Манипулятор

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11) 5484 I 4

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.06.74 (21) 2038379,08 (51) . 1. K,i. - В 25J 13 02 с присосди !Синем заязки J¹

Государственный комитет (23) 11риоритет

Совета Министров СССР

Оп бл!!êîâàiio 28.02.77. Бюллетень ¹ 8 (53) УДК 621.86.076 (088.8) по делам изобретений и открытий

Jò1Ò(1 Он) 0.1 и «Ов(1!I i i ß О ниса!1!151 1 (.06.77 (72) Авторы изобретения

И. А. Кадомский, Э. С. Зайцев и А. В. Шипунова (71) Заявитель! @g. -.т

-:- 3"":7,, (5.1) МА Н И П УЛЯ ТО Р

Изобретение относится к электронному машиностроению. Оно может применяться в фотоме«аническо) и технологическом оборудовании при производстве полу !роводниковы« приборов и ин гсгральны«с«см.

Известны манипуляторы> содержащие приво.lbl исполнительного органа 110 коор 111!1(1Tным осям и мс«аннзм возврата В ис«одное положение. 01нако у такого манипулятора мс«анизм возврата не обеспечивает точного перемещения исполнительного органа в ис«одное iloложснис.

ИЗВсстсн также 3!ан!1п) лятор, со.гсржапиш корпус и рамку с приводами исполнительного органа по координатным осям, выполненными в виде зубчатого сектора If ме«анизма возврата в ис«одное положение.

ИзВсстпыи «iarfffiix 15ITofp rai же lie оосспечивает точности возврата испо!1111Tc lbH010 органа в ис«одное положение.

С целью точного возврата испо1itilreльного

ОРГ2па В ffC«OДНОС ПОЛОЖ(. ННС МС«2 НИЗ МЫ возврата выполнены в виде рычагов, закрс(лепны«с возможностью поворота вокруг осей рамки и корпуса соот1)стствс)!но ft соединснны«между собой упруllD1 элементом, на зуо«21 ы«сс1 тОра«уcòа IIОВ.1cfiы Iloätlltællûc гидры, а на корпусе и рамке — - ilclloдвижныс упоры, оси которы; расположе:!ы з одной и 700«ости с Осями се! т01)013 и П01Вижньl« упоров.

И a (I) j t r. 1 и 3 О О р 2 ж с н 0:1 н с ы 13 с 311>1 и 31 (l! l I!п) лятор, об!ций 13ид; I!2 фиг. 2 -раз,)сз Ilo

5 .1 — А нa фиг. 1. .(12 нину.1ятор имсст кори) с 1, В кото;)Ом н!1

ОСЯ«2 li 3 ПОВО;),1>!ПВ;1 TCst:);1 м «а -(, ПССW ll> 2 51

;3 > 0 1 а ты с c(.1 тОр а ) и 6 при !30дов, 13 Одя н!П(. В зацсплсillfc с шестернями и 8, вын»лнсн:!ы10 . i!и Ila 13211«9 Ii 10 испо)ннт(,1ьн(«0 ()j)11 >11 (последний !а фиг., tc п()кaaaill.

1I2 OCIi 11 рас;10,105f eil .;!(«аlilla;! 13(), 131);! г;1

ПО Одной Iioop:tIIHarilof)f OCII. СОС гoslillll!1 Il.l дВ «cBooo.tifo си,(Я!fof«ры«210В 12 ll 13, Опи15 рающи«ся на 5«ссткий упор 11, зикр lfëcaltf;í !

I2 рам ic. Ры>121 и 1 ) Ii 13, 31сж th находится подвиж:!ый упор 15, закрспл !!!Ii>!11

Н2 секторе, сжаты пр > гH3i э,l(>ICIlro .>1 16.

1-(а î !I 2 расположс!I !(Пал(Зги)ный м(«а—

20 низм возврата ПO второй коор1!ill(lTI!0!1 ош1, УпраВ Ic! I!Ie Осугцсcr!Çr! ÿñòñÿ р> «05!тко!1 17. .Чанинул)!то() работает следую!цим 0(),);1203!.

