Установка для тепловой обработки изделий

 

Изобретение может быть использовано при сушке плоских изделий, полупроводниковых микроплат в микроэлектронике для инфракрасной термообработки. Цель изобретения - повышение качества термообработки и уменьшение габаритов установки. Лента 9 транспортера выполнена в виде нескольких рядов стальных тросиков, соединенных между собой сборными клеммовыми зажимами. Каждый ролик транспортера выполнен в виде пары усеченных конусов, соединенных друг с другом в приводном и натяжных роликах меньшими основаниями, а в нажимных роликах - большими основаниями. Под рабочей ветвью транспортера перпендикулярно его оси размещен перфорированный газораспределитель 20, а над ветвью установлены продольные трубопроводы 21, снабженные эжекторами. Сборные клеммовые зажимы м.б. выполнены в виде планок с канавками и установлены в шахматном порядке. Охлажденный газообразный азот проходит через транспортер и охлаждает микроплаты и нагретый отбрасывается трубопроводом 21. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51),) F 26 В 9/06, 3/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ ./ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 423495)/24-06 (22) 23,04.87 (46) 07,05,89. В|ол. )) 17 (72) Д. И. Лившиц, А,В, Швец и Л.И. Кошкаров (53) 66.047.785.533.55(088.8 ) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 1239488, кл. F 26 В 9/06, 1985, (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ТЕПЛОВОЙ ОВРАБОТК11

ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение м.б„ использовано при сушке плоских изделий, полупроводниковых микроплат в микроэлектронике для инфракрасной термообработки °

Цель изобретения — повышение качества термообработки и уменьшение габаритов установки, Лента 9 транспортера выполнена в виде нескольких рядов стальных тросиков, соединенных между

„„SU„„1478007 Д1 собой сборными клеммовыми зажимами.

Каждый ролик транспс ртера выполнен в ниде пары усеченных конусов, соединенных цруг с другом в привоцном и натяжных роликах меньшим|| основаниями, а в нажимных роликах — большими основаниями, 11од рабочей ветвью транспортера перпендикулярно его оси размещен перфорированный газораспрецелитель 20, а над ветвью установлены продольные трубопроводы 2), снабженные эжекторами, Сбор|и|е клеммовые ° зажимы м, б ° выполнены в виде планок с канавками и установлены в шахматном порядке ° Охлажденный газообразный азот проходит через транспортер и охлаждает микроплаты и нагретый отбрасывается трубопроводом 21, 2 з,п, ф-лы, 6 ил.

Формула и з обретения

1, Установка для тепловой обработки изделий, преимущественно микроплат, содержащая мнагозонную камеру с последовательно соединенными зонами предварительной обработки, сушки с ИК-излучателями и окончательной обработки, и ленточный транспортер . с приводным и натяжным роликами, о т- л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения качества термообработки и уменьшения габаритов, транспортер снабжен нажимными и дополнительным натяжным роликами, лента транспортера выполнена в виде нескольких рядов стальных тросиков, соединенных между собой сборными клеммовыми зажимами, и каждый ролик транспортера выполнен в виде пары усеченных конусов, соединенных друг с другом в приводном и натяжных роликах меньшими основаниями, а в нажимных роликах— большими основаниями, при,этом под рабочей ветвью транспортера перпендикулярно его оси дополнительно размещен перфорированный газораспределитель, а над ней дополнительно установлены продольные трубопроводы, снабженные эжекторами, 2. Установка по и ° 1, о т л и— ч а ю щ а я с я тем, что сборный клеммовый зажим выполнен в виде планок с канавками, соединенных посредством двух штифтов со сферическими головками, и винта.

50

1 14780

Изобретение относится к технике сушки плоских иэделий, преимущественно полупроводниковых микроплат, и может быть использовано в производ5 ствах микроэлектроники для инфракрасной термообработки, в частности, полупроводниковых микроплат.

Цель изобретения — повышение качества термообработки и уменьшение габаритов.

На фиг. изображена установка для тепловой обработки изделий, общий вид, разрез по оси транспортера; на фиг, 2 — разрез А-А на фиг.1; на 15 фиг. 3 — разрез Б-Б на фиг,l; на фиг.4 - установка, сечение по оси роликов; на фиг, 5 — ленточный транспортер, вид сверху; на фиг, 6— узел Т на фиг. 4. 20

Установка для термообработки изделий содержит многозонную камеру 1 с ИК-излучателями 2 и установленнше на каркасе 3 загрузочные 4 и разгрузочные 5 механизмы, расположенные 25 соответственно в начале и в конце . транспортера, содержащего приводные

6, нажимные 7 и натяжные 8 ролики.

Лента 9 транспортера выполнена из нескольких рядов бесконечных сталь- 30 ных тросиков 10, соединенных сборныии клеммовыми зажимами 11-13, состоящими из двух планок 14 и 15 в одной . из которых выполнены штифты 16 со сферическими головками, а в другой— отверстия 17.. Планки 14 и 15 дополнительно соединяются винтом 18 и имеют канавки 19 под установку на тросиках 10. Под рабочей ветвью ч ранспортера перпендикулярно его оси дополни- 40 тельно размещен газораспределитель

20, а над ней дополнительно установлены продольные трубопроводы 21, снабженные эжекторами. На обращенной в сторону транспортера поверхности 45 гааораспределителя 20 выполнены от верстия 22 перфорации. Обрабатываемые изделия 23 например, полупроводниковые микроплаты устанавливаются в кассетах 24 на загрузку; Приводной ролик связан цепной передачей 25 с приводом 26, управление которым осуществляется от блока 27 электроавтоматики. Каждый ролик 6-8 выполнен в виде пары усеченных конусов, соединенных друг с другом в приводных 6 и натяжных 8 роликах меньшими основаниями, а в нажимных 7 роликах— . большими основаниями, Сборные клем/ мовые зажимы ll 13 расположены в шахматном порядке.

Установка работает следующим образом.

Кассета 25 с микроплатами 23 устанавливается на загрузочный механизм 4. От блока 27 электроавтоматики происходит включение ИК-излучателей и после установления в камере

1 требуемой температуры запускается привод 26 транспортера, загрузочный механизм 5 -подает микроплаты 23 на транспортер, где они располагаются на сборных клеммовых зажимах 12 и 13 строго по оси транспортера, Охлажденный газообразный азот, подаваемый через отверстия 22 газораспределителя 20, проходит. через транспортер, охлаждает микроплаты 23 и нагретый отсасывается трубопроводом 21, эффект разрежения в котором создается при прохождении азота через эжекторы, ! 4 78007

3. Установка по пп, 1 и 2, о т л и ч а ю щ л я с я тем, что сборные

КЛЕММО БЫЕ 3;IIIIII 1! I P:I С1;О 1 ОЖЕI II! В 1НЯХМЯТНОМ ПОРЯЦКE

14780() 7

17 f5

Составитель С. Полянский

Редактор И, Дербак Техред М.Ходанич Корректор С. Черни

Заказ ?349/38 Тираж 594 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и р и отк ытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

"П т" г . Ужгород, ул . Гагарина, 101

Производственно-издательский комбинат Патен ",