Испаритель многокомпонентных материалов
Использование: относится к технологии нанесения покрытий в вакууме для получения тонких пленок многокомпонентных материалов . Сущность изобретения: испаритель многокомпонентных материалов содержит корпус и заслонку в виде равновысотных внешнего и внутреннего стаканов, коаксиально установленных навстречу с возможностью возвратно-поступательного перемещения заслонки относительно корпуса, нагреватель, размещенный со стороны внешнего стакана, выходное отверстие, образованное кольцевым зазором между стенками стаканов, величина кольцевого зазора М и высота стаканов Н определяются из выражений 0,05 М 0,1D; D Н 2D, где D - внешний диаметр внутреннего стакана, в центре дна внешнего стакана с внутренней стороны имеется цилиндрическое углубление, диаметр d и высота h которого определяются из выражения 0 d Отвнутр - 1,4D + Оавнутр, где 01внутр - внутренний диаметр внешнего стакана, мм- 02внутр - внутренний диаметр внутреннего стакана, мм; t - толщина дна внешнего стакйна, мм. 3 ил СО
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУ6ЛИК (s l ) 5 С 23 С 14/24
ГОСУДАРСТВЕН-ЮЕ ПАТЕНТНОЕ
ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4870698/21 (22) 02.07.90 (46) 30.06.93. Бюл. М 24 (71) Самарский авиационный институт им.акад.С. П, Королева (72) О.Ю.Моисеев, А.В,Волков, В.Д,Дмитриев, И.В. Вербенко и С.А, Бородин (56) Авторское свидетельство СССР
М 1491029, кл. С 23 С 14/24, 1987, (54) ИСПАРИТЕЛЬ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ МАТЕРИАЛОВ (57) Использование: относится к технологии нанесения покрытий в вакууме для получения тонких пленок многокомпонентных материалов. Сущность изобретения; испаритель многокомпонентных материалов содержит корпус и заслонку в виде равновысотных внешнего и внутреннего
Изобретение относится к технологии нанесения покрытий в вакуумной камере и может быть использовано для получения тонких пленок многокомпонентных материалов в микроэлектронике, Целью изобретения является улучшение качества наносимых покрытий.
На фиг,1 изображен испаритель многокомпонентных материалов в исходном состоянии; на фиг,2 — то же, в процессе накопления паров испаряемого материала; на фиг,3 — то же, в момент выпуска порции паров.
Испаритель многокомпонентных материалов состои из внешнего стакана 1 диаметром Oia+yp, образующего корпус устройства, и коаксиально вставленного в него внутреннего стакана 2 диаметром
О28и1пр, выполняющего функции заслонки.
„„Я „„1824457 А1 стаканов, коаксиально установленных навстречу с возможностью возвратно-поступательного перемещения заслонки относительно корпуса, нагреватель, размещенный со стороны внешнего стакана, выходное отверстие, образованное кольцевым зазором между стенками стаканов, величина кольцевого зазора М и высота стаканов
Н определяются из выражений 0.05 < М <
0 1D; 0 < Н < 20, где 0 — внешний диаметр внутреннего стакана, в центре дна внешнего стакана с внутренней стороны имеется цилиндрическое углубление, диаметр d u высота h которого определяются из выражения 0 < d < D1eHyrp 1,4D+ D2enyrp где 018нутр — внутренний диаметр внешнего стакана, мм; D2e yrp — внутренний диаметр внутреннего стакана, мм; t — толщина дна внешнего стакана, мм. 3 ил, Высота стаканов Н и величина кольцевого зазора М между стенками стаканов определяются иэ выражений (1). В дне внешнего стакана выполнено цилиндрическое углубление 3 диаметром d и высотой Н, в которое помещают навеску испаряемого материала
4, Диаметр d и высота h углубления определяются иэ выражения (2). Торцы края внутреннего стакана 2 и дно внешнего стакана 1 в исходном состоянии плотно примыкают друг к другу, образуя при этом камеру испарения и смешивания 5. Выходное отверстие
6 кольцевой формы образовано кольцевым зазором между стенками стаканов 1 и 2, Стенки внешнего стакана 1 нагреваются косвенным методом нагревателем 7.
Испаритель работает следующим образом, Конструкцию устанавливают в вакуумной камере вертикально и включают
1824457 нагреватель 7. При определенной температуре, зависящей от состава испаряемого материала 4 в камере испарения и смешивания 5, накапливаются пары испаряемого материала (фиг,2). При достаточном давлении паров вещества стакан 2 приподнимается и происходит разгерметизация камеры испарения и смешивания, Пары многокомпонен THofo материала 4 через зазор 6 между стаканами 1 и 2 устремляются к подложке (фиг,З), При этом давление внутри камеры испарения и смешивания уменьшается, стакан 2 опускается на исходное место и отделяет камеру испарения и смешивания от выходного отверстия 6 (фиг.2).
Через некоторое время давление паров испаряемо о материала в камере испарения и смешивания вновь становится достаточным для ее разгерметизации, стакан-заслонка 2 вновь приподнимается и новая порция паров через выходное отверстие, образованное кольцевым зазором между стаканами 1 и 2, поступает к подложке. Далее процесс циклически повторяется. Иэ-за наличия углубления в дне внешнего стакана с помещенным в него испаряемым материалом практически исключается возможность попадания частиц испаряемого материала в зазор между торцами внутреннего стакана и дном внешнего стакана, Формула изобретения
Испаритель многокомпонентных материалов, содержащий корпус и заслонку, выполненные в виде равновысотных внешнего и внутреннего стаканов, коаксиально установленных навстречу с возможностью возвратно-поступательного перемещения заслонки относительно корпуса, нагреватель, размещенный со стороны внешнего
10 стакана, выходное отверстие, образованное кольцевым зазором между стенками стаканов, а величина кольцевого зазора и высота стаканов выбраны из выражений
0,05 < M < 0,1D;
15 О<Н<гО, где M — величина кольцевого зазора, мм;
Н вЂ” высота стаканов, мм;
D — внешний диаметр внутреннего стакана, мм, 20 отличающийся тем, что, с целью повышения качества наносимых покрытий, в центре дна внешнего стакана с внутренней его стороны выполнено цилиндричеСкое углубление, диаметр и высота которого определяются иэ выражения;
О < d < 01внутр 1,4D+ 02внутр, где d — диаметр углубления, мм;
h — высота углубления, мм;
01внур — внутренний диаметр внешнего
ЗО стакана, мм;
Огвнутр — внутренний диаметр внутреннего стакана, мм;
t — толщина дна внешнего стакана, мм.
1824457
Составитель О. Моисеев
Техред М.Моргентал Корректор Н. Король
Редактор
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Заказ 2217 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
