Камера объектов электронно-зондового анализатора

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

<„1974456 (61) Дополнительное к авт. сеид-еу (22) Заявлено 20.0278 (21) 2581544/18-25 с присоединением заявки ¹ (23) ПриоритетОпубликовано 151182. Бюллетень ¹42

Дата опубликования описания 151182

311М Кл з

H 01 J 37/20

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621. 385. .833(088.8) A.Ô. Панов, В.И. Морозов, К.A. Макаров и A.Â. Руднев (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) КАМЕРА ОБЪЕКТОВ ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВОГО

АНАЛИЗАТОРА

Изобретение относится к приборостроению, а точнее к рентгено-спект-. ральным микроанализаторам и к растро вым электронным микроскопам, а более конкретно к входящим в состав этих приборов камерам объектов, обеспечивающим необходимые перемещения объектов в процессе их исследования.

Известна камера объектов рентге- 1р новского микроанализатора, которая содержит столик, механизмы его плавного и быстрого перемещения, шкалы и механизм смены объектов (1).

Известна также камера объектов, .в которой для оптического наблюдения образца, подвергаемого электронноэондовому анализу, смонтирован барабан, поворачиваемый на 180, несущий образец 2).

Наиболее близкой к изобретениЮ по технической сущности является камера объектов электронно-эондового анализатора, содержащая вакуумируемый корпус, подвижный столик и механизмы

его привода, включающие шлицевые

25 валики и зубчатые передачи 13) .

Недостатком протитипа является невозможность осуществить быстрое изменение режима -работы анализатора, вследствие того, что плита, приводи мая в движение винтом и несущая столик, размещена вне вакуумного объема камеры объектов.

Цель изобретения — обеспечение оперативного изменения режима работ анализатора без изменения габаритов камеры объектов.

Для решения поставленной задачи внутри корпуса камеры объектов электронно-зондового анализатора, содержащей вакуумируемый корпус, подвижный .столик и механизмы его .привода, включающие шпицевые валики и зубчатые передачи, смонтирована каретка, несущая столик и элементы

|механизмом его привода, с возможностью. поступательного перемещения по направляющим, которьхии служат шпицевые валики, а механизм привода каретки выполнен в виде кривошнпа с подпружинейным, телескопически выдвигающимся упором, находящимся в сцеплении со стенками паза, выполненного в основании каретки.

На фиг. 1 показана предлагаемая камера объектов, разрез; на фиг. 2— устройство кривошнпа с подпружиненным упором (разрез A A на фиг. 1).

Камера объектов содержит герметичный высоковакуумируемый кор974456 пус 1, в котором расположена рама 2, каретка 3, вилка 4, столик 5 для объекта 5, шлицевые валы 6 и 7 приводов наклона и перемещения столика, механизм перемещения каретки 3 вдоль оптической оси 004 „ состоящей 5 иэ валика 8, проходящего в вакуумируемый корпус через уплотнение 9, закрепленного на валике 8 кривошипа 10 с телескопически выдвигающимся упором 11, с роликом 12 и пружи- 10 ной 13. Поворот кривошипа ограничивают упоры 14.

Шлицевые валы являются одновременно направляющими для каретки 3, которая имеет упоры 15 и фиксато- )5 ры 16.

Передача движения от вала 6 к вилке 4 обеспечивается зубчатыми колесами 17 и 18, а передача движения от вала 7 столику 5 для объекта обес печивается зубчатыми колесами 19-23 и зубчатой рейкой 24.

Камера. работает следующим образом.

Весь диапазон перемещения вдоль . оптической оси (координата z) обеспечивается поворотом валика 8 на угол, немного больший половины оборота, при этом ролик 12, находящийся в пазу каретки 3, перебрасывает каретку со столиком объекта 5 из 30 одного крайнего положения в другое (на чертеже верхнее) и обеспечивает фиксацию каретки 3 в этих двух положениях за счет упоров 15 и фиксаторов 16, взаимодействующих с соответ- 35 ствующими выступами и отверстиями на раме 2.

Прижатие каретки 3 происходит за счет усиления пружины 13 кривошипа. Поворот вала 8 на угол несколь-40 ко больший 180О обеспечивает переход кривошипа 10 через "мертвую точку" и надежную фиксацию его положения за счет прижатия к упору 14 усилием пружины 13. 45

Каретка 3, увлекаемая роликом кривошипа, скользит по шлицевым валам

6 н 7, которые служат для нее направляющими. Одновременно валы б и 7 выполняют функции приводов наклона столика 5 .объекта и его перемещения по одной из координат Х в собственной плоскости.

Перемещение столика 5 объекта но второй координате Y в собственной плоскости обеспечивается движением рамы 2, привод перемещения которой не показан на чертеже.

Предложенная камера объектов для рентгеновского микроанализатора с электронным зондом открывает новые возможности в рентгеновском микроанализе и электронной микроскопии, поскольку значительно сокращается время исследований без изменения габаритов камеры и всего прибора.

Формула изобретения

Камера объектов электронно-зондо- вого анализатора, содержащая вакуумируемый корпус, подвижный столик и механизмы его привода, включающие шлицевые валики и зубчатые передачи, отличающаяся .тем, что, с целью обеспечения оперативного изменения режима работы анализатора беэ изменения габаритов камеры объектов, внутри корпуса смонтирована каретка, несущая столик и элементы механизмов его привода, с возможностью поступательного перемещения по направляющим, которыми служат шлицевые валики, a ìåõàíèçì приво- да каретки выполнен в виде кривошипа .с подпружиненным, телескопически.. выдвигающимся упором, находящимся .в сцеплении со стенками паза, выпол,ненного в основании каретки.

Источники информации, принятые so внимание при экспертизе

1. Биркс Л.С-. Рентгеновский микроанализ с помощью электронного зон да. М., "Металлургия", 1966, с. 4950 °

2. Басичев Б.Н. Приборы реитгено. спектрального микроанализа. Бюллетень ЦНИИЧМ, 1963, 9 2 (454) с. 23.

3. Патент Японии Ф 49-33903, кл. Н 01 J 37/20, опублик. 1974 (прототип).

974456

6 3< 2Ч П л-а

Составитель Е. Сидохин

Редактор М. Келемеш Техред A.À÷ Корректор В. Бутяга

Заказ 8722/71 Тираж 7б1 Подписное

ВН?ШПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4