Расплав для электролитическоговольфрамирования
!
» 8276II
Со!со Советских
Социалистических
Республик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН И Я
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ— (61);1ополяитсл! иос к авт. спид-ву— (22) Заявлено 17.05.79 (21) 2765966, 22-02 (51) М. Кл, С 25 D 3166 с нрисосдииеиисм заявки ¹â€”
Гасударственный комитет
СССР
fio Лайем неофетеинй
ll ONPhfAi8!
2 !) 1!риори1 с (- З) Оивбл !коппи< ()7.05.81. Вк!ллстсць xi, 1! (58) УДК 621.357.7;
:669.278 (088,8) (43), сатt! Опто,l I! кова l!! Iя Оп ига! Ill ÿ (s .Оo 81 (7 ) А13ТОры и 3Обрст II !Ill
1О. К. Делимарский, Н. Х. Туманова, Н. !Ч. Сарнавский,"
К. М. Таранишина, Л. Я. Зайцева, T. В. Святиенко и В. А. Перекупко
Институт общей и неорганической химии
АН Украинской CCP (1 I ) З,!Я!3и1с,1ь (54) РАСПЛАВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО
ВОЛЬФPAMИРОВАНИЯ
Вольфрамат щелочного ,!очно-зсмельиого металл а
Хлорид аммония
Карбамид
П1И ЩЕ2 — 5
1 — 2
98 — 97
Изобрстсиис относится к элсктролитическому осаждению металлических покрыТНН, и 13 частности к осаждению вольфрамовых покрытий из расплава солей.
Известен расплав для элсктролитичсского осаждения вольфрамовых покрытий, содержащий x:Ioðèä и вольфрамат ще "lo llio:.c»leльиого металла, например кальция (II.
Наиболее близким к изобрстеии!о является расплав, содержа ций x,ioðè1 и вольфрамат щслочного металла, а также мстафосфат и пирофосфат щелочного метал 13
12).
Недостелком известных расплавов вольфрамировация является высокая температура осаждения, что может привести и ухудшеии!о структуры подложки и тем самы».
ОГPHIIH I И!33OT КО,.!ИЧСCTHO МСТЯ;1, IOI;, f13 КОТОрыс можно наносить покрытие.
ЦСГ!ЫО !! OOpeTCIIII» яВЛяетея сцпжСИ!!С температуры процесса (до 140 — 180 С), что умсиыиаст вероятность иаруи!сипя структуры подложки и сокращает испроизводитсльиый рас»од элсктроэиергltll l!11 по,1огрс! электролита.
Указаииая цель достигался за счет того, по расплав, содержащий вольфра 13Т !целочиого или щело !!In земельного металла и
xлОрид аммония, дополиителы!о содер>!»ит карбамид при следующем соотношсиии компонентов, все, ",o
1!1 Процесс электролиза ведут с использованием » -анодов, при температуре 140—
180 С, в интервале катодиых и аиодпых
1 .л отностей тока D„= D x = 0,5 — 5,0 А1дм .
Карбамид является при этом основой расплава и комплсксоооразоватслсм, à x,loрид аммония повышает электропроводиость расплава и стабильность карбамида.
Пример. Покрытия наносили па повсрхЕ 11ОСть ЦиЦКОвЫх ПЛастИНОК ПРи использовании электролитов различного состава. Г1роtIccc ол ществляли при температуре 160 С и кятодпои и аиодной п toTHocTHx тока
2,5 А."д»Р. Анодом служит стержень из вольфрама. При этом определяли толщииу по1»рытия, его 1 3»1!. стllo и с!»орость Осе1ждепия.
Полученные данные приведены и табл. 1.
В табл. 2 и 3 приведены даииыс Ilo влиянию г!лотцости тока и температуры ия качество покрытий и скорость осаждения. с(о 7()1 (Тиб )ии;) !
Г0c <() it -> I(ктро л(п а, Ве< .
I <,г)и)(:) Каи<ств« покрь)тии! (испиt)ttt
: и;(кокрь:
: ия
Киров.tt,(93 3оль
;((,Г(>!
