Турбомолекулярный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность насоса при аварийном прорыве атмосферы. Рабочие лопатки (Л) 3 закреплены на центральном диске (Д) 6 полого ротора (Р) 2 параллельно оси насоса, образуя две параллельные ступени откачки. Р 2 опирается на гибкий стержень (С) 4, нижний конец которого расположен в отверстии шарика, закрепленного в эластичной манжете, установленной на подпятнике. При прорыве атмосферы как со стороны всасывания насоса, так и со стороны нагнетания наличие параллельных ступеней откачки обеспечивает уравновешивание сил, действующих на Д 6 и Л 3. В результате возможно лишь небольшое перемещение С 4 в отверстии шарика без дополнительных осевых усилий на опоры. 2 ил.

СОЮЗ COBETCHHX

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) щ)5 Р 04 П 19/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСНОМ,К СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4413854/25-29 (22) 19. 04. 88 (46) 15.,06. 90. Бюл. Ф 22 (72) В.Г.Шугаев, Б.Д.Жлукто, А.И,Кузнецов, В.Т,Выскуб и В.Е,Балимов (53) .621.527.8(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

1(1036956, кл, Р 04 D 19/04, 1981, (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ

НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность насоса при аварийном прорыве атмбсферы. Рабочие лопатки (Л)

3 закреплены на центральном диске

2 (n) 6 полого ротора (Р) 2 параллельно оси насоса, образуя две параллельные ступени откачки. P 2 опирается на гибкий стержень (С) 4, нижний конец которого расположен в отверстии шарика, закрепленного в эластичной манжете, установленной на подпятнике.

При прорыве атмосферы как со стороны всасывания насоса, так и со стороны нагнетания наличие параллельных ступеней откачки обеспечивает уравновешивание сил, действующих на Д 6 и

Л 3. В результате возможно лишь не-, большое перемещение С 4 в отверстии шарика без дополнительных осевых усилий на опоры, 2 ил.

1571306

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов, Цель изобретения - повышение надеж5 ности насоса при аварийном прорыве атмосферы, На фиг.1 схематично представлен предлагаемый насос, продольный.разрез; на фиг.2 — узел I на фиг.1 l0 (опора гибкого стержня в увеличенном масштабе), Турбомолекулярный вакуумный насос ! содержит вертикальный корпус I и расположенный в нем по оси полый ротор

" 2 с рабочими лопатками 3, установленный на гибком стержне 4, опирающемся на подпятник 5. Ротор 2 снабжен центральным диском 6 и лопатки 3 установлены на нем параллельно оси с образо- 20 ванием параллельных ступеней откачки, а подпятник 5 снабжен эластичной ман . жетой 7 и укрепленным в ней шариком

8 .с диаметральным отверстием 9, нижний конец гибкого стержня 4 располо- 35 жен в отверстии 9.

Насос работает следующим образом.

При вращении ротора 2 откачиваемый газ, попадая в корпус 1 насоса из откачиваемого объема, взаимодействует щ с рабочими лопатками 3 и переносится со стороны всасывания на сторону нагнетания — в полость ротора 2, откуда удаляется форвакуумным насосом.

В случае прорыва атмосферы на вход насоса радиальные силы, возникающие от взаимодействия газа с атмосферным давлением с рабочими лопатками 3, не создают равнодействующей силы на ротор 2, поскольку лопатки 3 равномерно. расположены по окружности

4 центрального диска 6. На ротор 2 воздействуют осевые силы, передаваемые через центральный диск 6, однако равнодействующая этих сил равна нулю вследствие равенства давлений по обе стороны диска 6, поскольку лопат-, ( ки 3, размещенные на нем, образуют две идентичных параллельных ступени откачки с каждой стороны.

Эффект отсутствия равнодействующей осевой силы проявляется как при прорыве атмосферы со стороны всасывания, так и со стороны нагнетания, В последнем случае лишь в начальный момент прорыва возможен подъем ротора

2, так что гибкий стержень 4 отрывается от подпятника 5, однако наличие шарика 8 с отверстием 9 предотвращает отклонение ротора 2 от оси.

Таким образом обеспечивается повышенная надежность насоса при аварийных ситуациях, Формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий вертикальный корпус и расположЕнный в нем по оси полый ротор с рабочими лопатками, установленный на гибком стержне, опирающемся на подпятник, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности при аварийном прорыве атмосферы, ротор снабжен центральным диском, рабочие лопатки установлены на нем параллельно оси с образованием параллельных ступеней откачки, подпятник снабжен эластичной манжетой и укрепленным в ней шариком с диаметральным отверстием, а нижний конец гибкого стержня расположен в отверстии, 157j306

О

Составитель В.Кряковкин

Техред М.Моргентал Корректор М.Максимишинец

Редактор Ю.Середа

Заказ 1499 Тираж 502 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Проиэводстванно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101