Схват промышленного робота

 

Изобретение относится к машиностроению , в частности к технологическому оборудованию полупроводникового производства, и может быть использовано в конструкциях промышленных роботов , манипуляторов и механических рук, применяемых в электротехнической, электронной промьшленностях рля контроля электрических параметров электронных приборов. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей путем обеспечения проведения испытаний полупроводниковых: приборов при их захвате и переносе. При подаче питания на нагревательный элемент 5, закрепленный на пластине 4, вьтолненной из материала, обладающего обратимой термомеханической памятью формы, происходит сведение губок 7, установленных на паре двуплечих рычагов 2. Губки 7, выполненные из упругого токопроБодного материала по форме эллипсов, ориентируют и зажимают плоский вывод полупроводникового прибора, одновременно подключая контакты к его управляющему выводу. Затем происходит сведение второй пары губок, охватывающих цилиндрическую часть полупроводникового прибора токопроводящими губками. После захвата прибор оказывается подключенным к системе измерения и в продессе его переноса производится измерение параметров прибора. 4 ил. ВидА i (Л со о СП о со (Риг.2

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„1305031

А1 (51)4 B 25 J 15/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

СО

СР

С

СР

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3978903/25-08 (22) 14. 11.85 (46) 23.04.87. Бюл. Р 15 (75) О.Б.Домбровский (53) 621.229.7(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 1122505, кл. В 25 J 15/00, 1984. (54) СХВАТ ПРОМЫШЛЕННОГО РОБОТА (57) Изобретение относится к машйностроению, в частности к технологическому оборудованию полупроводникового производства, и может быть использовано в конструкциях промышленных роботов, манипуляторов и механических рук, применяемых в электротехнической, электронной промышленностях для контроля электрических параметров электронных приборов. Целью изобретения является расширение функциональных воэможностей путем обеспечения проведения испытаний полупроводниковых: приборов при их захвате и переносе, При подаче питания на нагревательный элемент 5, закрепленный на пластине

4, выполненной из материала, обладающего обратимой термомеханической памятью формы, происходит сведение губок 7, установленных на паре двуплечих рычагов 2. Губки 7, выполненные из упругого токопроводного материала по форме эллипсов, ориентируют и зажимают плоский вывод полупроводникового прибора, одновременно подключая контакты к его управляющему выводу. Затеи происходит сведение второй пары губок, охватывающих цилиндрическую часть полупроводниково- а го прибора токопроводящими губками. ф

После захвата прибор оказывается подключенным к системе измерения и в процессе его переноса производится изме- (« рение параметров прибора. 4 ил.

1305031 2 шим осям эллипсов. губок 7, то при взаимодействии их с катодным выводом захватываемого прибора 11 последний принудительно разворачивается.

5 В корпусе 1 выполнен также воздухоподающий канал 13, обеспечивающий й, при необходимости принудительное охлаждение привода пластин 4. Кроме того, корпус снабжен крепежно-фиксирующими элементами 14, с помощью кок- торых схват крепится к руке робота или манипулятора.

Изобретение относится к машиностроению, в частности к технологичес кому оборудованию подупроводникового производства, и может быть использовано в конструкциях промышленных роботов, манипуляторов и механических рук, применяемьгх в электротехническо электронной промьппленности для контроля электрических параметров электронных приборов.

Цель изобретения - расширение фун циональных возможностей путем обеспечения проведения испытаний полупроводниковых приборов при их захвате и переносе.

На фиг. 1 изображен схват, общий вид, на фиг. 2 — вид А на фиг. 1; на фиг. 3 — сечение Б-Е на фиг. 1; на

1 фиг. 4 — сечение В-В на фиг.

Схват промышленного робота содер- жит корпус 1, в пазах которого установлены в параллельных плоскостях пара основных 2 и дополнительных 3 двуплечих рычагов, на одних концах которых закреплены губки, выполняющие одновременно роль электрических контактов, а другие концы связаны с приводами их перемещения, каждый из которых выполнен в виде пластины 4 из материала, обладающего обратимой термомеханической памятью формы, на которой закреплен нагревательный элемент

