Способ получения электропроводящего покрытия

 

I

ОПИС НИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

382150

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 23.ill.1970 (№ 1414518/24-7) с присоединением заявтои №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 22.Ч.1973. Бюллетень ¹ 22

Дата опубликования описания 13Х111.1973

М. Кл. Н 01Ь 19!04

Комитет оо делам изобретений и открыти ори Совете Министров

СССР ДК 621 794 795(088 8) Авторы изобретения

Б. П. Крыжановский и Б. М. Круглов

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧ EH ИЯ ЭЛ ЕКТРОПРОВОДЯ ЩЕГО ПОКРЫТИЯ

Известен способ получения электропроводящего покрытия из микрокомпозиции металла с окислом-диэлектриком путем одновременного испарения в вакууме металла и окисла-диэлектрика (например, хрома и моноокиси кремния). Однако такой способ имеет сложную технологию.

Для получения покрыгий с регулируемыми характеристиками электропро водности на по= верхности нагревостойких диэлектриков по предлагаетмо»у способу на покрываемую по= верхность наносят смесь окислов-диэлектри= ков, одни из которых устойчивы к действию восстановительной атмосферы, а другие вос= станавливаются до металла, после чего по= крытие обрабатывают в восстановительной атмосфере.

Смесь окислов получают путем гидролиза смеси легко гидролизующихся соединений на покрываемой поверхности.

Способ осуществляют следующим образом.

На поверхность диэлектрика (стекла, плав,леного кварца, фарфора и т. п.) наносят слой из смеси двух или нескольких окислов путем т идролиза смеси легко гидролизующихся соединений, растворенных в спирте или другом летучем растворителе, одни из которых при гидролизе образуют окисел-диэлектрик, устойчивый к восстановительной атмосфере, а другие — окисел, восстанавливающийся до мегалла в этой атмосфере при 400 — 1000 С.

Затем покрытие обрабатывают, например, в атмосфере водорода в том же интервале тем ператур. В результате образуется электропроводящий слой из микрокомпозиции диэлектрик — мета 7 1.

Электрон роводящие слои толщиной 0,01—

0,5 мки могут быть получены. например, из раствора этилового эфира ортокремневой кис=

10 лоты и шестихлористого вольфрама или,пятихлористого молибдена в этиловом спирте.

Вместо эфира ортокремневой кислоты может быть использован этиловый спирт ортотитановой кислоты, а также их смеси. Из этих рас15 творов B лабораторных условиях получают композиционные слои состава ЯΠ— %, ТтΠ— Мо, ЬтОе — Мо, ТтΠ— W, ТтΠ— БтО,—

Мо.

Удельная поверхностная проводимость по20 лучаемых покрытий может лежать в пределах

10 — — 10 — о о.тт —, при этом увеличение содержания окисла-диэлектрика B слое вызывает уменьшение проводимости. Прозрачность покрытий в видимой области спектра увеличи25 вается с повыше:-нем сопротивле.шя слоя и лежит в пределах 10 — 70%.

Злектричел ие и оптические свойства получаемых покрытий не меняются под действием восстановительной атмосферы (водорода

30 и др.), по крайней мере.. до температур их

382150

Составитель В. Бондаренко

Редактор А. Пейсоченко Техред Г. Дворина Корректор Е. Зимина

Заказ 2197/1 Изд. № 1524 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4 5

Типография, пр. Сапунова, 2 формирования (обработки в водороде исходного слоя смеси окислов), что особенно важно в случае их использ ования в,газоразрядной аппаратуре.

Изобретение может быть использовано для изгоговления, пленочных резисторов различного сопротивления и получения слоев, григодных для выра внивания .градиента потенциала в в ь1соковольтных устройствах 1и GHiHтия вредных статических зарядов, а также прозрачных электропроводящих покрытий, устойчивых к действию восстановительной атмосферы, Предмет изобретения

1. Способ получения электропроводящего покрытия и з микрокомпозиц ии металл а с окислом-диэлектриком, отличающийся тем, что, .с целью полученИя покрытий с регулируемым и характеристиками электропроводности на поверхности натревосгойких диэлек5 TpHKов, на покрываемую, поверхность наносят смесь окислов-диэлектриков, одни из которых устойчивы к действию восстанавительной атмосферы, а другие восстанавливаются до металла, после чего покрытие обрабатывают. в

10 восстановительной атмосфере.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем„что смесь окислов получают путем гидролиза смеси легко гидролизующихся соединений на

15 покрываемой поверхностями.