Способ калибровки газовых печей

 

Изобретение относится к области измерения малых потоков газа и позволяет обеспечить расширение диапазона калибруемых течей и повышение точности измерении путем создания газовых потоков с малыми эталонными концентрациями пробного газа и поддержание одинаковой газовой нагрузки на течеискатель при подаче пробного газа в него. В масс-спектрометрический течеискатель 8 подают равные потоки пробного газа от калибруемой течи 9 и от натекателя 2. Эталонный поток через натекатель 2 создают из смеси пробного газа с технологически заданной концентрацией. Газовую нагрузку на течеискатель 8 при подаче потока от калибруемой течи 9 поддерживают равной газовой нагрузке от эталонного потока с помощью вентиля-натекателя 12. 1 ил. 7/ 8 СП V 00 ю оо сх 00 СХ5

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 G Ol М 302

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPGHOM> СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4069039/25-28 (22) 26.02.86 (46) 15.07.87. Бюл. № 26 (72) Б. А. Трегуб, Б. В. Фадеев, О. А. Шелест и В. А. Скудра (53) 620.165.29 (088.8) (56) Конструкция, технические условия на изготовление, калибровки и хранение контрольных течей. ОСТ 92-2125-79. (54) СПОСОБ КАЛИБРОВКИ ГАЗОВЪ|Х

ТЕЧЕЙ (57) Изобретение относится к области измерения малых потоков газа и позволяет обеспечить расширение диапазона калибруе„„SU„„1323888 А 1 мых течей и повышение точности измерений путем создания газовых потоков с малыми эталонными концентрациями пробного газа и поддержание одинаковой газовой нагрузки на течеискатель при подаче пробного газа в него. В масс-спектрометрический течеискатель 8 подают равные потоки пробного газа от калибруемой течи 9 и от натекателя 2. Эталонный поток через натекатель 2 создают из смеси пробного газа с технологически заданной концентрацией. Газовую нагрузку на течеискатель 8 при подаче потока от калибруемой течи 9 поддерживают равной газовой нагрузке от эталонного потока с помошью вентиля-натекателя 12. 1 ил.

1323888

Формула изобретения

Составитель В. Черноусов

Редактор Н. Слободяник Техред И. Верес Корректор А. Обручар

Заказ 2955/45 Тираж 775 Подписное

ВНИИПИ Госутарственного комитета СССР Ilo делам изобретений и открьпий

113035, Москва, Ж 35, Рач шская наб., д. 4/5

11ронзводственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к области измерения малых потоков газа при калибровке контрольных течей, используемых при контроле герMETH÷HoñòH.

Целью изобретения является расширение диапазона калибруемых течей и повышение точности путем обеспечения возможности создания газовых потоков с малыми эталонными концентрациями пробного газа и поддержания одинаковой газовой нагрузки на течеискателе при подаче пробного газа в него.

На чертеже приведена схема устройства для осуществления способа.

Устройство состоит из мановакууметра 1, установленного на входе натекателя 2.

Трехходовой клапан 3 соединен с выходом натекателя 2, с входом клапана 4 и одним коленом трубки масляного дифференциального манометра 5. другое колено трубки которого соединено с входом клапана 6. Один конец трубопровода 7 соединен с массспектрометрическим течеискателем 8, другой — с выходами клапанов 4 и 6. Калибруемая течь 9 соединена с входом клапана 10, выход которого соединен с трубопроводом 7.

Вакуум ный датчик 11, вентиль-натекатель

12 и клапан 13 соединены с трубопроводом 7.

Способ калибровки газовых течей осуществляется следующим образом.

В устройство устанавливают калибруемую течь 9, открывают клапан 10, подак>т поток пробного газа в течеискатель 8 от калибруемой течи 9 и измеряют показания по течеискателю 8. Затем закрывают клапан 10, открывают клапан 4, с помощью трехходового клапана 3 и через патекатель 2 подак т в течеискатель 8 поток эталонной смеси газа, равный по величине потоку газа от калибруемой течи 9.

Величину потока эталонной смеси газа с известным содержанием пробного газа определяют, например, накопителем в известном объеме и измерением возрастания давления масляным дифференциальным манометром 5.

Малая концентрация пробного газа в относительно большом потоке эталонной смеси газа в пределах 10 6 .10 Вт (10 ...10 л.мкм рт. ст./с) обеспечивает сравнение с потоком газа от калибруемой течи 9 относительно малой величины в пределах 10 ... ...10 Вт (10 ...10 л. м км рт. ст./с) . Вырав5 нивание газовой нагрузки на масс-спектрометре течеискателя 8 при раздельной регистрации потока пробного газа калибруемой течи 9 и эталонной смеси газа осуществляется вентилем- натекателем 12. Кон10 троль величины газовой нагрузки осуществляется с помощью вакуумного датчика 11.

Контрольные течи с потоками газа в пределах 10 ...10 Вт (10 ...10 л. мкм рт. ст./с) сравниваются с эталонными потоками газа

100 /о-ной концентрации.

15 Различные концентрации пробного газа в эталонной смеси газа могут быть получены с точностью 1...2%.

Поток газа калибруемой течи Q определяют по формуле

Я = (ттЯ Вт (л. мкм рт. лт./с), где Яэ — эталонный поток контрольного газа, Вт;

С вЂ” концентрация пробного газа в эта25 лонной смеси, /о.

Применение предлагаемого способа не требует наличия сложных установок для калибровки газовых течей.

Способ калибровки газовых течей, заключающийся в том, что в масс-спектрометрическую камеру течеискателя поочередно подают поток пробного газа от калибруемой течи и эталонный поток пробного газа, измеряют сигналы на течеискателе и определяют величину калибруемой течи путем их сравнения, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона калибруемых течей и повышения точности, поток пробного газа от калибруемой течи создают из смеси пробного газа с технологическим и подают в массспектрометрическую камеру в составе этой смеси, величину этого потока пробного газа выбирают равной величине эталонного потока, а при подаче потоков пробного газа поддерживают одинаковую газовую нагрузку на течеискателе.