Травильный раствор

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕаЪБЛИН

59 4 3 С 15 00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1,44-14,4

Остальное

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЬП ИЙ (2!) 367140)/29-33 (22) 13.12.83 (46) 23.03.86. Бюл. У 11 (7!) Государственный научно-исследовательский институт кварцевого стекла (72) Л.А.Комарова и А.P.Òèìîõèí (53) 666.1.053.63(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР !! 594069, кл. С .03 С 15/00, 1975.

Патент США В 4274907, кл. 156-637, опублик. 1981.

„,Я0„„1219544 A (54)(57) ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР, включающий бифторид аммония и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости процесса травления и его удешевления, раствор дополнительно содержит крейне.фтористоводородную кислоту при следующем соотношении компонентов : мас. 7.:

Бифторид аммония 10,0-40,0

Кремнефтористоводородная кислота

Вода

9544

121 сть травления, мкм/ч при сонин кремнефтористоводородной, кислоты Х

Содержа ние бифторида аммония

7,2 14,4

7,82

7,04

6,25

11,02

14,53

19,40

9,97

8,89

11,73

15,64

13,13

17,42

40

Составитель О, Самохина

Редактор И.Дербак Техред И, Гайдош Корректор И,Муска

Заказ 1226/31 Тираж 457 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4!5

Филиал ППП "Патент", r Ужгород,, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к производству кварцевого стекла и изделий на основе кремнезема и может быть использовано для очистки поверхности изделий из кварцевого стекла от посторонних примесей.

Примеси внедряются в поверхностные слои стекла при высоких температурах, необходимых для плавления и формования кварцевого стекла (1500-2000 С) за счет диффузии из окружающих сопутствующих материалов, применяемых в производстве кварцевого стекла. К таким материалам относятся: графит, огнеупоры, молибден, вольфрам, газы-теплоносители и т.п. Удалять посторонние примеси с поверхности кварцевого стекла путем химического травления необходимо для качественного проведения процессов спекания, формования и при кварцедувных работах.

Цель изобретения — повышение скорости процесса травления и его удешевление, Составы растворов и скорость травления образцов приведены s таблице.

По данным, приведенным в таблице, видно, что скорость травления кварцевого стекла в 1,2-1,5 раза

1О, выше, чем у известного раствора бифторида аммония °

Повышение скорости травления приводит к сокращению длительности процесса что дает экономию как трудовых, так и материальных затрат на его проведение, кроме того, стоимость. известного раствора по сравнению с предлагаемым выше.

Использование предлагаемого раствора позволяет улучшить условия труда, избежать загрязнения окружающей среды и т,п., поскольку не дает токсичных испарений.