Устройство для нанесения покрытий в вакууме

 

1. Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее кассету с установленным в ней подложкодержателем, прижим для фиксации подложки, нагреватель и механизм поворота подложкодержателя, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и обслуживания, механизм поворота подложкодержателя выполнен в виде двух цапф, жестко закрепленных одним концом в подложкодержателе, а другим - шарнирно в кассете, расположенных по оси симметрии подложкодержателя, пружины кручения, размещенной на одной из цапф и закрепленной одним концом на подложкодержателе, а другим в кассете, и магнитного замка, один из магнитов которого расположен на подложкодержателе, а другой - на кассете.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что подложкодержатель выполнен в виде рамки или кольца с углублением для установки подложки.

3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что прижим для фиксации подложки выполнен в виде рамки или кольца из магнитного материала или в виде разрезной рамки или кольца из пружинного материала, расположенных в подложкодержателе по периметру углубления.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области нанесения тонких пленок вакуумным напылением и может быть использовано для вращения лопаток турбин в потоке конденсата в вакуумных установках

Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки

Изобретение относится к вспомогательным устройствам, входящим в технологический комплекс для нанесения покрытий при производстве изделий электронной техники

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на бутылки и к транспортирующему средству для них

Изобретение относится к способу нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности деталей и устройству для его реализации

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме

Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для электронно-лучевых процессов обработки, в том числе полировки, изделий оптики и микроэлектроники
Наверх