Способ получения высокоомного кремния
Способ получения высокоомного кремния, включающий облучение нейтронами слитка кремния р-типа проводимости и отжиг радиационных дефектов, отличающийся тем, что, с целью получения кремния с удельным сопротивлением, превышающим 50 кОм·см, контрольную часть исходного слитка кремния отжигают при температуре, соответствующей температуре отжига радиационных дефектов, и измеряют в ней изменение концентрации электрически активных центров 
N, причем для облучения используют слитки с величинами концентрации акцепторной примеси на торцах 
и 
удовлетворяющих условию 
облучение ведут в однородном нейтронном потоке с интегральной дозой по тепловым нейтронам 
отжиг радиационных дефектов ведут в хлорсодержащей атмосфере, а высокоомный участок кремния выбирают в области р-n конверсии слитка.
