Испаритель для вакуумных установок
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме, о частности к термическим испарителям для вакуумных установок. Испаритель для вакуумных установок содержит полый, цилиндрической формы испаряемый стержень, установленный торцом на опорной площадке, имеющей коническую форму, нагревательный элемент, установленный под опорной площадкой , стержень, связанный с держателем с возможностью беззазорного осевого перемещения . 1 ил.
(я)з С 23 С 14/24
ОПИСАНИЕ ИЗО6РЕТЕНИЯ
К ПАТЕНТУ
О
О
О
М ! (7с
Комитет Российской Федерации по патентам и товарным знакам (21) 5008957/21 (22) 18.11.91 (46) 07.09.93. Бюл, М 33-36 (76) Андреева Л.Л.. Василенко Н.В., Ивашов
Е,Н., Киселева Г.И., Степанчиков С.В. (56) Авторское свидетельство СССР
М 322422, кл, С 23 С 14/24, 1971, (54) ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХУСТАНОВОК (57) Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме, в частности к
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и экологически чистых технологических средах.
Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий нагревательный элемент и распыл яемый стержень с держателем, опирающийся на опорную площадку.
Недостатком аналога является низкая равномерность распыления испаряемого вещества.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемом у результату к изобретению является испаритель для вакуумных установок, содержащий нагревательный элемент и распыляемый стержень с держателем, причем стержень выполнен с конусным наконечником, свободно опирающимся острым концом на опорную площадку.
Недостатком прототипа также является низкая равномерность распыления испаряемого вещества, тэк как со времени рэспыляемый конус вещества становится
„„RU „„2000356 С термическим испарителям для вакуумных установок. Испаритель для вакуумных установок содержит полый, цилиндрической формы испаряемый стержень, установленный торцом на опорной площадке, имеющей коническую форму, нагревательный элемент, установленный под опорной площадкой, стержень, связанный с держателем с воэможностью беззазорного осевого перемещения. 1 ил. усеченным и количество испаряемого вещества в единицу времени изменяется.
B основу изобретения положена задача повышения равномерности распыления испаряемого вещества.
Задача решается тем, что стержень выполнен полым, цилиндрической формы, опорная площадка и контактирующий с ней торец стержня выполнены коническими, нагревательный элементустановлен под опорной площадкой, а стержень связан с держателем с возможностью беззазорного осевого перемещения, Введение в испаритель полого стержня с коническим торцом и конической опорной площадки, нагревательного элемента, установленного под.опорной площадкой, обеспечивает равномерное испарение вещества распыляемого стержня, что и позволяет достичь повышения равномерности распыления испаряемого вещества.
Сопоставительный анализ заявляемого испарителя для вакуумных устэноеок с r po2000356
Составитель Л.Андреева
Техред М.Моргентал Корректор Н,Милюкова
Редактор
Заказ 3066
Тираж Подписное
НПО "Поиск" Роспатента
113035, Москва, Ж-35. Раушская наб.. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент" r Ужгород ул.Гагарина. 101 тотипом показывает, что предлагаемое техническое решение соответствует критерию изобретения "новизна".
Сравнение заявляемого решения не только с прототипом, но и с другими техническими решениями в данной области техники, позволило выявить в них совокупность признаков, отличающих заявляемое решение от прототипа, что позволяет сделать вывод о соответствии критерию
"существенные отличия".
На чертеже показан испаритель для вакуумных установок е разрезе.
Испаритель для вакуумных установок содержит нагревательный элемент 1, распыляемый стержень 2 с держателем 3. Стержень опирается на опорную площадку 4. Он выполнен полым, цилиндрической формы.
Опорная площадка 4 и контактирующий с ней торец 5 стержня 2 выполнены коническими. Нагревательный элемент 1 установлен под опорной площадкой 4. Стержень 2 связан с держателем 3 с возможностью осевого перемещения.
Испаритель для вакуумных установок работает следующим образом.
При подаче напряжения на нагревательный элемент 1 происходит нагрев опорной площадки 4 и постепенное расплавление и испарение вещества стержня 2, которое через полость в стержне попадает на обьект напыления, например подложку (на чертеже не показана).
При постоянном напряжении U сохраняется и постоянство испаренного вещества в единицу времени. При этом стержень 2 постоянно контактирует с опорной площадкой 4 и уменьшается по длине эа счет расплавления и испарения,. Беззазорное осевое перемещение стержня 2 в держателе
3 также обеспечивает равномерность распыления и строгую направленность потока
10 испаряемого вещества вдоль оси стержня вверх.
Испаритель целесообразно использовать при создании экологически чистого технологического оборудования электронной техники, Применение предложенного испарителя для вакуумных установок позволяет повысить равномерность распыления испаряемого вещества.
Формула изобретения
Испаритель для вакуумных установок, содержащий нагревательный элемент, распыляемый стержень с держателем, установленный на опорной площадке, о т л и ч а юшийся т ем, что стержень выполнен полым цилиндрической формы и связан с держателем с возможностью беззазорного осевого перемещения. опорная площадка и контактирующий с ней торец стержня имеют кони30 ческую форму с вершиной конуса, направленной вверх вдоль вертикальной оси стержня, нагревательный элемент расположен под опорной площадкой.
