащищенные фоторезистом,.удаляются, и на,несения изоляционной пленки между слоями пРОВодников (2), 964881 Формула изобретения 44г. 1 Фиг. Г подписное ВНИИПИ Заказ 7682/41 Тираж 721 Филиал ППП"Патент", r. ужгород, ул. Проектная,4 вакуумного напыления слой алюминия толщиной 1-3 мкм и подвергают его сквозному химическому анодированию пс .всему объему слоя, превращая era тем самым в слой изоляции З.Поверх этого слоя напыляют слой алюминия высотой в Р соответствии с заданными размерами проводящего слоя обмотки.На .поверхности слоя .методом фотолитографии получают контактную защитную маску, повторяющую рисунок обмотки. Места, не- !О защищенные маской, подвергают сквозному химическому анодированию, благодаря чему образуется слой печатной обмотки 4, в которой (фиг. 2) печатные проводники 5 иэ алюминия разделе-. 5 ны участками изоляции б из. анодированного алюминия. Снова напыляют слой алюминия толщиной 1-3 мкм, .подвергают его сквозному химическому анодироваиию по всему объему слоя, обеспечивая таким образом межслойную изоляцию 7 (фиг I) обмотки. Вновь напыляют слой алюминия высотой согласно заданным размерам второго проводящего слоя обмот.ки и повторяют операции Фотолитографии и сквозного химического анодирования в соответствии с количеством слоев печатной обмотки ротора и ста- . тора индуктосина. Предлагаемый способ выполнения мно гослойной печатной обмотки обеспечн- ® вает получение высокого уровня плоскостности слоев так как участки анодированного и неанодированного алюминия мало разнятся по высоте, высокую надежность межслоевой изоляции из анодированного алюминия при высоте изолирующего слоя.в единицы микрон и, как следствие, высокую надежность, повышенную точность и помехозащищенность индуктосина. Способ изготовления многослойной печатной обмотки, заключающийся в последовательном изготовлении на несущем основании отдельных печатных слоев путем нанесения слоя изоляционной пленки, нанесения .слоя алюминия, нанесения на этот слой защитной контактной маски, химической обработки слоя алюминия, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения надежности и точности, изоляционный слрй получают путем нанесения слоя алюминия и сквозным химическим анодированием этого слоя, а слой проводников обмотки получают сквозным химическим анодированием слоя алюминия в местах, незащищенных контактной маской. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент США Р 3202948, кл. 336-115, 196 1 ° 2. Патент CIdA 9 3668587, кл. 336-123, 1972.
