Способ изготовления тонкопленочных конденсаторов
< ц 297326
ОПИСАНИЕ
ЙЗОБРЕТЕНИЯ, t
Союз Советских
Социелистических
Реслублик
I (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 08.06.68 (21) 1247294/26-9 с присоединением заявки _#_ (23) Приоритет
Опубликовано 05,02.75. Бюллетень Мв 5
Дата опубликования описания 08.04.75 (51) М. Кл. Н 01g 13/00
Государственный комитет, Совете Министров СССР ло делом изобретений и открытий
I ! (53) УДК 621.319.4.661..8...41 (088.8) (72) Авторы изобретения
В. H. Гаштольд, С, А. Кутолин, Л. М. Остаповский, И. В. Степанов и Г. П. Тепман
КОНДЕНСАТОРОВ
Предмет изобретения
Известны способы изготовления тонкопленочных конденсаторов, имеющих структуру металл-диэлектрик-металл.
Однако при этих способах используются по крайней мере два материала: материал электродов и материал диэлектрического слоя, а также образуется резкая граница между неоднородными материалами электродов и диэлектрика. Это приводит к перерасходу материала и уменьшению пробивного напряжения.
Цель изобретения — экономия материала, увеличение пробивного напряжения и получение однородной границы металл-диэлектрик.
Это достигается тем, что диэлектрическую пленку конденсатора и его электроды получают путем последовательного испарения нитридов переходных металлов при температурах испарения, С:
1 оп — — 1300 — 1350
fèñï = 1750 — 2000
Изобретение поясняется чертежом, на котором приведен общий вид и разрез узла тонкопленочных емкостных элементов, где: 1— нижн:H электрод — нитрид алюминия с металлической гроводпмостью, 2 — диэлектрик — нитрид алюминия с высоким удельным сопротивлением, 3 — верхний электрод — нитрид алюминия с металлической проводимостью. Рабочая площадь составляет 4 м:Р.
Исходным материалом для напыления служил порошок (400 меш.) нитрида алюминия (содержание азота 33,4 — 33,6 /о) квалификации <сСПЧ».
5 Напыление проводилось при остаточном давлении 5 10 — мм рт. ст. на подложки из стекла марки С-41-1. В качестве испарителя использовалась танталовая лодочка.
10 Технологические режимы изготовления слоев выбирались на основе зависимости удельного сопротивления пленок нитрида алюминия от температуры испарения.
Напыление электродов (пленка нитрида алюминия с металлической проводимостью) проводилось при 1750 С (яркостная), со скоо ростью осаждения 100А (мин, толщина элеко тродов 3000 — 5000 А) .
Напыление диэлектрической пленки нитрида алюминия проводилось при 1300 С (яркос стная), со скоростью осаждения 0,5 — -1 А о (мин, толщина пленки 1000 А.)
Способ изготовления тонкопленочных кон30 денсаторов путем вакуумного напыления, o T297326
Г . ф 3 с:фаз
WLСоставитель А. Мерман
Корректоры: Е. Мохова и 3. Тарасова
Техред Т. Миронова
Редактор Н, Караванская
Заказ 826/1 Изд. № 432 Тираж 833 Подписное
UHHHTIH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 л и ч а ю шийся тем, что, с целью экономии материала, увеличения пробивного напряжения и получения однородной границы металлдиэлектрик, диэлектрическую пленку конденсатора и его электроды получают путем последовательного испарения нитридов переходных металлов при температурах испарения, ОС.
t„ = 1300 — 1350
5 исп = 1750 — 2000
