Вакуумный молекулярный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Статорный диск (Д) 4, расположенный со стороны нагнетания насоса, закреплен на статоре 2 при помощи мембраны 7, что позволяет изменять его положение с целью поддержания постоянного зазора между Д 4 и роторным диском 6 при помощи приводов (П) 8 в количестве не менее трех, равномерно расположенных по окружности Д 4, и датчиков 9 величины зазора, связанных с П 8 по принципу отрицательной обратной связи. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) Of) А1 (51) 5 F 04 D 19 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Quz!

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4463644/25-29 (22) 19.07,88 (46) 07.05.90. Бюл. № 17 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Горьковском государственном университете им. Н.И.Лобачевскоro (72) Ю.П.Заозерский, В.П.Иванов и П.И,Юрченко (53) 621.527.8(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 1267055, кл. F 04 D 19/04, 1985. (54) ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса.Статорный диск (Д) 4, расположенный со стороны нагнетания насоса, закреплен на статоре 2 при помощи мембраны 7, что позволяет изменять его положение с целью поддержания постоянного saзора между Д 4 и роторным диском 6 при помощи приводов (П) 8 в количестве не менее трех, равномерно расположенных по окружности Д 4, и датчиков 9 величины зазора, связанных с П 8 по принципу отрицательной обратной связи. 2 ил.

1562532

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям ! ,молекулярных насосов. !

Цель изобретения — улучшение от5 качных характеристик насоса.

На фиг.1 представлена схема насоса; на фиг.2 — узел Х на фиг.1.

Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1 с размещенным в нем статором 2, снабженным статорными дисками 3 и 4, и установленный на ! оси корпуса 1 ротор 5 с роторными дисками 6. Статорный диск 4, распо;поженный со стороны нагнетания, за креплен на статоре 2 при помощи мембраны 7 и снабжен по меньшей мере ,rpeMa приводами 8 аксиального перемещения, равномерно расположенными по окружности диска 4, а каждый привод 8 снабжен датчиком 9 величины зазора между статорным и смежным с им роторным дисками 4 и 6, причем датчик 9 соединен с приводом 8 по ринципу отрицательной обратной связи. Кроме того, насос содержит магнитный подвес 10 для поддержания отора 5 в рабочем положении и приведения его во вращение.

Насос работает следующим образом.

Откачиваемый газ, попадая в полость корпуса 1, взаимодействует с быстровращающимися поверхностями роторных дисков 6 и спиральными пазами статор йых дисков 3 и 4 и переносится на

Сторону нагнетания и далее удаляется

Йз корпуса 1, например, внешним форйакуумным насосом. В процессе работы

Насоса иэ-за колебаний ротора 5 темПературных деформаций, а также особенностей предварительной установки

Насоса на откачиваемом объеме, возможно изменение величины зазора между статорными и роторными дисками

3, 4 и 6, причем наиболее негативный х!арактер зто изменение носит на выходе насоса, где давление откачиваемого газа наиболее высоко ° Изменение и неравномерность зазора приводят к снижению степени сжатия насоса в целом, а также к возникновению обратных перетечек газа со стороны нагнетания на сторону всасывания.

Величина зазора между статорным диском 4 и роторным диском 6 автоматически поддерживается постоянной.

Приводы. 8 позволяют изменить положение статорного диска 4 в пространстве, причем наличие их в количестве не менее трех и равномерное распределение по окружности диска 4 дает возможность регулировать положение диска 4 не только при линейных, но и угловых изменениях зазора.Воэможность ю изменения положения статорного диска

4 обеспечивается мембраной 7. При увеличении зазора датчик 9 подает сигнал на привод 8, который своим перемещением уменьшает величину зазора. Таким образом, зазор поддерживается постоянным, что обеспечивает улучшение откачных характеристик насоса.

1 формулаизобретения

Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус с ра.змещенным в нем статором, снабженным статорными дисками и установленный на оси корпуса ротор с роторными дисками, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, статорный диск, расположенный со стороны нагнетания, закреплен на статоре при помощи мембраны и снабжен по меньшей мере тремя приводами аксиального перемещения, равномерно расположенными по окружности диска, а каждый привод снабжен датчиком величины зазора между статорным и сменным с ним роторным дисками, причем датчик соединен с приводом по принципу отрицательной обратной связи.

1562532

Составитель В. Кряковнин

Техред Л. Сердюкова Корректор Э.Лончакова

Редактор М.Бланар

Тираж 496

Подписное

Заказ 1046

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101