При отклон iillll,) коятки 1) B!1;)!130, з бчатый сектор 5 11срвогî !lривода icpåa з) ()il;i25 т(ю шс гс,.110 7 rloao) lilliB;l(13;„1 9 испо l;l;1тель:loгo орга !а. «пoр 1;), !12 0:(я .ПиcH змо«атох! c(.«òo1)i .), пос;>с tc ТВО)! l . !111;! 1 взводит уп;)) гий элем ll > 16. (t>l«a; 13, 0 .111,);1!Он(пйся:!2 жесткий упор

3>) 1(> oc rac> rcsi нспОдl)ижным. 11, )и Освооождснии () (к05! . <и 1, !10, !, il L !)II (I;)(I 01 O Га j (), ()11>I BI 12 ВО>!3;)а и(а(. ГL и 13 1!L .. 0;(!!(>С н(, ЛОЖСIIII(;10 ЖССТ>COI О "110 () (I 1.(, 11() il iC. (I;)i>I(I

1 3 В I>I I I 0 .1 1 5I C T () О л I > j) 1 . < . О () 1 13 C 1 C ГВ Сн н О 13 03 13 j)

3(с)чатIли сск ()Р О и B;i,l 9 и(I!(>,ill!I i (.,Ii)i o! (>

<7р г н а. (1j)ii О к IÎIIC Ili! II j)\ IC()5I I Еи 1 i 13. IC is(>, 3(О I Iтый ccic!0() о, lc .()03:33 б(I

Ворачи))аСТ !3<1,l С! IIC 110,1 I:! С . Il)!1<>i О i>f7! <>II!! 13

;(ругуio сторону.

IIOj7 1(), !!! I!(1 3 (0(l(i ÃО (! Сс); ()рс 5, посредств(:м рыча! а 13 B3130;Illт i ир) "IIII элcмент 1<>, Рычаг 12, О:!ир)I(): (:I(1051 на ж сг-!

Снй, пор 14, Ос !.1 TC51 IILIIO !3)l)i;:.1!>())I.

ПРИ Осво<70(к;(снии Р 13051".! .и (ИО;(;>с li< I—

Вием спрмгого IcvLII 1(I 1(), рычаг j:1 1)озвра11(а СТО 51 В i с "< ) д l )0 С . н r > л О Ж С I l i! L, (O 7l> С с 1 . О О C пор(1 1 1 II ) il(1(! f) Bl 1 l I I 0Ë н 51С! f) O. !1> а МОРтизато!)(I. С<)0 Bc. 1 còl3L!Illo 1303ВР(! Ill

В )IС. ;О;(IIO(ИО, I 0Æ(I I IIC Зм <7 I 1!! СС К 1 О f) ) И

13 ) I i> 11<1.

1 )Is » О и !3;> >1)р;! I il IIC7;(7. (IIOL нолОЖСИИС (1; ла 1() liснî:!!ilтельного Органа при движенн!«!О второй координатной оси осушсствля(1 Я

> с(7<)рмула изооретсния .(1(!Иииулято;), содержащий корпус и рамку

С ири!30д(!3!и исиолн!(Ге,ll ного органа по коор, (l l l l (l ! I I>I!s О С Я М, В IЛ П О,т Н С Н Н Ы (! И В >3 И ДС 3 (бч а) ) (:) O СС К 1 О Р а I l ) (. .)(;)и:)мы возврата выполнены в ви,е рычагов, ).> 3;. креплс! IIII>I x с Воз можностьго поворота вок(>уг осей рамки и корпуса соответственно и

> соедннснны< между собой упругим элементом, причем на зуо I ITI>lx сскторас установлены нодвижныс упоры, а на корпуcL и рамке—

><> неподвижные упоры, оси !соторы(расположеIll)l !3 ОДНОЙ Н.IОСКОС111 С ОСЯМН CCICTO(7OB И

НО;(lsl I 7IC II I>l X ()10 () OB.

5-1:4 11.1! 1

Составитель С. Новик

Тскрсд И. Карандагиова

Редактор Г. Кузьмина

К.ipпек о;! В. Яковлева

Заказ 1253 6 Изд. ¹ 448 Ти рвгк 113 Под;! !с".:.

ЦНИИПИ Государстве иного коз.и-.l та Совета .!1и!пиетров СССР по делам изоорст !I!ill и открытий

113035, Москва, УК-35, Р,!угиск!!я иа!5., д 4, 5

Типография. пр. Сапунова, 2