Объектодержатель для электронного микроскопа

Авторы патента:

ЖДАНОВ ГЛЕБ СЕРГЕЕВИЧ

H01J37/26 - электронные или ионные микроскопы, трубки с дифракцией электронов или ионов

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

t»> 49II72 (61) Дополнительное к авт. свид-вувЂ” (22) Заявлено 18.04.73 (21) 1907980/26-25 с присоединением заявкивЂ” (32) ПриоритетвЂ”

Опубликовано 05.11.75 Бюллетень № 41

Дата оп>бликования описания 17.03.76 (51) Ч, Кл. Н 01j 37/26

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР

llQ делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385.833 (088.8) (72) Автор изобретения

Г. С. Жданов (71) Заявитель (54) ОБЪЕКТОДЕРЖАТЕЛЬ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО

МИКРОСКОПА

Изобретение относится к узлам электронного микроскопа и может быть использовано в электронной микроскопии и электронографи и.

Известны устройства для уменьшения загрязнения электронно-микроскопических объектов в процессе исследования, в которых используются хладагенты. Однако остаточные газы загрязняют поверхности объекта, создают окисные пленки и т. д., так как на охлаждаемых диафрагмах конденсируются не все газы, Цель изобретения вЂ” уменьшение полного давления остаточных газов в канале объектодержателя. Поставленная цель достигается благодаря тому, что диафрагма, расположенная ближе к источнику электронов, изготовлена из материала с геттерными свойствами, например титана, а между ней и объектом помещена дополнительная диафрагма меньшего диаметра.

На чертеже показан предложенный объектодер ж а тел ь.

Объект 1 помещают в корпус 2 объектодержателя. Диафрагма 8, которая может быть закрыта прозрачной для электронов пленкой, ограничивает доступ остаточных газов к объекту снизу. Втулка 4, в которой расположена промежуточная диафрагма 5, прижимает объект к корпусу держателя под давлением со стороны винта 6. Внутри винта выполнен канал для пропускачия электронного луча. В гнезде канала размещена титановая диафрагма 7. Боковая прорезь в винте способствует откачке газов из зазора между втулкой 4 и корпусом 2.

Устройство работает следующим образом.

Электронный луч падает сверху на диафрагму 7 и частично проходит через нее. Основная часть электронов поглощается диафрагмой, которая нагревается, что при достаточной интенсивности луча вызывает испарение титана. Атомы титана оседают на стенках канала объектодержателя, захватывая молекулы остаточных газов и тем самым понижая давление. Из геометрических соображений следует, что для предотвращения оседания атомов ти20 тана на объект необходимо выполнение соот11 Г., ношения: вЂ” (= где r, и r, вЂ” радиусы

1, l„ диафрагм 5 и 7; li и 1,, вЂ” расстояние от объекта до этих диафрагм.

25 Испарение титана может производиться или одновременно с наблюдением объекта или непосредственно перед наблюдением.

Скорость откачки остаточных газов можно увеличить при охлаждении объектодержаз0 тел я.

491172

Предмет изобретения

Составитель Б. Калин

Текред А. Камышникова Корректор и. Симкина

Редактор Т. Орловская

Заказ 15/77 Изд. № 95 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

Объектодержатель для электронного микроскопа, содержащий корпус и диафрагмы, ограничивающие пространство вблизи объекта, отличающийся тем, что, с целью уменьшения полного давления остаточных газов в канале объектодержателя, диафрагма, расположенная ближе к источнику электронов, изготовлена из материала с геттерными свойствами, например из титана, а между ней и

5 объектом помещена дополнительная диафрагма меньшего диаметра.

Устройство для получения угольноколлодиевых пленок-подложек // 469913

Высоковакуумный электронный микроскоп // 461465

Способ приготовления объекта для определения разрешающей способности электронного микроскопа // 458059

Растовый электронный микроскоп // 456325

Способ анализа частиц на поверхности твердого тела // 448512

Электронограф медленных электронов // 437147

Отметчик объектов для ультратомии светооптических препаратов // 429481

Способ определения положения стереоскопической базовой линии // 428482

Гониометрическое устройствоmf? ил // 425243

Зондирующий эмиттер для сканирующего туннельного микроскопа // 2117359

Способ и устройство для анализа состава дна углублений // 2123178

Сверхвысоковакуумная транспортная система для сканирующих зондовых микроскопов // 2158454

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим транспортировку и установку зондов и образцов в позиции измерения и функционального воздействия

Способ и устройство контроля и исследования поверхности внутри ядерных и термоядерных установок // 2169954

Изобретение относится к ядерной технике, в частности к исследованию материалов, подвергающихся воздействию радиации

Способ получения панорамного изображения в растровом электронном микроскопе // 2181515

Изобретение относится к способам получения изображений в растровой электронной микроскопии

Устройство управления скоростью сканирования туннельного микроскопа // 2269803

Изобретение относится к сканирующей туннельной спектроскопии и может быть использовано в зондовых микроскопах и приборах на их основе

Наконечник держателя и сетка для электронной томографии // 2300822

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов

Нанотехнологический комплекс // 2308782

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники

Электронный микроскоп // 2313850

Изобретение относится к микробиологии и может применяться при профилактике инфекционных болезней

Сверхвысоковакуумная транспортная система // 2380785

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для проведения операций по перемещению объектов внутри вакуумных систем