Устройство для совмещения маски с подложкой напыляемой пленочной схемы
тпт 486497
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 23.02.65 (21) 944446/26-9 (51) М. Кл. Н 051 3/14 с присоединением заявки Ло
Государственный номитет .Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (32) Приоритет
Опубликовано 30.09.75. Ьюллетень ЛЪ 36
Дата опуоликования описания 05.01.76 (53) УДК 539.239.002.5 (088.8) (72) Автор изобретения
Л. В. Лобиков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ МАСКИ С ПОДЛОЖКОЙ
НАПЫЛЯЕМОЙ ПЛЕНОЧНОЙ СХЕМЫ
Предмет изобретения
Известные устройства для совмещения маски с подложкой напыляемой пленочной схемы, содержащие держатель подложки, выполненный из материала, обладающего высокой теплопроводностью, узел крепления маски, 5 выполненный из материала с коэффициентом теплового линейного расширения, равным тепловому коэффициенту линейного расширения материала подложки, и приспособление для нагрева подложки и маски, не обеспечивают 10
Ф вьгсокой точности совмещения маски с подложкой.
В описываемом устройстве повышение точности совмещения достигается тем, что держатель подложки снабжен базовыми пальцами, ьт к которым при помощи пружинных фиксаторов прижата подложка, и выполнением узла крепления маски в виде охватывающих ее двух рамок, одна из которых снабжена шариковыми толкателями, установленными с внешней сто- 20 роны рамки против базовых пальцев и расположенными по ее внутреннему контуру выступами, опирающимися на базовые пальцы со стороны, противоположной участку соприкосновения базовых пальцев с подложкой. 25
Конструкция описываемого устройства приведена на чертеже.
Приспособление для нагрева подложки и маски снабжено двумя рамками 1 и 2, между которыми размещена маска 3. Рамка 2 шари- 39 ковыми толкателями 4 прижимается к установленным на держателе 5 подложки 6 базовым пальцам 7. К базовым пальцам 7 с противоположной стороны прижимается подпружиненными фиксаторами 8 подложка 6.
Таким образом, подложка 6 и маска 3 базируются беззазорно одними и теми же базовыми пальцами 7; при этом только тепловое расширение пальцев будет влиять на точность совмещения, которым практически можно пренебречь вследствие малой величины»х диаметра.
Устройство для совмещения маски с подложкой напыляемой пленочной схемы, содержащее держатель подложки, изготовленный из материала, обладающего высокой теплопроводностью, узел крепления маски, выполненный из материала с коэффициентом теплового линейного расширения, равным тепловому коэффициенту линейного расширения материала подложки, и приспособление для нагрева подложки и маски, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности совмещения, держатель подложки снабжен базовыми пальцами, к которым при помощи пружинных фиксаторов прижата подложка, а узел крепления маски выполнен в виде охватыва486497 у б
Составитель Г. Фридолин
Texpeä T. Миронова
Корректор 3. Тарасова
Редактор Т. Сорокин
Заказ 3201/18 Изд. ¹ 1854 Тираж 869 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Мини."тров СССР
Ilo c7d. i H,обвстеииЙ H о гкрь гиЙ
Москва, К-35, Раугнскан иаб., д. 4/5
Типографии, и11. Сапмиаиа, 2 ющих с обеих сторон маску двух рамок, одна из которых снабжена шариковыми толкателями, установленными с внешней стороны рамки против базовых пальцев и расположенными по ее внутреннему контуру выступами, опирающимися на базовые пальцы со стороны., противоположной участку соприкосновения базовых пальцев с подложкой.
А 1
