Способ размерного травлениямеди

 

Союз Соеетскик

Социалистические

Республик

О П И С А Н И Е (,1831864

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕ.ПЬСТВУ

J, Ф г

l (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 06.09. 79 (21) 2823042/22-02 (51) М. Кл.

С 23 Р 1/02 с присоединением заявки РЙ

Государственный комитет

СССР (23) П риоритет по делам иаооретений и открытий

Опубликовано 23. 05.81. Бюллетень М 19

Дата опубликования описания 25 .08 .8 1 (53) УДК621.794..4 (088.8) (72) Авторы изобретения

И. Д. Обыграйкин, Е. И. Гурова и В. (71) Заявитель (54) СПОСОБ РАЗИЕРНОГО ТРАВЛЕНИЯ ЩДИ

203 (3.1.

Изобретение относится к химической обработке металлов, в частности к получению путем травления отверстий или рельефов заданных размеров на медьсодержащих материалах, нане сенных на изолирующие подложки, и может найти примененне при изготовлении шкал и сеток, модулирующих дисков, кодовых дисков в электронной и оптико-механической промышленности.

Известны способы травления медного покрытия, нанесенного на подложку из изолирующего материала 1.1)и (2).

Наиболее близким по техничесКой сущности к изобретению является способ размерного травления меди, включающий обработку поверхности в две стадии: в водном растворе, содержащем галогенид щелочного металла до образования галогенида меди, при следующем соотношении компонентов, вес.ч.:

Йод 0,9-1,1

Калий йодис.— тый 3,5-4,5 . Вода 19-21 и в растворе аммиака для удаления образовавшегося галогенида меди 10Недостатками известных растворов являются применение вредных для здоров ья в ещес тв и н едос та точная точность воспроизведения элементов изображения при изготовлении особо точных оптических элементов, например тест-таблиц, кодовых и модулирующих дисков, так как невозможно осуществлять контроль процесса перехода меди в йодистую медь из-за непрозрачности раствора.

Цель изобретения — повышение точнос ти р азм еров изображения.

Указанная цель достигается тем, что на первой стадии ведут травление в растворе, содержащем бромкстый калий

83186

Таблица 1

Раствор

Ширина элемента, мкм эталона на копии

5 10 20

5 10 20

Пр едлагаемый

Из в ес тный

l0 8-l1,8 20,7-21,7

6 — 7

Таблица 2

Компоненты, г/л

Остальное до 1 л

60

То же

75

3 и сернокислую медь при следующем сооl íàøåøø компонентов, г/л:

Бромистый калий 28-30

Сер нокислая медь 60-65 а на второй стадии в 10-157.-ном раст5 воре тиосульфата натрия.

Изготавливаются специальные штриховые эталоны с шириной штрихов 5,10 и

20 мкм. С помощью этих эталонов методом контактной фотолитографии воспроиз-у0 водят иэображение штрихов фотореэистом ФП-383 и осуществляют травление в известном и предлагаемом растворах, результаты которого приведены в табл.l.

Из таблицы видно, что точность вос- 15 произведения изображения при применении способа изготовления с предлагаемым раствором выше, чем при использовании известного, на 6-20%.Кроме того, известный раствор для здоровья исполнителей безусловно более вреден, так как содержит йод и аммиак.

Раствор, содержащий йод и йдистый калий, имеет коричневато-бурый цвет.

При травлении конец полного перехода

4 ф в меди в йодистую медь визуально невозможно определить, контроль il0 времеви ие даст с ибпльных результатов, все это и приводит к уменьшению точности при травлении.

В процессе поиска оптимального количества бромистого калия и.серно— кислой меди, входящих в травящий р ас тв ор, быпи при го товл ены р ас тв ары, состав которых приведен в табл.2, В табл. 3 приведены результаты испытаний растворов.

Из табл. 3 видно, что растворы

1 и 2 являются оптимальными по составу, так как обеспечивают наиболее точное воспроизведение изображения и не разрушают во время травления фоторезистивный слой. Однако раствор

I требует сравнительно большого времени травления.

11рименение предлагаемого способа обеспечивает повышение точности изготовления шкал и сеток по сравнению с известным на 6-20Х.

5,3-5,5 10,2-10,4 20,2-20,4

Вода дистиллированная б

Таблица 3

831864 лементов,3-5,5 10,2-10,4 20,2-20,4 240-300

5 10 20 . 5, 3-5, 5 10, 2 - 10, 4 20, 2-20,4 40-50

5 10 20 5,5-6,0 10,5-11,0 20, 2-20,4 10-20

5 10 20 5,5-6,0 10,5-11,0 20,4-21,0 10-20

28-30

Составитель В. Олейниченко

Редактор И. Николайчук Техред M.Ãoëèêêà Корректор Н. Швыдкая

Заказ 3319/35 .. Тираж 1048

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1.13035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д ° 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4

Фоторезистивный слой разрушается.

Формула изобретения

Способ размерного травления меди, например, при изготовлении шкал и сеток, включающий обработку поверхности в две стадии: в водном раст— воре, содержащем галогенид щелочного металла, и в растворе для удаления образовавшегося галогенида меди, отличающийся тем, что, с целью повышения точности размеров, на первой стадии берут раствор, содер- ЗО жащий бромистый калий и сернокислую медь при следующем соотношении компонентов, г/л:

Бр омис тый к алий

Сер нокислая медь 60-65 а на второй — 10-15%-ный раствор тиосульфата натрия.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 597739, кл. С 23 Г l/02, 1972.

2. Аренков А. Б. Печатные пленочные элементы радиоэлектронной аппаратуры, М., "Энергия", 1971, с. 127.

3. Авторское свидетельство СССР

1 - 530486, кл. С 23 Г 1/02, 1974.