Ротор турбомолекулярного насоса (его варианты)

 

1. Ротор турбомолекулярного насоса, содержащий вал с торцовой расточкой, в которой размещена цапфа , отлич ающийся тем, что, с целью повышения надежности в работе путем уменьшения теплопритоков к валу, на цоверхности расточки выполнены канавки, a цапфа снабжена продольными ребрами и охватывающим их многослойным ниэкотеплопроводным элементом. 2. Ротор турбомолекулярного насоса , содержащий вал с торцовой расточкой , в которой размещена цапфа, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности в работе путем уменьшения теплопритоков к валу , на поверхности расточки вьшолне9 ны канавки, в которых расположены шарики, контактирующие с цапфой.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

ШЛЮЛНО

РЕСПУБЛИК

ЗФЮ F 04 D 19/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТБЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

М АВТОРСНОМЪ 0ВИДВТВЪСТВМ

L

Фф

C (21) 3548872/25-06 (22) 04.02.83 (46) 23.06.84. Бюл. У 23 (72) В.В.Полосов и Н.К.Никулин (71) МВТУ им. Н.Э.Баумана (53) 621.675 (088.8) (56) 1. Фролов Е.С. Турбомолекулярные вакуумные насосы. М., "Энергия", 1980, с. 90.

2. Патент США У 3536418, кл. 417-49, опублик. 1970. (54) РОТОР ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА (ЕГО ВАРИАНТЫ). (57) 1. Ротор турбомолекулярного насоса, содержащий вал с торцовой расточкой, в которой размещена цап,SU.„099124 А фа, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности в работе путем уменьшения теплопритоков к валу, на поверхности расточки выполнены канавки, а цапфа снабжена продольными ребрами и охватывающим их многослойным ниэкотеплопроводным элементом.

2. Ротор турбомолекулярного насоса, содержащий вал с торцовой расточкой, в которой размещена цапфа, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности в работе путем уменьшения теплопритоков к валу, на поверхности расточки выполнены канавки, в которых расположены шарики, контактирующие с цапфой.

1099124

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен ротор турбомолекулярного вакуумного насоса, содержащий вал с роторными колесами, размещенными в корпусе на подшипниках (13.

Недостатком этого ротора является то., что он имеет температуру,, равную температуре подшипников.

Известен также ротор турбомолеку- 10 лярного насоса, содержащий вал с торцовой расточкой, в которой размещена цапфа. Ротор размещен в охлаждаемом корпусе (2 J.

Однако в известном роторе вслед- 35 ствие теплопритоков от подшипников к валу снижается его надежность и увеличивается расход хладагента.

Целью изобретения является повышение надежности работы путем умень- 2О шения теплопритоков к валу.

Укаэанная цель достигается тем, что согласно первому варианту в роторе турбомолекулярного насоса, содержащем вал с торцовой расточкой. 25 в которой размещена цапфа, на поверхности расточки выполнены канавки, а цапфа снабжена продольными ребрамн н охватывающим их многослойным низ" котеплопроводным элементом. ЗО

При этом согласно второму варианту на поверхности расточки выполнены канавки, в которых расположены шарики, контактирующие с цапфой.

На фиг. 1 изображен ротор по первому варианту, на фиг. 2 — ро ор по второму варианту.

По первому варианту ротор турбомолекулярного насоса содержит вал 1 с торцовой расточкой, в которой размещена цапфа 2. На поверхности расточки выполнены канавки 3, а цапфа

2 снабжена продольными ребрами 4 и охватывающим их многослойным низкотеплопроводным элементом 5.

По второму варианту ротор турбомолекулярного насоса содержит вал

1 с торцовой расточкой, в которой размещена цапфа 2. На поверхности расточки выполнены канавки 3, в которых расположены шарики б, контактирующие с цапфой 2.

Наличие продольных ребер на цапфе и канавки на поверхности расточки вала и установка между ними охватывающего цапфу многослойного элемен-. та с, большим термическим сопротивлением снижает приток тепла от подшипника к валу на 407.

Установка между валом и цапфой шариков также значительно снижает теплоприток.

Снижение притока тепла от подшипников к валу повышает надежность и снижает расход хладагента на охлаж,цение корпуса насоса.

1099124

1099124

Составитель О.Тишина

Техред С.Мигунова

Редактор В.Данко

Корректор О.Билак

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4

Заказ 4345/30 Тираж б24 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5