Устройство для контроля толщины тонких пленок

 

372755

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сова Соввтскик

Социалистииескил Реолублив

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено ЗО.ХП.1970 (№ 1614!384/26-9) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 01.lll.1973. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 28.IV.1973

М. Кл. Н 05k 3/14

G 01b 7/06

Комитет оо делам иаооретений и открытий ори Совете Министров

СССР

УД К 531.717,11:539.234. .621.52 (088.8) Авторы изобретения

В. М. Гудков и В. И. Геращенко

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК

Предмет изобретения

Изобретение относится к радиоэлектронике, Устройство может найти применение при изготовлении пленочных компонентов интегральных микросхем.

Известны устройства для контроля толщины тонких пленок, работающие по принципу кварцевых измерителей, содержащие два кварцевых резонатора, соединенные по схеме сравнения с заданной разностью частот. Датчик снабжен перебрасывающейся заслонкой, позволяющей поочередно закрывать один из резонаторов от потока частиц распыляемого материала.

Заслонка перебрасывается при достижении заданной разности частот. О толщине пленки судят по числу перебросов заслонки.

Известные устройства громоздки и требуют установки в вакуумной камере электромагнита, присутствие которого нежелательно из-за дополнительного загрязнения осаждаемой пленки продуктами газовыделения.

С целью упрощения конструкции на тепловом экране предлагаемого устройства выполнены дополнительные отверстия, расположенные по контуру противоположного эталонного кварцевого резонатора. Их общая площадь равна площади отверстия, противолежащего измерительному резонатору.

Работа датчика основана на том обстоятельстве, что массовая чувствительность кварца является функцией расстояния от центра пластины. В центре пластины она максимальна, а по периметру близка к нулю.

На чертеже показана конструкция предла5 гаемого устройства.

Устройство содержит кварцедержатель— тепловой экран 1 с отверстиями для термокомпенсации 2 над эталонным резонатором и отверстием 8 над центром измерительного ре10 зонатора, кварцевые резонаторы 4, планку 5 для крепления резонаторов, привинченную к тепловому экрану винтами б.

В процессе напыления резонатора оседает одно и то же количество пленки, Вследствие

15 этого кварц получает от частиц распыляемого материала одинаковое количество тепла.

Тепло, излучаемое испарителем, также в одинаковой степени влияет на оба резонатора, и поэтому разность их частот не изменяется.

20 Неполная компенсация температурной погрешности может быть при различных температурных коэффициентах частот резонаторов. В этом случае необходимо подобрать определенное соотношение площадей отверстий для по25 тока напыляемого материала.

Устройство для контроля. толщины тонких

ЗО пленок, содержащее измерительный и эталон372755

Составитель Е. внучкова

Техред 3. Тараиеико

Корректоры: А. Дзесова и Л. Царькова

Редактор Б. Федотов

Заказ 1178)15 Изд. ¹ 316 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ный кварцевые резонаторы, защищенные тепловым экраном с отверстием; противолежащим центральной части измерительного кварцевого резонатора, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкцйи, в тепловом экране выполнены донолнительнв1е отверСтия, расположенные- по контуру противолежащего эталонного кварцевого резонатора, причем их общая площадь равна площади отверстия, противолежащего измерительному резонатору.