Способ получения вакуума

 

Изобретение может быть использовано для откачки неконденсируемых газов из объектов с низким газовыделением. Цель изобретения - снижение предельного давления в замкнутом обьеме и уменьшение времени получения предельного вакуума посредством ротационного механического вакуумного насоса. Газ откачивают из вакумного объема по вакуумному трубопроводу . Откачку осуществляют циклами, периодически заполняя замкнутый объем водородом через палладиевый фильтр. В каждом из циклов, кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем заполняют водородом до давления, равного 0,3-1,0 атмосферного . В первом цикле откачку производят до давления 10-20 Па, в последующих - до наименьшего давления, при котором в трубопроводе откачки сохраняется режим вязкого трения. 8 последнем цикле откачки замкнутый объем сообщают с атмосферой через нагретый фильтр 1 ил ё

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4610743/29 (22) 29,11.88 (46) 30.10.91. Бюл. М 40 (71) Научно-исследовательский институт прикладной физики Ташкентского государственного университета им. В.И,Ленина (72) А.А.Адылов, З,С,Байбабаев, И,Ф,Лившиц, M,А.Тулэметов и Б.А.Ципинюк (53) 621,52(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1481475, кл. F 04 С 29/02, 1987. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМА (57) Изобретение может быть использовано для откачки неконденсируемых газов из объектов с низким газовыделением, Цель изобретения — снижение предельного давления в замкнутом объеме и уменьшение

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для откачки неконденсируемых газов из объектов с низким газовыделением, Целью изобретения является снижение предельного давления в откачиваемом объеме и уменьшение времени получения предельного вакуума, На чертеже изображена схема вакуумной установки для реализации предлагаемого способа получения вакуума, Вакуумная установка содержит откачиваемый замкнутый объем 1, сообщенный вакуумный трубопроводом 2 с ротационным механическим вакуумным насосом 3, баллон 4 с водородом, сообщенный трубопроводом 5 напуска водорода с замкнутым объемом 1, палладиевый фильтр 6, установленный в трубопроводе 5, Замкнутый объем

„„Я „„1687883 А1 (я)ю F 04 С 18/00, F 04 В 23/00 времени получения предельного вакуума посредством ротационного механического вакуумного насоса. Газ откачивают из вакумного объема по вакуумному трубопроводу, Откачку осуществляют циклами, периодически заполняя замкнутый объем водородом через пэлладиевый фильтр. В каждом из циклов, кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем заполняют водородом до давления; равного 0,3 — 1,0 атмосферного. В первом цикле откачку производят до давления 10-20 Па, в последующих— до наименьшего давления, при котором в трубопроводе откачки сохраняется режим вязкого трения. В последнем цикле откачки замкнутый объем сообщают с атмосферой через нагретый фильтр. 1 ил.

1 снабжен датчиками 7 и 8 низкого и высокого вакуума. B трубопроводах 2 и 5 установлены соответственно вакумные вентили

9 и 10. Палладиевый фильтр 6 снабжен нагревателем 11 и съемной крышкой 12.

Способ получения вакуума на описанной установке заключается в том, что из замкнутого объема 1 по трубопроводу 2 периодически осуществляют откачку газа посредством ротационного механического вакуумного насоса 3 и заполнение замкнутого объема 1 через палладиевый фильтр 6 водородом. При этом в каждом из циклов, кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем 1 заполняют водородом до давления, равного 0,3 — 1,0 атмосферного, в первом цикле откачку производят до давления 10-20 Па, в последующих— до наименьшего давления, при котором в трубопроводе 2 откачки сохраняется режим вязкого трения, а в последнем цикле после откачки замкнутого объема 1 последний сообщают с атмосферой через нагретый палладиевый фильтр 6. Нагрев палладиевого фильтра 6 осуществляют нагревателем 11.

Величину вакуума в замкнутом объеме контролируют датчиками 7 и 8. том объеме и уменьшения времени получения предельного вакуума, откачку осуществляют циклами, периодически заполняя замкнутый объем водородом через паллади5 евый фильтр, при этом в каждом иэ циклов, кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем заполняют водородом до давления, равного 0,3 — 1,0 атмосферного, в первом цикле откачку производят до

10 давления 10 — 20 Па, в последующих — до наименьшего давления, при котором. в трубопроводе откачки сохраняется режим вязкого трения, а в последнем цикле после откачки замкнутого объема последний сооб15 щают с атмосферой через нагретый палладиевый фильтр.

Формула изобретения

Способ получения вакуума посредством ротационного механического вакуумного насоса, включающий откачку газа из замкнутого объема по вакуумному трубопроводу, отличающийся тем, что, с целью снижения предельного, давления в эамкнуСоставитель С.Пузиков

Техред М,Моргентал Корректор M.Äåì÷èê

Редактор M.Áàíäóðà

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101

Заказ 3691 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и.открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5