Коллекторная система растрового электронного микроскопа
ЛЯ блнотека i< А
ОПИ АНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ (iir 503316
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 10.04.74 (21) 2015923/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет
Опубликовано 15.02.76, Бюллетень № 6
Дата опубликования описания 12.04.76 (51) М Кч Н 01J 37/26
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385.833 (0i88.8) (72) Авторы изобретения
Э. И. Рау, В. И, Петров, А. Е. Лукьянов и Г. В. Спивак
Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного
Знамени государственный университет им. М. В. Ломоносова (71) Заявитель (54) КОЛЛ Е КТО РНАЯ СИ СТЕМА РАСТРОВОГО
ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА
Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано в конструкциях растрового электронного микроскопа.
Известны коллекторные системы растрового электронного микроскопа, содержащие блок с .иммерсионным объективом и линзойфильтром для сбора медленных вторичных электронов, энергетического анализа и измерения потенциалов на поверхности исследуемого образца.
Недостатком таких коллекторных систем является то, что на поверхности образца системой создается сильное поле, которое часто приводит к электрическим пробоям, увеличению астигматизма и ухудшению разрешения, образец нельзя произвольно ориентировать, так как он является катодом иммерсионного объектива.
Для обеспечения возможности наблюдения микрополей,,измерения энергетических спектров вторичных электронов и потенциалов на образцах с поверхностной структурой любой сложности, увеличения полезного поля зрения, уменьшения воздействия на первичный пучок электронов, регулировки напряженности вытягивающего поля предлагаемая система снабжена установленной между образцом и анализирующим блоком сеткой, являющейся катодом (предметной плоскостью) иммерсионного об ьектива.
5 На чертеже схематически изображена предлагаемая коллекторная система и часть микроскопа, содержащие колонку 1, образец
2, сетку-катод 3, электроды 4 и 5 иммерсионного объектива,,изолятор 6, изолятор 7, 10 электроды 8 и 9 линзы фильтра и светопровод 10 сцинтиллятора.
Предлагаемое устройство работает следующим образом.
Электронный пучок, сфокусированный объ15 ективной линзой, попадает на образец 2 (например, полупроводниковый диод с р — n-переходом, на который подается запирающее напряжение U) и выбивает вторичные электроны. Медленные вторичные электроны ускоря20 ются электростатическим полем, созданным вблизи образца сеткой-катодом 3, проходят ее и фокусируются полем электростатической линзы — иммерсионного объектива, состоящего из электродов 3, 4, 5. Затем они проходят
25 линзу-фильтр (на средний электрод 8 этой линзы подается регулируемое напряжение задержки U;,) и попадают на сцинтиллятор, нанесенный на торец светопровода 10. Далее сигнал усиливается обычным каналом видео3о тракта РЭМ, состоящим из ФЭУ, к которому
503316
Формула изобретения
Составитель Б. Калин
Техред T. Курилко
Корректор Т. Гревцова
Редактор И. Шубина
Заказ 673 16 Изд. № 1100 Тираж 977 Подписное
ЦНИИПИ Государственно"0 комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская паб., д. 4;5
Типография, пр. Сапунова, 2 подходит светопровод, и видеоусилителя. Изменяя напряжение на сетке 3, можно регулировать напряженность поля на образце, увеличивая напряженность при измерении поверхнс "":ных потенциалов - большими градиентамн,,"11сняя потенциал электрода 4, можно фокуcHpoBHTb пучок вторичных электронов на входное отверстие электрода 5 линзы-фильтра. Путем изменения потенциала U, вручную 11ли автоматически (подавая пилообразное напряжение) можно снимать кривые задержки, по сдвигу которых определяется разность потенциалов между исследуемыми точками поверхности образца. Анализируя кривыс задержки, можно определить энергетический спектр вторичных электронов. Можно также визуализировать и измерять магнитные микрополя на исследуемых образцах.
Коллекторная система растрового электронного макроскопа, содержащая блок с иммерсионным объективом и линзой-фильтром для сбора медленных вторичных электроноз, энергетического анализа и измерения потенциалов на поверул1ости исследуемого образца, отличающаяся тем, что, - целью наблю10 дения микрополей, измерения энергетических спектров вторичных электронов и измерения потенциалов на образцах с поверхностной структурой любой сложности, увеличения полезного поля зрения, уменьшения воздей15 ствия на первичный пучок электронов, регулировки напряженности вытягивающего поля, о»а снабжена установленной между образцом и анализирующим блоком сеткой, являющейся катодом иммерсионного объектива.
