Лазерное устройство растрового типа для изготовления фотошаблонов печатных плат

 

Изобретение относится к радиоэлектронике. Целью изобретения является повышение надежности и расширение функциональных возможностей. Лазерное устройство растрового типа для изготовления печатных плат содержит блок управления, технологический лазер, по ходу луча которого расположены оптическая система сужения луча, оптический затвор с блоком управления оптического затвора, фоксирующую систему, в фокусе которой расположена плоскость кассеты с фотоматериалом, поворотные зеркала, зеркальную призму и расположенное за ним кадровое отклоняющее зеркало с магнитоэлектрическим приводом, датчиком углового положения зеркала и блоком управления движением кадрового отклоняющего зеркала, в кодирующая система соединена с фотоэлектронным умножителем, расположенным в фокусе конденсора, который установлен за плоскостью кассеты с фотоматериалом по ходу лазерного луча. Луч технологического лазера сканирует плоскость кассеты с фотоматериалом, осуществляя формирование топологии фотошаблонов печатных плат. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1610521

А1 (g}}g H 01 L 1}!30, G 0} F j — .б. Г .,;бб: .:

1 "

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И О ПОКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4680456/24-21 (22) 18.04,89 (46) 30.11.90. Бюл. Р 44 (72) IO.С. Нечаев, А.M. Буфан, Н.Ф. Виноградов, А.Ал. Иванов, А.Ан. Иванов, А.Ф. Морозов, В.M. Новиков и Т.Г. Яковлева (53) 621.382(088.8) (56) Excellon Automation Laser

Pattern Generator. Проспект фирмы

"Excellon Automation А. Duvision

of Excellon Indastries, An Esterline Company. 23915 Gamier Street, Torrance, СА 90509 U.S.À." (54) ЛАЗЕРНОЕ УСТРОЙСТВО РАСТРОВОГО ТИПА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ

ПЕЧАТНЫХ ПЛАТ (57) Изобретение относится к радиоэлектронике, Цель изобретения — повышение надежности и расширение функциональных возможностей. Лазерное устройство растрового типа для изгоИзобретение относится к радиоэлектронике, в частности к устройствам для изготовления фотошаблонов печатных плат.

Цель изобретения — повышение надежности устройства и расширение б его функциональных возможностей.

ha чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.

Устройство для изготовления фотошаблонов печатных плат содержит техо

2 товления печатных плат содержит блок управления, технологический лазер, по ходу луча которого расположены оптическая система сужения луча, оптический затвор с блоком управления оптического затвора, фокусирующую систему, в фокусе которой расположена плоскость кассеты с фотоматериалом, поворотные зеркала, зеркальную призму и расположенное за ним кадровое отклоняющее зеркало с магнитоэлектрическим приводом, датчиком углового положения зеркала и блоком управления движением кадрового отклоняющего зеркала, а кодирующая система соединена с фотоэлектронным. умножителем, расположенным в фокусе конденсора, который установлен за плоскостью кассеты с фотоматериалом по ходу лазерного луча.

Луч технологического лазера сканирует плоскость кассеты с фотоматериалом, осуществляя формирование топологии . фотошаблонов печатных плат. 1 ил. нологический лазер 1, по ходу луча которого последовательно расположены поворотное зеркало 2, оптическая система 3 сужения луча, оптический затвор 4, поворотное зеркало 5, д}окусирующая система 6, поворотное зеркало 7, зегкальная призма 8, установленная на валу двигателя 9, поворотное зеркало 10, кадровое отклоняющее зеркало 11 с магнитоэлектрическим приводом 12, кассета с фотоматериа1610521 лом 13, конденсор.14 и фотоэлектронный умножитель (ФЭУ) 15. Кроме того, устройство содержит блок 16 управления оптическим затвором 4, вы..од коорого подсоединен к оптическому затвору 4, датчик 17 углового поло>кения призмы 8, датчик 18 углового положения кадрового отклоняющего зеркала 11, блок 19 управления движением кадрового отклоняющего зеркала 11, выход которого подсоединен к управляющему входу магнитоэлектрического привода 12, кодирующую систему 20, входы которой соединены с выходом ФЭУ

15, датчиком 17 углового положения призмы и датчиком 18 углового положения кадрового отклоняющего зеркала, и блок 21 управления.

