Способ избирательного химического травления
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
366227
Союз Советскик
Социалистическмк
Республик
Зависимое от авт. свидетельства М
Заявлено 10.V.1971 (Рй 1655464/26-9) с присоединением заявки Ч
Приоритет
Опубликовано 161.1973. Бюллетень _#_þ 7
Дата опубликования описания 2.1V.1973.Ч. Кл. С 237 1/00
Н 05k 3i00
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.794.422.4 (088.8) Авторы изобретения Г. Я. Колмакова, Б. Е. Раснецова, Г. Al Белевич и В. А. Коршунова
Заявитель
СПОСОБ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ХИМИЧЕСКОГО ГРАВЛЕНИЯ
ПЛЕНОК ХРОМА
Изобретение относится к радиоэлектронике, а именно к технологии изготовления»риборов электронной техники и может быть,»рименено при изготовлени|и фотошаблонов с микро»ными и субмикронными размерами.
Известен способ избирательного травления пленок хрома, заключающийся в том, что пленку хрома, нанесенную на какую-лиоо стойкую в тр авителе подложку (стекло, кварц), подвергают обработке в растворе солянои кислоты в контакте с металлом, активирующим процесс травления. Ы качестве таких металлов применяют цинк или алюминий в виде стержня, которыи контактирует с пленкой хрома. Однако известный спосоо не позволяет применять для формирования рнсукка пленок хрома фоторезисfbl с низкои кислотостойкостью и, кроме того, приводит к большому растравливанию краев пленки хрома.
Цель изобретения — обеспечение возможности использования фоторезистов различной кислотостойкости и уменьшение растравливания краев пленки, Для этого по предлагаемому способу в качестве добавки введен водный раствор полиамфолита при следующем содержании исходных компонентов, г: (. оляная кислота (концентрированная) 1150 †11
Полиамфолит 5 — 50
Вода б — 50
1lредлагаемый способ осуществляют следующим ооразом.
11одложку с хромовой»ëåíêîé, »2 которую нанесен защитныи рисунок шоторезиста, »огружают,в раствор, содержащий т оо г соля1» ной концентрированнои (80 — о "p ) кислоты, 20 г полиамгролита и 20 г воды, и»риводят алюминиевыи или цинковый стержень в соприкосновение с незащищенным <рогорезистом участком хромовой пленки. По истечении
15 о — б сек стержень убирают, а пластину выдерживают в растворе до полного стравливания хрома.
1 lpoUeec травления протекает равномерно и поддается регулировке путем изменения концентрации кислоты и добавки.
Спосоо предусматривает использование раз личных разновидностей полиамфолитов: сополимера акриловой кислоты с Р-аминоэтилакрилатом; сополимера акриловой кислоты с
2,о-метилвинилпиридином; осмола, образующегося при дегидратации этиленциангидри»а при производстве акрилонитрила.
11редлагаемый способ позволяет при изготовлении хромового микрорельефа расширить ч0 номенклатуру применяемых фоторезистов, ис366227
Составитель М. Кузнецова
Техред 3. Тараненко
Корректоры: А. Николаева и E. Давыдкина
Редактор Т. Иванова
Заказ 656/9 Изд. ¹ 158 Тираж 826 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская паб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 пользовать фоторезисты с оолее широким диапазоном свойств, например фоторезисты на основе резольных смол, которые, обладая меньшей ыислотостойкостью по сравнению с новолачным и, находят, однако, широкое применение в электронной технике в силу их высокой разрешающей способности, высокой адгезии к диффузионным стеклам и, в отличие от новолачных фоторезистов, способности сохранять размеры элементов при термообработке.
Предмет изобретения
Способ избирательного химического травления пленок хрома, рисунок которых формируют методом фотолитографии, в растворе, содержащем соляную кислоту и добавки, с использованием металлического активатора, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности использования фоторезистов различной кислотостойкости и уменьшения растравливания краев пленки, в качестве добавки введен водный раствор полиамфолита при следующем содержании исходных компо10 нентов, г:
Соляная кислота (концентрирован ная) 1150 †11
Полиамфолит 5 — 50
15 Вода 5 — 50
