Турбомолекулярный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса путем исключения обратных перетечек через динамическое уплотнение. В корпусе (К) 1 на валу 3 установлены роторы (Р) 4 и 5 встречного вращения. На ступице 6 Р 4 и крышке 2 К 1 закреплены соответственно обечайки 8 и 7, причем обечайки 7снабжены винтовми каналами 9. Обечайки 7 и 8 образуют молекулярную откачивающую ступень, сводящую до минимума перетечки из форвакуумной области насоса в высоковакуумную. Размеры обечаек 7 и 8 определяются из выражений R<SB POS="POST">I</SB> = R<SB POS="POST">2</SB>+7δ(1-2I)√<SB POS="POST">1</SB>, 2н<SB POS="POST">I</SB>/δ = ехр(0,18R<SB POS="POST">I</SB>н<SB POS="POST">I</SB>/(R<SB POS="POST">2</SB>δ)), где I=1,2,..., R<SB POS="POST">1</SB>, R<SB POS="POST">2</SB> - соответственно минимальный и максимальный радиусы проточной части внешнего Р 4

δ - радиальный зазор между соседними обечайками 7 и 8. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 F 04 D 19 04

Г0СУДА СТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4469212/25-29 (22) 01.08.88 (46) 23.06.90. Бюл. № 23 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при

Горьковском государственном университете им. H. И. Лобачевского (72) Г. А. Гарбуз, Ю. П. Заозерский, В. П. Иванов и П. И. Юрченко (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 918551, кл. F 04 D 19/04, 1979. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса путем исключения об„„SU,» 1573235 А 1

2 ратных перетечек через динамическое уплотнение. В корпусе (K) 1 на валу 3 установлены роторы (Р) 4 и 5 встречного вращения.

На ступице 6 Р 4 и на крышке 2 К 1 закреплены соответственно обечайки 8 и 7, причем обечайки 7 снабжены винтовыми каналами 9.

Обечайки 7 и 8 образуют молекулярную откачивающую ступень, сводящую до минимума перетечки из форвакуумной области насоса в высоковакуумную. Размеры обечаек 7 и 8 определяются из выражений r;.=

=@ +76(1 — 2;))Йi, 2h;/б=ехр(0,18r;h;/(R6), где i=1, 2, ..., Ri, R — соответственно минимальный и максимальный радиусы проточной части внешнего P 4; 6 — радиальный зазор между соседними обечайками 7 и 8.

2 ил.

1573235

Формула изобретения

Составитель Кряковкии

Редактор A. Мотыль Техред А. -Кравчук Корректор О. Цн пле

Заказ 1632 .- Тираж 501 Подписное

ИНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ .С<,Р

I 13035, Москва, Ж вЂ” 3$, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», r. Ужгород, ул. Гагарина, I I) I

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов, Цель изобретения — улучшение откач. ных характеристик насоса.

На фиг. 1 представлена схема насоса, продольный разрез; на фиг. 2 — узел 1 на фиг. 1.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус lс,крышкой 2, установлен. ные в корпусе 1 на валу Х внешний и внутренний роторы 4 и 5 встречною вращения и расположенное между крышкой 2 корпуса 1 и ступицей 6 внешнего ротора 4 дина- мическое уплотнение, выполненное в виде коаксиальных обечаек 7 и 8, поочередно

:закрепленных на крышке 2 корпуса.1 и на, ступице 6 внешнего ротора 4, причем обечайки 7, закрепленные на крышке. 2 корпуса 1, снабжены винтовыми каналами 9, а каждая из обечаек 8, закрепленных на ступице 6 внешнего ротора 4, имеет радиус (r<) и высоту (h;), определяемые из выражений

r <=RE+76(l — 2i))R ь

2h; 4 Щ б — е к.-а- — где! =1,2, ...;

RI, R2 — соответственно минимальный и мак симальный радиусы проточной части внешнего ротора 4;

Ь вЂ” радиальный зазор между соседними обечайками 7 и 8.

Насос работает следующим образом.

Внешний и внутренний роторы 4. и 5 приводятся во вращение в противоположных направлениях. Газ, поступающий из откачиваемого объема, взаимодействует с роторами 4 и 5, направляется от периферии к центру ,насоса и далее удаляется из корпуса 1 внешним форвакуумным насосом. Область высокого вакуума отделяется от области фор;вакуума динамическим уплотнением в виде обечаек 7 и 8.

Наличие на обечайках 7, являющихся

11еподвижными, винтовых каналов 9 позволяет создать на месте динамического уплотнения практически молекулярную ступень насоса, которая помимо предотвращения обратных перетечек газа из области форвакуума в области высокого вакуума создает дополнительный откачнвающий эффект. Определение конкретных размеров обечаек 7 и 8 по математическим выражениям позволяет получить конструкцию с максимальным эффектом, что в целом приводит к улучшению откачных характеристик нассса.

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с крышкой, установленные в корпусе на валу внешний и внутренний роторы встречного вращения и расположенное между крышкой корпуса и ступицей внешнего ротора динамическое уплотнение, выполненное в виде коаксиальных обечаек, поочередно закрепленных на крышке корпуо5 са и на ступице. внешнего ротора, отличаюи4ийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, обечайки, закрепленные на крышке корпуса, снабжены винтовыми каналами, а каждая из обечаек, закрепленных на ступице внешнего ротора, имеет радиус

30 r; и высоту h;, определяемые из выражений г;=14+7б(1 — 2i)) Я1, 2h; ИОЩЬ; — =е кЛ б где1 =1,2, ...;

ЗБ RI, Рз — соответственно минимальный и максимальный радиусы проточной части внешнего ротора; б — радиальный зазор между соседними обечайками.