Устройство для ввода образцов из атмосферы в вакуум

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВОДА ОБРАЗЦОВ ИЗ АТМОСФЕРЫ В ВАКУУМ, содержащее корпус с системой уплотнений и камерами предварительной и высоковакуумной откачки, в котором размещен шток с объектодержателем и механизм oceaoVo перемещения штока , отличающееся тем, что, с целью увеличения надежности и удобства в эксплуатации, шток вьшолнен разъемным в виде цилиндра с наружной проточкой, сопряженной с гильзой, жестко связанной со стержнем, размещенным в продольном отверстии, выполненном в цилиндре, и снабженным коническим зубчатым колесом, образующим зубчатую пару с приводом осевого перемещения гильзы. 2.Устройство по П.1, отличающееся тем, что в цилиндре выполнено второе продольное отверстие , в котором размещен дополнительный стержень, соединенньй одним концом через вторую зубчатую пару с приводом вращения, а другим - с . кулачком, торцовая поверхность которого выполнена с возможностью взаиi модействия с толкателем, связанным системой рычагов с подпружиненным СП сбрасывателем образцов с объектодёржателя , выполненного в виде гильзы с выступом и сквозными секторньми пазами, один из которых совмещен с входом магазина-накопителя, расположенного в осевой полости штока, а выступ объектодержателя выполнен с 00 возможностью взаимодействия с радиальной поверхностью кулачка, 3.Устройство по П.1, о т л и чающееся тем, что стержни СП уплотнены в цилиндре тороидальными уплотнителями.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 Н 01 Л 37/20

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H ABTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3689437/24-21; 3689143/24-21 (22) 04.01.84 (46) 23.09.85. Бюл. 9 35 (72) Ю.И. Назаренко (71) Сумский завод электронных микроскопов им. 50-летия-ВЛКСМ (-53) 543.51(088.8) (56) Фэерман В.И. и др. Вакуумный шлюз для масс-спектрометрического анализа поверхностных загрязнений.—

ПТЭ, M. 1982, У 2., с. 188- t89.

Стоффелс и Лагергрен. Плунжерный. вакуумный шлюз для масс-спектрометра. Приборы для научных исследований. M., 1969, с. 19-21. (54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВОДА

ОБРАЗЦОВ ИЗ АТМОСФЕРЫ В ВАКУУМ, содержащее корпус с системой уплотнений и камерами предварительной и высоковакуумной откачки, в котором размещен шток с объектодержателем и механизм осевого перемещения штока, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, .с целью увеличения надежности и удобства в эксплуатации, шток выполнен разъемным в виде цилиндра с наружной проточкой, сопряженной с гильзой, жестко связанной со

„„SU„„1181015 A стержнем, размещенным в продольном отверстии, выполненном в цилиндре, и снабженным коническим зубчатым колесом, образующим зубчатую пару с приводом осевого перемещения гильзы.

2. Устройство по п.1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что в цилиндре выполнено второе продольное отверстие, в котором размещен дополнительный стержень, соединенный одним концом через вторую зубчатую пару с приводом вращения, а другим — с . кулачком, торцовая поверхность которого выполнена с возможностью взаимодействия с толкателем, связанным системой рычагов с подпружиненным сбрасывателем образцов с объектодержателя, выполненного в виде гильзы с выступом и сквозными секторными пазами, один из которых совмещен с входом магазина-накопителя, расположенного в осевой полости штока, а выступ объектодержателя выполнен с возможностью взаимодействия с радиальной поверхностью кулачка.

3. Устройство по п. 1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что стержни уплотнены в цилиндре тороидальными уплотнителями.

11810

Изобретение предразначено для ввода образцов из атмосферы в высоковакуумный объем и может быть использовано в приборостроении.

Цель изобретения — увеличение на. дежности и удобства в эксплуатации эа счет нового конструктивного решения механизма ввода и вывода образцов и выполнения штока разъемным.

На фиг. 1 изображено устройство для ввода образцов, осевое сечение; на фиг. 2 — то же, другое исполнение; на фиг. 3 — изометрическое построение звеньев устройс тва.

Устройство содержит (фиг. 1) корпус 1 с системой уплотнений 2, служащих для вакуумплотного закрепления в нем штока 3, предназначенного для перемещения иэ атмосферы в вакуум объектодержателя 4 при помощи механизма 5 для осевого перемещения.

