Способ получения трихлорсилана
Способ получения трихлорсилана, включающий взаимодействие водорода и хлора, гидрохлорирование кремнийсодержащего сырья полученным хлористым водородом, конденсацию трихлорсилана и его ректификацию, отличающийся тем, что, с целью уменьшения содержания примесей бора в трихлорсилане и повышения экономичности процесса, конденсацию проводят до остаточного содержания трихлорсилана 0,01 - 7 мас. % в парогазовой смеси, которую затем смешивают с исходным водородом и подают на стадию взаимодействия с хлором.
Похожие патенты:
Способ получения трихлорсилана // 1432950
Способ получения трихлорсилана // 1431254
Способ получения гексахлордисилана // 435190
Изобретение относится к области химической технологии получения поликристаллического кремния
Изобретение относится к получению кремнийсодержащих материалов и может быть использовано в производстве хлорсиланов, применяемых в технологии микроэлектроники и высокочистого кремния
Способ получения трихлорсилана // 2147292
Изобретение относится к металлургии кремния, а именно к получению трихлорсилана - SiHCl3, используемого в производстве полупроводникового кремния, из тетрахлорида кремния - SiCl4
Способ получения силанов // 2152902
Способ получения тетрафторида кремния // 2182558
Изобретение относится к неорганической химии, к получению фторидов неметаллов, точнее - к способам получения тетрафторида кремния
Способ получения хлорсиланов // 2214363
Изобретение относится к химии кремнийорганических соединений, а именно к способам получения высокочистого трихлорсилана, и может быть использовано в производстве полупроводникового кремния
Способ получения трихлорсилана // 2214364
Изобретение относится к способам получения хлоридов кремния, применяемых в производстве полупроводникового кремния, в химической промышленности
Способ получения тетрахлорсилана // 2228294
Изобретение относится к способам получения соединений кремния, используемых в полупроводниковой технике и в кремнийорганической химии
Способ производства трихлорсилана // 2254291
Изобретение относится к металлургической промышленности, в частности к способу производства трихлорсилана, и может быть использовано в производстве полупроводникового кремния
Способ получения трихлорсилана // 2274602
Изобретение относится к способам получения трихлорсилана из тетрахлорида кремния и может быть использовано для утилизации тетрахлорида кремния, образующегося в процессе получения поликристаллического кремния водородным восстановлением трихлорсилана