Устройство для определения ориентации монокристаллического слитка

 

Изобретение относится к оборудованию для рентгеноструктурного анализа и может быть использовано, при калибровке и изготовлении ориентированного базового среза монокристаллических слитков. Изобретение позво ляет увеличить информативность при определении кристаллографической ориентации монокристаллического слитка произвольной формы за счет определения кристаллографической связи между торцами слитка (ТС). Для этого на ТС определяют точки выхода одной и той же нормали к заданной кристаллографической плоскости (ЗКП) и шш) следы пересечения ЗКП. Устройство содержит источник злектромагнитного излучения гониометр, приставку-держатель слитка с базовой плоскостью, установленную на гониометре, разметчик и две взаимно перпендикулярные системь, состоящие из направля рщих, неподвижнвпс и подвижных планок. Ось гониометра лежит в базовой плоскости держателя. Первая система через неподвижную планку 5 жестко закрепляется на приставкедержателе 3 так, что боковая поверкПг сл tc а о sl 00 4h 23

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСГЬЪЛИК (504 С 01 И 23 20

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ калибровке и изготовлении ориентированного базового среза монокристал- лических слитков. Изобретение позво ляет увеличить информативность при определении кристаллографической ориентации монокристаллического слитка произвольной формы за счет определения кристаллографической связи между торцами слитка (ТС). Для этого на ТС определяют точки выхода одной и той же нормали к заданной кристаллографической плоскости (ЭКП) и (или) следы пересечения ЗКП. УстройстВо содержит источник электромагнитного излучения, гониометр, приставку-держатель слитка с базовой плоскостью, установленную на гониометре, разметчик и две вза имно перпендикулярные системы, состоящие из направляющих, неподвижнвпс и подвижных планок. Ось гониометра лежит в базовой плоскости держателя.

Первая система через неподвижную планку 5 жестко закрепляется на приставкедержателе 3 так, что боковая поверхГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

RO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTKPblTI44 (21) 3890171/22-25 .(22) 05.05.85 (46) 30.09.86. Бюл. У 36 (71) Государственный ордена Октябрьской Революции научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности и Киргизский горно-металлургический комбинат (72) В.Г.Фомин, Ю.Г.Соболев и В.P.Õâàí (53) 621.386(088.8) (56) Суходрева И.М. и др. Приставка к рентгеновской установке УРС-504 для ориентировки монокристаллов полупроводниковых материалов. — Вопросы радиоэлектроники. Сер. Полупроводниковые .приборы, 1962, в.2, с.97-100.

Авторское свидетельство СССР

9 842518, кл. G 01 N 23/20, 1981. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОРИЕНТАЦИИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО СЛИТКА (57) Изобретение относится к оборудованию для рентгеноструктурного анализа и может быть использовано.при

„„Я0„„1260784 А 1

1260784

20

30 ность этои планки, к которои IIpHMbl кает боковая поверхность подвижной планки 7, совпадает с базовой плоскостью приставки-держателя. Вращая слиток вокруг собственной оси в приставке-держателе и вокруг оси гониометра вместе с приставкой-держателем и регистрируя максимум интенсивности отражения, с помощью первой системы и разметчиков 8 и 17 определяют следы плоскости на обеих ТС, в которой лежит нормаль к ЗКП (на фиг.1 горизонтальная плоскость). Вторая система через неподвижную планку 14, кронштейн 13, кольцо 12, соосное с гониометром, и переходник 11 закрепляется на корпусе гониометра так, чтобы боt ковая поверхность неподвижной планки

Изобретение относится к приборостроению, .к оборудованию для рентгеноструктурного анализа и может быть использовано при калибровке и изготовлении ориентированного базового среза монокристаллических слитков, Цель изобретения — увеличение информативности при определении ориентации слитка произвольной формы благодаря определению на обоих торцовых поверхностях точек выхода норма-. ли к заданной кристаллографической плоскости или следов пересечения с кристаллографической плоскостью.

На фиг.1 схематически изображено предлагаемое устройство, вид сверху; на фиг,2 — вид А на фиг.1.

Устройство содержит источник 1 рентгеновского излучения или источник видимого света, гониометр с кор- пусом 2, на котором установлена приставка-держатель 3 с базовой плоскостью 4, проходящей через главную .ось . вращения гониометра, Сверху на приставке-держателе жестко закреплена " неподвижная планка 5 и направляющая

6, на которой-установлена с возможностью перемещения планка 7. Разметчик 8 следов пересечения плоскости, проходящей через слиток 9, с плоскими его торцами, устанавливается попе. переменно на подвижной и неподвижной

16 была параллельна оси гониометра.

Эта система вращением по кольцу 1? вокруг гониометра устанавливается перпендикулярно базовой плоскости приставки-держателя, когда последняя находится в рассчитанном угловом положении, соответствующем максимуму отражения от ЗКП. С помощью второй системы и разметчиков 8 и 17 при регистрации максимума отражения от слитка определяют следы второй плоскости на обеих ТС, в которой лежит нормаль к ЗКП (на фиг.1 вертикальная плоскость). Точки пересечения двух следов на каждом ТС определяют точки выхода одной и той же нормали к ЗКП, проходящей через весь слиток.

2 ил.