СВЕ) to-С< РО< и< лкокриста.t < ко(tt Ð c> t c .,t ) tt  c . < t < ::. l), i 5 0,(:>,8 0 l,5 0,!<> ) е и) >-< еро<.! i!,03 < и() t <) -« f»;< 1;t C):I t t t t;! C(> <> f), ) г О <> с <» :> c c (1 пепи) и)) и ид =.! г 1 0 :Jfif) (),25> О,и f .> (светло-серо<. мелкокристалли )еско, и отслаиваетс я 05 00> (6 (0!! 20 01> 30 О,!,> 3„ 0,13 4,() 0, 1:3 3,0 460 7,0 460 90, 160 9,0 460 8,0 460 8,0 460 » темно-серое. ч<.,1кокристалли )(. (. ко<, от< лаива< )< я <1..,, > О,,(l 7,i) 460 .> 0 О, 17,,0 460 6 0 0 !1 7 0 460 T< >tío-серо<, к р у ниокр и с) а л.>и(не<.ко< т готслаивае<си К()к следует и3 12б llllll>l 2, OII ã(!>>,t.)лы!ы МИ 3!!2>!Е!!И»М1! II, IOTIIOCT(. H ТОК2 >IКГ!И!Оте)I 0 г> 0 .1, (;,2 (> 9TIlX flf)Cд<,,I i, IIO I) f2!0f< )I (ост()ви)сл), Л, Казакова 1 < к(и л И. Заболотиона Коррес >о!> (- Осипова (лак г >и (.. Браг(икгва Зака.) 3006 ((зд,¹" 2<88 (:„; .; (3((((И((И Государств<":.И< го к >м) гста СГГР по делам изоорстсиий и о: крь)тий (13035, Мг>си<на,,>К-35. Рати)скан l)26.. д 4,5 I (о.1)) t t <и)ое 3агорская типография Уирполигр))<1)издата.,1(«.облиспо.)к<г)а (>,<)()C>«. >)t! (<)1 Вольфра;В и: Сл> ((,С(Кар ба к):(.) 7 1(оль<1)р>) >)а ) с:и X((;Ci K2()6> );ctи,i !)6 (»O;1t>(p I> t ><;t ) С Карбамид 9,.> Лольфр;) )и г с;t 3„> ((„C(i,5Карбамид 91 Вольфра я:t t С:а и 1!Н>С! 3 Карбамид 98.5 13ольфра>,)а г С .и .;Н,С(0; ) ()<(ес(!3еишь!е 1!е.!кокристпг)г)и<)ес!.и покрытия «корок!е)1 2дгезие!1. (1 ) )1!t 3 -, 8 <) t I (4",;t: c>t:и< i60,0 () j (0Ь1 < ..-)«t,1о-с< 9l>< t 80 <> tt 015 )» 1.> 1(и<к< 130 Г ();t,!I.t;t:; л;>г(Вь . В:, ии )80 С и абг!)ота< t < t! t < I>>t ttct<ск.>< ра >,!<» t<< lit < -. < и: f>> . и! > а С.Р(1!)ИС ИИЕ С)30йСТ,:::I!i,!У.ICI:I:,I,I . И<>К; Ы ГИ) со с)30Йс Г132 >,! II i!06P I>11!Iи, I!0(I>, >)сии ь! к 0.3 II:3.. 13(СТll()ГО Р 2 С 1iЛ 13 00TкеГ<тl31f!I с 11.300()еГс IIIIñ., II< Ilðii1!0,!II! 1 c .>; c 7(IIICI!1110 l(c) (С<."I t!ci ИОЛ > <11011! Il!((8 l>OCI I> 1()) f) 1>4 )31>I . IIOKP! ,0: И ЙС Гf)c) . f i)CJl. I2 i! д. 1>i О. ICI(f )<)Ли "il IC(ЕOi 0 I!0711)(j). ()миРокиlif)5!, <3)д ()if(211(!I!I 130. I с(>Р 1<421 !!1(. I0 110 Ã0 Игl I! II K, I 0 >! l!0-. 3(.. >(ЕЛ ЬИС)! О !С i elf! cl И .", О 11 И Д c) !,1 t>,! O II!I SI, 0 1 Гl I I И и 0 I I I, l i 1 <, )i Т Е . >1, тО, с I!c, l i>IO си и<кеи и)! Tc! f f(cp <2T> 111и п()0!)ес с<), ои доиолиителы!о содержи) !(2рб2(!ид II()fI с IC.f) IOIIIC <ии l l!Olll(llllil I(<»il)Oil((ток, кеc. 1> с ) <>! Ь с(1 р (3:>! <) Т l i I C;I O 1, . ) О б 2 >, I J I, J 1(с (Оlilliilll, 4 > Ilf!11 f1)1 i (с 130 !)пил;1ии(llри 3l(< 1!(р i !f3ñ ! (-);)р<)бои) кии > ). 11. Il (f). С:: р) icl > р:l l30Г1ЬС()Р;1>ИОКЫК JIOJi()I>l i ИИ, IIO,!, ЧС1«1Ы К i 1ЕК If)!>.111:30 >1 . . IOРII, il!O-l!0711 фРIК Р2(Г!712кс)к. 1р Jl>l иис ) ит>л!.1) алекl ро .имки, ()1(11. 60 U(С .С:(.1), кыи 11, С,ксрдлокск, I 0(). 2. Л))гof>< I>o(ски,н 1 еа!1,(1к<> ((:с .(> .. 568(т! >, кл (. ):) (1 .1 ()0 1,) <С».
