Способ получения полимерных пленок

 

Изобретение относится к технологии получения тонких полимерных пленок из фотохимически полимеризуемых материалов и может быть использовано при создании пленочных элементов радиоэлектронных схем и адгезионного подслоя для различных покрытий. Оно позволяет ускорить процесс полимеризации. Это достигается тем, что нанесенный на подложку материал облучают 3 - 10 импульсами некогерентного света с плотностью световой энергии 4 - 10 Дж/см 2 и длительностью импульсов света 0,5 - 3,0 мс.

CO/03 СО ВЕ1СКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s 8 05 О 1/38, С 08 F 2/48

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

СПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4207228/31 — 05 (22) 08.01.87 (46) 23,07.90. Бюл. ¹ 27 (71) Новосибирский электро гехнический институт связи и Новосибирский филиал Кемеровского научно-исследовательского института химической промышленности (72) А.С. Мальковский, А.П, Шерстяков„

Б.И. Юдкин, А.А. Пухов, Н,В, Кудрина, А,М. Камирная и О.И, Антипова (53) 678,74.02:66.095.265(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹223326,,кл,,С 08 F 2/48, 1966, Изобретение относится к технологии получения тонких полимерных пленок органических соединений и может быть использовано при создании пленочных элементов интегральных схем, диэлектрических, влагозащитных и герметизирующих покрытий изделий электронной техники, при изготовлении радиодеталей, радиокомпонентов, может найти применение при создании металлополимерных изделий, при изготовлении адгезионного подслоя в различных покрытиях.

ЦЕлью изобретения является ускорение процесса полимеризации.

Пример 1. Тетрааллиловый эфир бензофенонтетракарбоновой кислотй (ТАЭ БТК) смешивают с 5 мас.% третбутилпербензоатом. Составляют 10%-ный раствор приготовленной смеси в ацетоне, наносят раствор методом окунания на серийно изготавливаемые полоские конденсаторы типа К 26-1-ОЖО 484 169 ТУ. Затем

„„ Ы „„1579572 А1 (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИМЕРНЫХ

ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к технологии получения тонких полимерных пленок из фотохимически полимеризуемых материалов и может быть использовано при создании пленочных элементов радиоэлектронных схем и адгезионного подслоя для различных покрытий. Оно позволяет ускорить процесс полимеризации.

Это достигается тем, что нанесенный на подложку материал облучают 3 — 10 импульсами некогерентного света с пло1ностью световой энергии 4 — 10 Дж/см и длитель2 ностью импульсов света 0,5-3,0 мс, конденсаторы с нанесенным материалом подвергают 4 — кратному воздействию мощного импульса светового некогерентного излучения от ксеноновых ламп накачки типа

И Н П-16/250 А с плотностью потока энергии

4 Дж/см и длительностью импульса 2 мс.

После последующей технологической операции (покрытие компаудом ЭК-93 — 1) конденсаторы подвергают испытаниям на влагостойкость. Испытание подтвердили хорошие влагозащитные свойства полученной пленки ТАЭ БТК.

Пример 2. Кремнийорганический компаунд 159 — 167 наносят тонким(10—

20 мкм) слоем на металлическую пластинку, После нанесения материала на пластинку ее подвергают 7 — 10 — кратному воздействию мощного импульса светового некогерейтного излучения с плотностью потока энергии

10 Дж/см и длительностью импульса 1 мс.

Пленка компаунда заполимеризовалась полностью.

1579572

Составитель Г.Догадин

Техред M.Mîðãåíòàë Корректор Н,Ревская

Редактор Л.Гратилло

Заказ 1973 Тираж 575 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101

Пример 3. Полиамидный nav. flAM-1 был нанесен тонким (10 — 20 мкм) слоем на металлическую подложку. После нанесения пленку подвергают 5-кратному воздействию мощного импульса некогерентного излучения с плотностью потока энергии 8

Дж/см и длительностью импульса 1,5 мс.

Пленка эаполимериэовалась полностью, Пример 4. Диаллилдидодециловый эфир бензофенонтетракарбоновой кислоты наносят, тонким (10 — 20 мкм) слоем на металлическую подложку. После нанесения пленку подвергают 3-кратному воздействию мощного импульса некогерентного света с плотностью потока энергии 5 Дж/см и, длительностью импульса 0,5 мс. Пленка запол име риэовалась полностью.

Пример 5. Диаллилдибутиловый эфир бензонфенонтетракарбоновой кислоты наносят тонким (12-20 мкм) слоем на стеклянную подложку, После нанесения пленку подвергают 10-кратному воздействию мощного импульса некогерентного света с плотностью потока энергии 4,5 Дж/см и

5 длительностью импульса 3 мс, Пленка полностью заполимеризовалась.

Таким образом, время полимеризации сократилось до нескольких десятков секунд без ухудшения качества покрытия.

10 Формула изобретения

Способ получения полимерных пленок, включающий нанесение на подложку фотохимически полимеризуемых материалов и их облучение светом, отличающийся

15 тем, что, с целью ускорения процесса полимеризации, материал облучают 3 — 10 импульсами некогерентно го света с плотностью световой энергии 4 — 10 Дж/см

2 и длительностью импульсов света

20 0,5-3,0 мс,