5. Пластина 4 своими концами закреплена на рычагах с помощью пальцев 6, установленных с воэможностью поворота. Губки 7 одной из пар рычагов, например рычагов 2, выполнены из упругого токопроводного материала, изогнуты по форме эллипсов и жестко связаны с рычагами, а губки 8 другой па- 0 ры рычагов 3 также выполнены из упругого токопроводного материала, имеют М-образную форму и установлены на соответствующих рычагах с возможностью перемещения в двух взаимно пер- 45 пендикулярных плоскостях. Кроме того, на рычагах пары 2 через изоляторы 9 закреплены контакты i0, взаимодействующие с управляющим выводом полупроводникового прибора 11 . 50

Выполнение губок 7 в виде эллипсов дает возможность при захвате испытуемого прибора 11 ориентировать его так, что плоскости его катодного вывода 12 всегда располагаются параллельно большой оси эллипсов.

В случае, если плоскости катодного вывода 12 прибора не параллельны больГубки 7 и 8, контакты 10 электрически связаны с измерительной аппаратурой контроля электрических параметров испытуемого прибора 11.

Устройство работает следующим образом.

Схват подводят к полупроводниковому прибору 11, который занимает на позиции захвата вертикальное положение. При этом плечи двуплечих рычагов разведены, а пластины 4 привода занимают исходное положение.

После этого подается команда на включение электропитания нагревательного элемента 5 пластины 4 двуплечих рычагов 2, к которым закреплены губки

7 и контакты 10. Пластина 4 нагревао ется до 60 С,. изменяет свою форму и ! переходит в рабочее положение (фиг.2) .

При переходе пластины 4 из нерабо,чего положения в рабочее плечи двуплечих рычагов пары 2 сближаются, осуществляя тем самым одновременно ориентирование прибора 11, подключение контакта 10 к его управляющему выводу захват (подключение) его катодного вывода с помощью губок 7. С задержкой во времени 0,6-1 с подается команда от блока управления на включение нагревательного элемента 5, пластины 4 двуплечих рычагов 3. Пласо тина 4, негдеваясь до 60 С, также изменяет свою форму, осуществляя тем самым подключение и захват анодного вывода прибора 11 с помощью плавающих губок 8, которые самоустанавливаются, слегка упруго деформируясь, и равномерно обжимают анодный вывод прибора 11, обеспечивая надежный электрический контакт, а следовательно, надежный захват.. После чего рука манипулятора вместе со схватом перемещается к позиции сортировки приборов. При перемещении схвата от позиции захвата прибора 11 к позиции его сортировки осуществляется замер не1305031 обходимых электрических параметров испытуемого прибора. м

На позиции сортировки приборов отключается электрическое питание от нагревательных .элементов 5, пластин о

4, которые охлаждаются до 20 С за счет конвекционного теплообмена с окружа-. ющей средой и пластины 4 из рабочего положения переходят в исходное положение. При этом плечи двуплечих рыча-1О гов разводятся, освобождая от зажатия прибор 11, который затем поступает в устройство сортировки по электрическим параметрам.

При необходимости охлаждения плас- 15 тин 4 может быть осуществлено принудительно с помощью холодного воздуха, поступающего по воздухоподводящим каналам 13, выполненным в корпусе 1.

2О

Формула изобретения

Схват промышленного робота преимущественно для полупроводниковых приборов, содержащий корпус, в котором установлена пара основных двуплечих рычагов, расположенных в одной плоскости, на одних концах которых установлены губки, а другие концы связаны с приводом их перемещения, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, он снабжен дополнительной парой двуплечих рычагов с губками и с приводом на противоположных концах, установленных в корпусе и расположенных в плоскости, параллельной плоскости основных рычагов, при этом привод каждой пары рычагов выполнен в виде пластинь из материала, обладающего обратимой термомеханической памятью формы, концы которой закреплены на рычагах, и нагревательного элемента, закрепленного на этой пластине, при этом губки одной из пар рычагов выполнены из упругого токопроводного материала, изогнуты по форме эллипсов и жес".ко связаны с рычагами, а губки другой пары рычагов также выполнены из упругого токопроводного материала, имеют М-образную форму и установлены на соответствующих рычагах с возможностью перемещения в двух взаимно перпендикулярных плоскостях.

1305031

ФиаЗ

Фиг.Ф

Составитель Ф.Майоров

Техред Л.Сердюкова Корректор M,Ñàìáoðñêàÿ

Редактор Н.Бобкова

Заказ 1373/14

Тираж 954 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r.Óæãoðoä, ул.Проектная, 4