Шток выполнен разъемным, состоящим иэ цилиндра 6 с наружной проточкой

7, сопряженной с гильзой 8. Гильза 8

25 жестко связана со стержнем 9, на другом конце которого закреплено коническое зубчатое колесо 10, образующее зубчатую пару с зубчатым колесом 11 привода 12 осевого перемещения гильзы, Механизм смены образ-, З0 цов (фиг. 2 и фиг. 3) состоит иэ кулачка 13, который закреплен на конце второго стержня; 14 и торцовая поверхность которого взаимодействует с толкателем 15, связанным 35 двумя рычагами 16 и 17 с подпружиненным пружиной 18 сбрасывателем

i9 образцов объектодержателя 4, предназначенного для хранения образцов, выполненного в виде гильзы 40 с выступом 20 и сквозными секторными пазами 21 и 22, в один из которых входит сбрасыватель 19, а другой расположен рядом с магазином-накопителем 23, служащим для хранения про- 45 анализированных образцов. На другом конце стержня 14 закреплено коническое зубчатое колесо 24, которое образует зубчатую пару с зубчатым колесом 25 привода 26 вращательного дви- 50 жения кулачка 13. Стержни уплотнены в гильзе посредством тороидальных уплотнителей 27.

Устройство работает следующим об— разом. 55

В момент загрузки образцов элемент штока 3 (гильза 8) смещен относительно цилиндра 6 влево,- чем обеспечива15 г ется доступ к объектодержателю 4.

Образцы упорядоченно, в заданной последовательности вводятся в секторный паз 22 (фиг. 3) в верхней части объектодержателя 4. Первый образец ложится на столик, подпружиненный снизу, второй образец вводится в секторный паэ над отведенным предварительно вниз при помощи пинцета первым образцом. Третий образец, введенный вслед, располагается в объектодержателе над вторым и так далее, вплоть до загрузки последнего образца. При помощи привода 12 для перемещения гильзы 8 (фиг. 1 и 2) производится смещение гильзы до смыкания с цилиндром 6 по плоскости разъема. Шток 3 вводится в область промежуточной откачки, Ha форвакуум при помощи привода 2 и гильза 8 вновь отводится от плоскости разъема с цилиндром для откачки образцов до давления форвакуумной магистрали. Затем гильза переводится вправо, зазор между ее торцовой,поверхностью и уступом цилинд-. ра сводится к нулю, чем обеспечивается дальнейшее продвижение штока с объектодержателем 4 в высоковакуумный объем корпуса 1. Гильза вновь переводится в левое крайнее положение, и происходит откачка образцов на высокий вакуум. Затем осуществляется подвод рабочей поверхности (торца) первого образца к фокальной плоскости — в зону действия пучка первичных ионов. Для этого от привода 26 (фиг. 2) вращение передается на зубчатую пару (колеса 24 и 25), от нее — через стержень 14 на кулачок 13. От кулачка движение передается на объектодержатель, имеющий выступ 20 (фиг. 3), связанный с радиальным профилем кулачка. При вращении кулачка происходит первоначальное передвижение объектодержателя вверх. Первый образец совмещен с плоскостью фокусирования, и производится анализ первого образца, по завершению которого дальнейшим вращением кулачка в том же направлении объектодержатель вместе с образцами движется вниз. В момент когда совмещаются радиальный секторный паэ 21 в верхней части объектодержателя и сбрасыватель 19, последний полу— чает перемещение от торцовой по11 8101 5

i Откр««м фр ф. /@лууп нг форбамуун

С Л,г гС ZS

«ы

I верхности кулачка через систему двух плоских рычагов 16 и 17 (фиг. 3) и толкателя 15, входит в секторный паз 21 и выталкивает через секторный паэ 22 образец из объектодержателя в магазин-накопитель 23.

После этого второй образец становится на место первого образца и осуществляется новый цикл перемеще.,ний и анализа.

По завершении анализа всех образ-. цов шток 3 при сомкнутых по плоскости разъема гильзе и цилиндре выводится из области высокого ва5 куума, минуя остановку в области промежуточной откачки, в атмосферу, и производятся вывод проанализированных образцов из магазина-на,копителя и загрузка в объектодержатель второй партии образцов °

Составитель В. Чалый

Редактор О. Бугир Техред М.Пароцай КорректорА. Зимокосов

Заказ 5938/54 Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4