Вакуумный молекулярный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить экономичность путем снижения трудоемкости при сборке и регулировании насоса. Статор 3, магнитная подвеска 5 и ротор 6 закреплены на крышке (КР) 2 и размещены в корпусе (К) 1 с зазором. На К 1 закреплена кольцевая емкость 8, заполненная легкоплавким металлом (М) 9. В М 9 расположен герметизирующий элемент 10, закрепленный на КР 2. При сборке КР 2 плавает в расплавляемом М 9. Статорные диски 4 самоустанавливаются строго горизонтально. После застывания М 9 горизонтальность сохраняется, обеспечивая гарантированный зазор между статорными и роторными дисками 4 и 7 в процессе работы насоса. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (51)5 F 04 D 19 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

llO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4453700/25-29 (22) 04.07.88 (46) 23.05.90. Бюл. № 19 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при

Горьковском государственном университете и м. Н. И. Лоб а чевс кого (72) В. П. Иванов и В. Н. Христачев (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1265400, кл. F 04 D 19/04, 1985. (54) ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ

НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить экономичность

„„80„„1566087 путем снижения трудоемкости при сборке и регулировании насоса. Статор 3, магнитная подвеска 5 и ротор 6 закреплены на крышке (КР) 2 и размещены в корпусе (К) 1 с зазором. На К 1 закреплена кольцевая емкость 8, заполненная легкоплавким металлом (М) 9. В М 9 расположен герметизирующий элемент 10, закрепленный на КР 2. При сборке КР 2 плавает в расплавляемом М 9. Статорные диски 4 самоустанавливаются строго горизонтально. После застывания М 9 горизонтальность сохраняется, обеспечивая гарантированный зазор между статорными и роторными дисками 4 и 7 в процессе работы насоса. 1 ил.

1566087

Формула изобретения

С ост ави тел ь В Кря ко вкин

Редактор Е. Г1апп Техред И. Верес Корректор Л. Бескид

Заказ !209 Тираж 495 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, )К вЂ” 35, Раушска я наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — повышение экономичности путем снижения трудоемкости при сборке и регулировании.

На чертеже представлена схема насоса.

Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1 и крышку 2, разделенные уплотнением, размещенный в корпусе 1 статор 3 со статорными дисками 4 и установленный по оси статора 3 на магнитной подвеске 5 ротор 6 с роторными дисками 7. Уплотнение между корпусом 1 и крышкой 2 выполнено в виде закрепленной на корпусе 1 кольцевой емкости 8, заполненной легкоплавким металлом 9, и закрепленного на крышке 2 кольцевого полого герметизирующего элемента 10, расположенного в кольцевой емкости 8 и имеющего объем, определяемый соотношением V)N/р, где М вЂ” масса насоса без корпуса 1, р — плотность легкоплавкого металла 9 в жидком состоянии, причем статор 3 размещен в корпусе 1 с зазором и закреплен на крышке 2.

Насос работает следующим образом.

Крышка 2 с закрепленным на ней статором 3, установленные по оси статора 3 ротор 6 и магнитная подвеска 5, собранные в единый узел, располагаются в корпусе 1. При этом герметизирующий элемент 10 погружается в предварительно расплавленный металл 9, заполняющий емкость 8. При выполнении герметизирующего элемента 10 объемом, соответствующим соотношению v)M ð, крышка 2 находится в плавающем состоянии, что обеспечивает установку статорных дисков 4 в строго горизонтальном положении. Остывание металла 9 приводит к фиксированию крышки 2 и, соответственно, дисков 4 в этом горизонтальном положении, а также к герметизации стыка между корпусом 1 и крышкой 2. Затем ротор 6 вывешивается в магнитном поле подвески 5, причем роторные диски 7 при этом также занимают строго горизонтальное положение. Таким образом обеспечивают и гарантированные зазоры между статорными и роторными дисками 4 и 7. Вращением ротора 6 обеспечивается

10 перемещение молекул газа со стороны всасывания на сторону нагнетания.

Экономичность достигается при сборке и регулировании зазоров между дисками 4 и 7 путем значительного снижения трудоемкости, поскольку статорные диски 4 самоустанав15 ливаются строго горизонтально без дополнительных операций.

Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус и крышку, разделенные уплотнением, размещенный в корпусе статор со статорными дисками и установленный по оси статора на магнитной подвеске ротор с роторными дисками, отличающийся тем, что, 25 с целью повышения экономичности путем снижения трудоемкости при сборке и регулировании, уплотнение между корпусом и крышкой выполнено в виде закрепленной на корпусе кольцевой емкости, заполненной легкоплавким металлом, и закрепленного на крышке кольцевого полого герметизирующего элемента, расположенного в кольцевой емкости и имеющего объем определяемый соотношением V) —, где М вЂ” масса

М

Р насоса без корпуса, р — плотность легкоплавкого металла в жидком состоянии, причем статор размещен в корпусе с зазором и закреплен на крышке.