Электронный эмиссионный микроскоп

 

ЭЛЕКТРОННЫЙ ЭМЙССИОННШ МЙКРОСКОП , содержащий, камеру объектов. объектодержатель, установленный на координатном механизме юстировки объекта , устройство формирования изображения , включающее иммерсионный объектив , проекционную систему.и систему наблюдения и регистрации, отличающий с я тем, что, с целью повышения точности анализа при ускорении процесса исследований, он снабжен разделительной платформой, ориентированной в плоскости, перпендикулярной оси микроскопа,.и дополнительным координатным механизмомперемещения и вращения, на котором .установленаразделительная платформа, при этом на платформе с двух с орон жестко закреплены координатный механизм юсти- g Р.ОВКИ объекта и ИАШерсионный объек (Л тив . .

. ÄÄSUÄÄ 107 А

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

3(51) Н 01 J 37/20

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР I

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИИ, ;-" :::::-:.:::--,".:;,:.! °

Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ » / (21) 3426650/18-21 (22) 23.04 .82, (46) 15. 09.83. Бюл. ее 34 (72) И.Л.Шатохин и Н.И.Струтинский (53) 621.385.833(088.8) (56) 1. Бурибаев И. и др. Эмиссионный микроскоп. - Приборы и техника эксперимента, 1978, Р 4, с. 192194.

2. Исаев А.A. Гурков Ю.В. Термо" эмиссионный микроскоп для контроля эмиссионных параметров катодов. Сб. Тезисы докладов Х Всесоюзной конференции по электронной ь икроскопии -„:

Ташкент, 1976..М, 1976, т. 1, с. 36-:,.

37 (прототип). (54 ) (57) ЭЛЕКТРОННЫИ ЭМИССИОННЬЯ МИКРОСКОП, содержащий, камеру объектов, объектодержатель, установленный на координатном механизме юстировки объекта,. устройство формирования изображения, включающее иммерсионный объектив, проекционную систему,и систему наблюдения и регистрации, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности анализа при ускорении процесса исследований, он снабжен разделительной платформой, ориентированной в плоскости, перпендикулярной оси микроскопа, .и дополнительным координатным механизмом перемещения и вращения, на котором установленаразделительная платформа, при этом на платформе с двух сторон жестко закреплены координатный механизм юсти- Я ровки объекта и иммерсионный объектив, 1042107

Изобретение. относится к электрон- . ной микроскопии, в частности к элект. ронным эмиссионным микроскопам, Известен эмиссионный микроскоп, содержащий камеру, в которой помещается объектодержатель с образцами, иммерсионный объектив, проекционную систему (1).

Недостатки этого микроскопа †. невозможность исследования различных .форм катодов и невысокая точность 10 . юстировки. ,Наиболее близким -к изобретени)о по технической сущности является электронный эмиссионный микроскоп, содержащий камеру, в которой располагаются исследуемые объекты, например термокатоды, объектодержатель, установленный на координатном механизме юстировки объектов. Микроскоп содержит устройство формирования иэображения, 7 включающее иммерсионный объектив, проекционную систему и систему наблюдения и регистрации электронного изображения эмиссионной поверхности объекта (2).

Такая схема построения пригодна лишь при исследовании объектов по микроскопическим участкам, когда под; стройка ведется в каждой отдельно фиксируемой точке — центре участка.

Поэтому нрдостатком данного микроскопа является невозможность ускорен- ного анализа протяженных образцов, когда требуется получить быструю информацию о работе всего катода или

его значительной части, что особен- 35 но важно при исследованиях интенсивных катодов различных форм лезвий, активная поверхность которых лежит в одной плоскости, или типа плоских. поверхностей, покрытых многоострий- 40 ными структурами, Необходимость ускорения процесса исследований диктуется тем, что свойства поверхности про-. тяженных интенсивных катодов, особенно вновь создаваемых, быстро изменя- 45 ются при работе, причем свойства одного участка поверхности, как правило, не отражают свойств других, т.е. необходимо обследовать всю довольно значительную поверхность образца. Между тем, если ускорять процесс ис.следования с помощью существующих устройств юстировки, то качество анализа, его точность ухудшаются.

Цель изобретения — повышение точности анализа при ускорении процесса исследований.

Указанная цель достигается тем, что электронный эмиссионный микроскоп, содержащий камеру. объектов, объектодержатель, установленный на ко-,6© ординатном механизме юстировки объекта, устройство формирования иэображения, включающее иммерсионный объекВНИИПИ Заказ 7138 53

Филиал ППП "Патент", г. тив, .проекционную систему и систему наблюдения и регистрации, снабжен разделительной платформой, ориентированной в плоскости, перпендикулярной оси микроскопа, и дополнительным., координатным механизмом перемещения и.вращения, на котором установлена разделительная платформа, при этом на платформе с двух сторон закреплены координатный механизм юстировки .объ-. екта и иммерсионный объектив .

На чертеже представлена схема микроскопа. Микроскоп содержит камеру 1 объек" тов, в которой размещены объектодержатель 2, координатный механизм 3 юстировки объекта, который жестко закреплен.на разделительной платфор-. ме 4, С другой стороны платформы 4 жестко закреплен иммерсионный объектив 5. Разделительная платформа 4 установлена в дополнительном координатном механизме 6. Устройство формирования иэображения включает кроме иммерсионного объектива 5 проекционную систему 7 и систему 8 наблюдения и регистрации..

Микроскоп работает следующим образом..

Благодаря введению подвижной раэделительной платформы 4, на которой закреплен иммерсионный объектив 5, во время проведения.анализа вместо перемещения объекта относительно объ. ектива осуществляется перемещение создаваемого объективом электронного изображения объекта относительно проекционной системы 7. Такое перемещение или вращение обеспечивается дополнительным координатным механизмом б в плоскости, перпендикулярной оси микроскопа..При этом разделительная платформа 4 перемещается вместе с координатным механизмом 3 юстировки объекта относительно объектива 5 °

Это позволяет один раз отъюстировать положение объектодержателя 2, т.е. получить наиболее четкое промежуточное изображение поверхности объекта, и затем перемещать это иэображение в необходимом направлении по всей площади изображения. При этом скорость анализа определяется -скоростью перемещения платформы 4 и быстродействием регистрирующей аппаратуры.

Таким образом, применение в .электронном эмиссионном микроскопе устройств, обеспечивающих точную юстировку объектов большей протяженности, и независимое перемещение электронного изображения, дает воэ" можность расширить многообразие форм исследуемых объектов,.повысить точность анализа"и существенно .сократить время на исследование одного образца.

Ти аж 703 Подписное

Ужгород, ул. Проектная, 4