Графитовый нагреватель подложек

Авторы патента:

C23C14/50 - держатели подложек

О П

ИЗОЫЕтЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

347367

Сова Советских

Социалистических

Респуелик

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. С 23с 13!12

Заявлено 31.XII.1969 (№ 1391497/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 10.Ч1!!.1972. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 1.IX.1972

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793.14.002..52(088.8) Авторы изобретения

А. А. Комаров и 3. М. Лерман

Заявитель

ГРАФИТОВЫЙ НАГРЕВАТЕЛЬ ПОДЛОЖЕК

Изобретение касается нанесения вакуумных покрытий.

В известном графитовом нагревателе подложек, содержащем пластину и электроды, не обеспечивается постоянная температура поверхности пластины, что снижает производительность вакуумной установки.

Цель изобретения вЂ” обеспечение постоянной температуры поверхности пластины.

Это достигается тем, что пластина соединена с электродами посредством металлических проводников, общая площадь поперечного сечения которых меньше площади поперечного сечения пластины.

На чертеже представлен предлагаемый нагреватель, общий вид.

Нагреватель состоит из пластины 1 и электродов 2, соединенных с пластиной посредством металлических проводников 8, общая площадь поперечного сечения которых меньше площади поперечного сечения пластины.

Электроды 2 зажимают в держателях токопроводов вакуумной камеры. Отношение площадей поперечных сечений пластины 1 и проводников 8 составляет 35: 1. Материал металлических проводников выбирают из расчета получения тока, необходимого для нагрева пластины 1 с учетом токового нагрева самих проводников при минимальном их сечении.

Торцы пластины 1 покрывают медью в целях

10 обеспечения жесткого соединения их с проводниками методом пайки высокотемпературным припоем.

Предмет изобретения

Графитовый нагреватель подложек, содержащий пластину и электроды, отличающийся тем, что, с целью обеспечения постоянной температуры поверхности пластины, последняя

20 соединена с электродами посредством металлических проводников, общая площадь поперечного сечения которых меньше площади поперечного сечения пластины.

347367

Составитель И. Резник

Техред Е. Борисова

Корректор С. Сатагулова

Редактор Е. Дайч

ТипогоаФия. по Гяпчнлвя 2

Заказ 2678/15 Изд. № 1112 Тираж 40б Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4 5

Аппарат для нанесения покрытий в вакууме на плоские детали // 280160

Устройство для транспортирования и совмещения // 268523

Устройство для металлизации в вакууме // 177735

Устройство для изготовления пленочных схем // 177491

Патент 159089 // 159089

Вакуумная камера для металлизации пластин // 106689

Устройство перемещения подложкодержателя // 2115764

Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки

Левитирующее транспортное устройство для перемещения изделий внутри вакуумного объема // 2198241

Изобретение относится к вспомогательным устройствам, входящим в технологический комплекс для нанесения покрытий при производстве изделий электронной техники

Установка для нанесения покрытий // 2213159

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Устройство для нанесения покрытия на бутылки и транспортирующий орган для бутылок // 2259315

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на бутылки и к транспортирующему средству для них

Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали и устройство для его реализации (варианты) // 2450086

Изобретение относится к способу нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности деталей и устройству для его реализации

Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках // 2075136

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме

Устройство для нанесения диэлектрических покрытий на внутреннюю поверхность подложек полусферической формы // 2087587

Система охлаждения подложек в вакууме // 2089662

Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме

Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке // 2020190

Устройство для электронно-лучевой обработки изделий // 2023746

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для электронно-лучевых процессов обработки, в том числе полировки, изделий оптики и микроэлектроники