Способ локального рентгеноспектрального анализа образцов в электронном микроскопе с микроанализатором

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) 9(51) G 01 Н 23 225

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABT0PCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2983899/18-25 (22) 26.09.80 (46) 23.03.84. Бюл. 9 11 (72) М.A.Êèïíèñ и Г.М.Корсунский (53) 539.25 (088.,8) (56) 1. Засичев Б.Н. Электроннозондовый микроанализ тонких пленок.

М., "Металлургия ", 19 7 7.

2. ТО и инструкция по эксплуатации ЭММА-2. Сумский завод электронных микроскопов, 1972 (прототип). (54)(.57) СПОСОБ ЛОКАЛЬНОГО РЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНОГО АНАЛИЗА ОБРАЗЦОВ .В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ С MHKPOAHAЛИЗАТОРОМ, включающий выделение анализируемого участка поверхности образца и проведение микроанализа, отличающийся тем, что, с. целью обеспечения проведения локального анализа образца без его разрущения и загрязнении, на обоазец наносят пленку из материала, спектр излучения которого отличается от спектра излучения материала образца и с отверстием на выбранном участке поверхности образца, а нахождение выбранного участка осуществляют пере,мещением образца под электронным зондом и регистрацией спектра рентгеновского излучения.

1081496

Составитель С.Петров

Техред И.Надь Корре к тор Г . Р ешет н и к

Редактор З .Данко

Заказ 1538/37 Тирая 823 Подписное

ЗНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Филиал ППП "Патент"., r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к технике рентгеноспектрального анализа и может быть использовано при локальном рентгеноспектральном анализе поверхности массивных образцов в просвечивающем электронном микроскопе с микроанализатором.

Известен способ рентгеноспектрального анализа в электронном микроскопе с микроанализатором 1 ).

Однако этот способ предназначен для анализа только тонких ббразцов.

Известен также способ локального рентгеноспектрального анализа образцов в электронном микроскопе с микроанализатором, включающий выделение анализируемого участка образца и проведение микроанализа.

Выделение участка производят по отверстию в образце. Образец при этом помещается в микроскоп, и электронный зонд фокусируется у края отверстия Г2 3.

Однако при изготовлении отверстия в образце можно частично разрушить область поверхности вблизи отверстия или загрязнить ее.

Цель изобретения — обеспечение проведения локального анализа образца беэ его разрушения и загрязнения.

Цель достигается тем, что согласно способу, включающему выделение анализируемого участка поверхности образца и проведение микроанализа, на образец наносят пленку из материала, спектр излучения которого отличается от спектра излучения материала образца и с отверстием на выбранном участке поверхности образца, а нахождение выбранного участка осуществляют перемещением образца под электронным зондом и регистрацией спектра рентгеновского излучения.

Уменьшение сигнала линии материала пленки свидетельствует о том, что электронный зонд находится на выбранном для анализа участке поверхности образца. Материал пленки выбирается таким образом, чтобы его интенсивные линии не накладывались на линии анализируемого образца.

Пример. Проводился локальный рентгеноспектральный анализ поверхности образца из сплава на основе железа в электронном микроскопе с микроанализатором ЭММА-2, Диа15 метр образца 3 мм, толщина 1 мм.

На поверхность образца напылялась медная пленка с отверстием на исследуемом участке поверхности. Диаметр отверстия 50 мкм, толщина пленки

0,5 мкм. Образец помещался в микроскоп и спектрометр настраивался на

К вЂ” линию Си. Образец перемещался I под электронным зондом до резкого уменьшения величины сигнала. Это свидетельствовало о том, что электронный зонд находился на исследуемом участке, После этого проводился качественный анализ поверхности образца.

Использование предлагаемого способа обеспечивает по сравнению с известным возможность получения рентгеновского спектра с определенного заданного участка поверхности без частичного его разрушения и загрязнения.

Предлагаемый способ может исполь-. зоваться для рентгеноспектрального анализа контактов и контактных пру49 жин электромагнитных реле.