Устройство работает следующим образом.

Луч технологического лазера 1 после поворота зеркалом 2 сжимается с помощью оптической системы 3 до размеров входного окна оптического затвора 4. Рабочий луч, прошедший оптический затвор 4, направляется поворотным зеркалом 5 в фокусирующую систему 6, которая фокусирует лазерный луч в плоскости кассеты с фотоматериалом 13. Поворотное зеркало 7 направляет луч, прошедший фокусирующую систему 6, на вращающуюся зеркальную призму 8, которая обеспечивает его горизонтальную развертку каждой гранью, Развернутый луч направляется поворотным зеркалом 10 на

I кадровое отклоняющее зеркало 11, обеспечивающее кадровую развертку луча на кассете с фотоматериалом 13. Вклю40 чение и выключение луча осуществляют оптическим затвором 4.

В качестве технологического лазера в устройстве можно использовать аргоновый лазер непрерывного действия (длина волны излучения 0,48ф мкм, 45 мощность 50 мВт) . Оптическая система

3 представляет собой трубку Галилея, оптический затвор 4 выполнен на основе промышленного акустооптического модулятора МЛ-201, фокусирующая си- 50

"тема 6 включает в себя расширитель луча (трубка Галилея) и объектив с фокусным расстоянием, равным плине хо. да луча от фокчсипующей системы до плоскости кассеты с фотоматериалом 13. 5

Блок ?1 управления (микроЭВМ

Электроника-60п) осжществляет управление движением кадрового откчоняюшего зеркала 11 в режимах прорисовки и калибровки через "лок 19 управления, а также управление оптическим затвором через бло . 16 управления.

В режиме калибровки в фокальной плоскости фокусирующей системы 6 вместо фотоматериала устанавливается эталонный образец с нанесенными на него с высокой точностью кпестообразными реперами. За образцом устанавливаются конденсор: 14 и ФЭУ 15. Образец сканируют лазерным лучом в режиме развертки типа телевизионного растра.

В момен ы пересечения лучом плеча репера на выходе ФЭУ появляется видеосигнал, который используе.тся кодирующей системой ?О для инициирования передачи координат точки пересечения от датчика 17 углсвого положения призмы и датчика 18 углового положения кадрового отклоняющего зеркала в блок 2 1 управления. Используя полученный при сканировании массив координат, блок 21 управления вычисляет ко— ординаты центров реперов (в единицах отсчета устройства) и, зная реальное положение реперов на образце, вычис— ляет коэффициенты преобразования от системы координат устройства к системе координат, определяемой реперами на образце а также величины коррекций, которые необходимо вносить в выводимую информацию для компенсации систематических искажений.

Формул а и з обре т е н и я

Лазерное устройство растрового типа для изготовления фотошаблонов печатных плат, содержащее блоки управления. технологический лазер, по ходу луча которого расположены оптическая система сужения л ча, оптический затвор с блоком управления оптического затвора, фокусирующая система, в фокусе которой расположена кассета с фотоматериалом, поворотные зеркала и зеркальная призма, установленная на валу двигателя, с датчиком углового положения, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности и расширения Аункциональных возможностей устройства, оно снабжено кадровым отклоняющим зеркалом с магнитоэлектрическим приводом, датчиком углового положения кадровог< отклоняющего зеркала и блоком управлс н:.,я движением кадрового отклоняСоставитель Д. Соколов

Редактор М. Петрова Техред Г1.Ходанич Корректор Т. Палий

Заказ 3741

Тираж 467

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитет по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, iK-35, Раушская наб., д. 4/5

Производствепв -пздатевь<:кий комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 ющего зеркала, расположенным между зеркальной призмой и плоскостью кассети с фотоматериалом, и кодирующей системой, конденсором ., установленным по ходу лазерногo луча у кассеты с фотоматериалом с противоположной стороны от кадрового отклоняющего зер- .ала, и фотоэлектронным умножителем, расположенным в фокусе конденсора, причем кодирующая система соединена с фотоэлектронным умнож телем и блоком управления, а блок управления кадрового отклоняющего зеркала и датчик углового положения кадрового отклоняющего зеркала соединены с блоком управления °