Патент ссср 355759
355759
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТ ЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Рвслублик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 24.Х1 1970 (№ 1614321 26-9) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
Опубликовано 16.Х.1972. Бюллетень ¹ 31
Дата опубликования описания 20.XI.1972
М, 1(л, Н ОЯ< 3 06
Комитет ло лвлам изобретений и аткрытий ори Совете тАииистров
СССР
УД1(621.3.049.75 (О88.8) Автор изобре гения
В. В. Звягинцев
Заяв итель
Ордена, Ленина Институт кибернетики АН Украинской ССР
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТОПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
Предмет изобретения
Изобретение относится к технологии изготовления компонентов радиоаппаратуры, и частности к производству запо минающих и логических элементов вычислительных ма шин на основе тонких магнитных пленок.
Известен способ изготовления магпитопленочных элементов,,включающий осаждснпе на подложку сплошной магнитной пленки и изоляцию элементов друг от друга обработкой пленки лучом лазера.
Недостаток известного способа состоит в том, что при изоляции магнитоплcIIочныx элементов вместе с устранением магнитного взаимодействия ликвидируется электрическая связь между элементами, в то время как в ряде случаев необходимо использовать магниторезистивные свойства с|ленок.
Цель изобретения — матнитная изоля ция между элементами с сохранением электрической с вязи. Достигается она тем, что согласно предлагаемому способу обрабатывают пленку при температуре свышс 150 С, но ниже температуры ее плавления.
Данный способ изготовления магнптопленочных элементов заключается в осаждении на подложку сплошной маз нитной пленки и последующей термической обработке межэлементных участков пленки па воздухе при температуре свыше 150 С, но меньше температуры плавления пленки. При этом в местах, подверпшихся термической обработке, образуются магнитоизолирующие участки.
Это получается благодаря тому, что прп нагревании пленки в воздушной среде до температуры свыше 150 С поверхностный слой пленки интенсивно окисляется кислородом.
После естественного охлаждения окпсленпый слой превращается в высококоэрцптнвпый материал. Коэрцитивная сила межэлемеитных участков пленки возрастает в 10 — 20 раз по сравнению с коэрцитпвной сплоп магнитных элементов, поэтому магнитное взаимодействие элементов практически отсутствует.
Максимальная температура термической обработки не должна .превышать температуру плавления материала плепкп. Прп этом условии,в местах, подвергшихся термической обработке, II II0III;II полностью храняется и электрическая связь между эле20 ментами не нарушается, Для термической обработки можно использовать луч лазера.
Способ изготовления матнитопленочпых элементов, включающий осаждение на подложку спло шной магнитной пленки и изо30 ляцию элементов друг от друга обработкой
355759
Составитель Г. Челей
Редактор Б. Федотов Техред А. Евдонов Корректор Е. Миронова
Заказ 3672/7 Изд. Ме 1557 Тираж 406 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раушская наб,,д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 пленки лучом лазера, атличающийся тем, что, с целью AiIBDHèòíîé изоляции между. элементами с сохранением электрической связи, обработку пленки. ведут при температуре свыше 150 С,,но «гиже температуры ее пла вления,
