Устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой

 

Изобретение относится к технологическому оборудованию микроэлектронной промышленности и может быть использовано при изготовлении монокристалльных модулей на БИС. Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение технологичности ее изготовления. Устройство содержит основание 14 со стойками, микроскоп 1с системой освещения, манипулятор совмещения, прозрачный держатель 8 подложки , выполненный в виде пазов стрек основания, в котором установлены направляющие 9 для осевого перемещения съемного постоянного магнита 10, закрепленного на носителе 11с базирующими отверстиями , выполненном из немагнитного материала. 1 ил,

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!)5 Н 05 К 3/14

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4926405/21 (22) 08,04,91 (46) 23.04.93. Бюл, ¹ 15 (71) Московский институт электронной техники. (72) Л.А.Коледов, Б.И,Черный, С.Н.Томощенко и Н.В.Патрацкая (56) Авторское свидетельство СССР

N 1549468, кл. Н 05 К 3/14, 1987. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ И

ФИКСАЦИИ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ МАСКИ С

ПОДЛОЖКОЙ (57) Изобретение относится к технологическому оборудованию микроэлектронной

„„Я „„181 1041 А1 промышленности и может быть использовано и ри изготовлении монокристалльных модулей на БИС. Цель изобретения упрощение конструкции и повышение технологичности ее изготовления. Устройство содержит основание 14 со стойками, микроскоп 1 с системой освещения, манипулятор совмещения, прозрачный держатель 8 подложки, выполненный в виде пазов стоек основания, в котором установлены направляющие 9 для осевого перемещения съемного постоянного магнита 10, закрепленного на носителе 11 с базирующими отверстиями, выполненном из немагнитного материала. 1 ил, 1811041

15

25

40

50

Изобретение относится к технологическому оборудованию микроэлектронной промышленности и может быть использовано при изготовлении многокристалльных модулей на БИС.

Целью изобретения является повышение технологичности изготовления, Изобретение поясняется чертежом, на котором представлен общий вид устройства, где 1 — микроскоп, 2 — прозрачный держатель маски, 3 — направляющие 4 держателя маски, 4 — микровинт, 5 — верх- ний постоянный магнит, 6 — металлическая маска, 7 — подложка. 8 — держатель подлож- ки, 9 — направляющие неметаллического но- сителя маски, 10 — нижний постоянный магнит, 11 — неметаллический носитель маг нита, 12 — ручка, 13 — плита, 14 — основание устройства, 15 — пластина.

Устройство работает следующим образом: на направляющие 9, запрессованные в основание держателя подложки 8, устанавливается носитель 11 из немагнитного материала, с закрепленным по торцам постоянным магнитом 10. На стойки держателя подложки 8 устанавливается подложка

7, Металлическая маска 6 крепится к прозрачному держателю маски 2 магнитом 5, Держатель маски устанавливается на направляющие 3 и регулируется по высоте микровинтом 4.

После совмещения, в плане, по реперным знакам металлической маски и подложки с помощью микроскопа 1 и манипулятора совмещения, осуществляется подъем магнита 10 на подвижном носителе эа ручки 12 до полного совмещения магнита с подложкой и маской. Далее снимается магнит 5 и держатель 2 с направляющих 3, Подвижный носитель с магнитом, подложкой и маской передается за ручки на следующие операции или на межоперационное хранение.

Пример конкретного выполнения.

Устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой выполнено для металлической маски 6 с размерами, мм 48 х 60 х 0,5 и алюминиевой подложки с полиимидной изоляцией 7 с размерами, мм

48х 60х1,0.

Устройство состойт иэ микроскопа 1 с системой освещения, манипулятора совмещения, соединенного с подвижной плитой

13, имеющей отверстиеф37 мм, в котором и размещена механическая часть устройства совмещения, На плите расположена металлическая пластина 15 со штифтовыми направляющими 3, по которым в осевом направлении перемещается держатель маски 2, с расположенным на нем постоянным

"Р агнитом 5 с размерами, мм 48 х 60 х 5,5, удерживающим под прозрачной пластиной из оргстекла, толщиной 1,5 мм, металлическую маску 6. На основании устройства 14 установлен держатель подложки 8 со штифтовыми направляющими 9, на которые установлен носитель 11 с постоянным магнитом

10, Носитель магнита ограничивает доступ к совмещенным маске, подложке, магниту„и за ручки 12 позволяет их перемещать в любом другом направлении, Таким образом, устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой, по сравнению с прототипом, использует технологичные детали в своей конструкции, которая позволяет сохранять, совмещенные металлическую маску с подложкой, не использует специальные постоянные магниты и вакуумную систему, что в совокупности существенно повышает технологичность изготовления при обеспечении совмещения и фиксации металлической маски, подложки на постоянном магните, закрепленнОм на немагнитном носителе для перемещения.

Формула изобретения

Устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой, содержащее основание с направляющими в виде стержней, держатель маски с постоянным магнитом, держатель подложки, съемный . постоянный магнит, установленный на основании под держателем подложки с возможностью перемещения. по направляющим основания в плоскости, перпендикулярной рабочей поверхности держателя подложки, микроскоп с системой освещения и манипулятор совмещения, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения технологичности ее изготовления, оно снабжено носителем съемного постоянного магнита с базирующими отверстиями, размещенными с возможностью взаимодействия с направляющими основания, выполненным из немагнитного материала, основание снабжено стойками, а держатель подложки выполнен в виде гнезда, образованного пазами, выполненными в стойках основания,