Раствор для избирательного травления меди

 

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскии

Социалисти нескин

Республик (t ) 5977 9 (61) Дополнительное к авт. свил-ву(22} Заявлено 07.07.72 (21)1807031/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 15.03.78. Бюллетень ¹10 (45) Дата опубликования описания 15.03,78

g u (51) М. Кл.

С 23 Р 1/02

Государственный немитет

Сееете Министрее ЫСР по делим изебретений и открытий (53) УДК 621.396.6.049.. 75. 002 -(088. 8 ) (72) Авторы изобретения

Б. В. Емельянов, В. H. флеров, B. И. Кучеренко, А. Ф. Шишкина и Г. В. Королев (71} Заявитель (54) РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ

N EQVi

Изобретение касается технологии обработки металлов химическим травлением металла, в частности технологии изготовления печатных плат с медью в качестве схемного металла, используемых в различных радиотехнических, электротехнических и других приборах и устройствах, и может быть использовано в производствах средств связи, радиотехнических и электротехнических приборов, машин и устройств; в художественных промыслах при изготовлении рисунков, узоров, надписей, деталей, украшений и т. д. травлением меди и медных покрытий; в граверных работах; в отраслях промышленности, используюших травление меди и медных сплавов.

При изготовлении изделий из меди с медными покрытиями, в частности печатных плат с медью в качестве схемного металла, способами химического травления, для повышения качества изделий и производительности процесса важно, чтобы травил ный раствор при высокой скорости травления обеспечивал наименьшее подтравливание (т. е. максимальное приближение к за-.;: данным геометрическому профилю и размерам).

Известен раствор для травления меди, содержащий соляную кислоту, перекисное соединение, натриевую соль этилен UMMHFf тетрауксусной кислоты и воду Г1J. Такой раствор не обеспечивает высокой скорости травления или дает сушественное подтравлнванпе. (О Е1ель изобретения — повышение скорости травления и уменьшение подтравливания— достпгается тем, что предлагаемый раствор в качестве перекисного соединения содержит монбпероксигидрат карбамида при

15 следуюшем соотношении компонентов, г/л:

Соляная кислота 50-300

М онопероксигидрат карбамида 75-350

Натриевая соль этилен20 диамннтетрауксусной кислоты (трилон Б) О, 5-5

Вода До1л.

При содержании в растворе соляной кис,лоты 50-300 г/л оптимальные весовые

25, соотношения в растворе соляной кислоты, Таблица

20

12,5

Менее 10

0,5

М ПОГМ

350

СК

13,0

0,5

ТБ

МПОГМ

14,0

М ПОГМ

200

Менее 25

300

0,5

21,0

3ОО

МПОГМ

Более 50

14,0

СК

ПВ

200

Более 70

3,5

ХЛ

CPK

45Î

20

1,7

250 монопероксигидрата карбамида и трилона Б определяются координатами точек поверхности треугольника Гиббса-Розебома, представленного на чертеже, ограниченной кривой ABCLKK (на чертеже эта поверхность заштрихована).

Травление меди указанными травильными растворами производится при температурах 20-30 С (предпочтительно 20-25 С) о о и нормальном давлении.

Эффективность работы травильного раст5 вора подтверждается данными, приведеннь ми в таблице, полученными при травлении одинаковых печатных плат.

Соляная кислота

Монопероксигндрат карбамида

Натриевая соль этилендиякц1нтетрауксусной кис лоты

Вода

50 300

О, Ь-5

Qo1 л.

N 44 И -gI

Мрнопгрокаиемдрот аорбрнцЮа

Составитель П. Лягин

Редактор Н. Каменская Техред А. Богдан Корректор А. Кравченко

Заказ 2290/22 Тираж 1177 Подписное

UHHHIIH Государственного комитета Совета Министров ССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.. 4УБ

Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, 4

В таблице приняты следуюшие сокрашения:

СК- соляная кислота, ТБ- трилон Б, МПОГМ- монопероксигидрат карбамида, П — перекись водорода, ХА — хромовый ангидрид, СРК вЂ” серная кислота, ХЖ - хлорное железо, X11BM - хлорид двухвалентной меди, Подтравливание — искажение, против заданных, линейных размеров отверстий диаметром 250-3000 кжм, в слое меди.

Травильный раствор готовится последовательным растворением в воде соляной кислоты (хлориетого водорода), трилона Б и монопероксигидрата карбамида. Растворение ведется при нормальных температурах и давлениях.

Использование предлагаемого травильного раствора обеспечивает высокую скорость травления при незначительном подтравливании. Это создает необходимые условия для улучшения качества готовых изделий, повышения выхода целевой продукции и производительности труда.

Формула изобре гения

Раствор для избирательного цчвлення меди, соаержашнй соляную KIKлоту, перекисное соединение, натриевую соль втиленднамн тетрауксусной кислоты и воду, о та ц ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения скорости травления и уменьшения нодтравлнвания, и качестве перекисно10 гс соединещщ ок содержит монопероксигидрат карбамиаа при следуюшем соотношении компонентов, г/л:

Источники информации, принятые во вниманпе прн экспертизе:

1. Авторское свидетельство ССС Р

& 293066, кл. С 23 F 1/00, 1970.