2 планках с возможностью перемещения по ним перпендикулярно направляющей, Серединная плоскость системы планок

5 и 7 и направляющей 6 (первая система) параллельна плоскости дифракции, т.е. перпендикулярна главной оси вращения гониометра. Боковая поверхность 10 неподвижной планки, к которой примыкает боковая поверхность подвижной планки, совпадает с базовой плоскостью 4 приставки держателя

3. К корпусу 2 гониометра с помощью переходника 11, кольца 12, через центр которого проходит главная ось вращения гониометра, и кронштейна 13 неподвижно закреплена планка 14 и направляющая 15, на которой установлена с возможностью перемещения подвижная планка 16. Разметчик 17 следов пересечения плоскости, проходящей через слиток, с плоскими его торцами, устанавливается попеременно на подвижной и неподвижной планКах с возможностью перемещения по ним перпендикулярно направляющей, Серединная плоскость системы плао нок 14 и 16 и направляющей 16 (вто.рая система) перпендикулярна плоскости дифракции, т.е. параллельна глав ной оси вращения гониометра. Вторая система планок и направляющих может

1260784

l скости и главной оси вращения гониометра, на обоих торцах слитка.

2 С помощью разметчика 17, перемещая его по неподвижной планке 14, а потом по подвижной планке 16 в направть лении, перпендикулярном направляющей

15, проводят следы плоскости, которая также перпендикулярна заданной „кристал" ую лографической плоскости, но параллель-

10 на главной оси вращения гониометра.

Пересечения на торцах слитка слео- дов двух плоскостей, перпендикулярных заданной кристаллографической плоскости, являются точками выхода нормали

15 к заданной кристаллографической плоскости на обоих плоских торцах слитка.

1 поворачиваться вокруг главной оси вращения. независимо от приставки держателя слитка с помощью кольца 1 и хомутика 18. Положение хомутика фиксируется на кольце с помощью сто порного винта 19. Боковая поверхнос

20 неподвижной планки 14, к которой примыкает боковая поверхность подви ной планки 16, проходит через главн ось вращения гониометра. Положение подвижных планок 7 и 14 фиксируется на направляющих 6 и 15 с помощью ст порных винтов 21 и 22 соответственно

Рентгеновский пучок, отраженный монокристаллическим слитком, регистрируется детектором рентгеновского излучения 23.

Устройство работает следующим образом.

Монокристаллический слиток 9 поме- 20 щают на приставку-держатель 3 и поджимают к базовой плоскости держателя с помощью подвижной планки 7, закрепляя последнюю на направляющей 6 стопорным винтом 21. 25

Детектор излучения устанавливают на рассчитанный двойной брэгговский узел - 28, а базовую плоскость 4 держателя. — на рассчитанный угол

30 путем поворота держателя вокруг главной оси гониометра. Затем, вращая вторую систему планок 14 и 5 и направляющей 16 по кольцу 12 также вокруг главной оси гониометра, добиваются установки направляющей 16 под а углом 90 С к базовой плоскости держателя, Направляют рентгеновский пучок на торец слитка, прижатый к базовой плоскости держателя.

При определении точек выхода нормали к заданной кристаллографической плоскости на плоских торцах слитка произвольной формы производят вращение слитка вокруг оси, перпендикулярной базовой плоскости держателя, и вокруг главной оси гониометра, выводят заданную кристаллографическую плоскость в брэгговское положение, о чем свидетельствует максимальная интенсивность отраженного пучка, регист и емая датчиком излучения 23.

С помощью разметчика 8, перемещая

"его по неподвижной планке 5, а потом по подвижной планке 7., в направлении,55 перпендикулярном направляющей 6, проводят следы плоскости, перпендикулярной заданной Кристаллографической плос

При определении следов пересечения заданной кристаллографической плоскости, проходящей через весь.слиток, с плоскими его торцами, находят точки выхода на торцы слитка нормали к одной кристаллографической плоскости, перпендикулярной заданной, потом находят точки выхода на торцы слитка нормали к другой кристаллографической плоскости, также перпендикулярной заданной, в соответствии с изложенным, а потом на каждом торце точки выходов двух нормалей соединяют прямой линией. Полученные таким образом прямые линии на обоих торцах слитка являются следами пересечения заданной кристаллографической плоскости с плоскими торцами слитка.

Формула изобретения

Устройство для определения ориентации монокристаллического слитка, содержащее источник электромагнитного излучения, гониометр, приставкудержатель слитка с базовой плоскостью, установленную на гониометре, при этом ось гониометра лежит в базовой плоскости, и разметчик, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения информативности при определении ориентации слитка произвольной формы, устройство содержит две взаимно перпендикулярные системы направляющих, неподвижных и подвижных планок, установленных на приставке-держателе и на корпусе гониометра с возможностью перемещения подвижных планок по направляющим параллельно неподвижным планкам с последующей их фиксацией в каждой системе, при этом одна система через неподвижную план-

1260784

Составитель Е.Сидохин

Техред М.Ходанич

Редактор И.Сегляник

Корректор В.Бутяга

Заказ 5220/41

Тираж 778

ВНИИПИ Государственного Комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие F У жгород, ул.Проекгная,4 ку закреплена на приставке-держателе с возможностью вращения вместе с ней вокруг оси гониометра, ее серединная

1 плоскость перпендикулярна этой оси, вторая система установлена на корпусе гониометра с возможностью вращения вокруг оси гониометра независимо от приставки держателя, ее серединная плоскость параллельна этой оси; боковая поверхность неподвижной планки, к которой примыкает боковая поверхность подвижной планки, совпадает с базовой плоскостью приставки-.держателя в первой системе и параллельна оси .гониометра во второй системе.