Газовая смесь для очистки стеклянныхи кварцевых изделий

 

(») 852815

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Са1аз Советских

Сациалнстических

Реслублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 23.11.79 (21) 2854067 29-33 (51) Ч К „ С 03 С 23/00 с присоединением заявки—

Гасударственный камитет (23) Приоритет— (43) Опубликовано 07.08.81. Бюллетень ¹ 2с, ла делам нзсбретеннй н сткрытнй (53) 1 3 К 666 1.053.63 (088.8) (45 .jaTa опубликования оп11са ия 15.09.81 (72) Авторы изобретс 11я

И. П. Канорушкин и А. П. Пузанов (71) Заявитель (54) ГАЗОВАЯ СМЕСЬ ДЛЯ ОЧИСТКИ СТЕКЛЯННЪ|Х

И КВАРЦЕВЫХ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к области очистки поверхностей стеклянных и кварцевых изделий, преимущественно к очистке поверхностей кварцевых реакциопных камер. приспособлений и оснастки. Предпочтительная oбласть применения — производство полупроводниковых приборов и и.ITp.—

I ральных схем, в котором широко испо Ibзу1отся кварцевые реакцион:-1ые камеры и изделия для проведения процессов диффузии, окисления, пиролитического осаждения слоев и т. и. Г!ри этом требуется очищать новерхность,реакционных камер, содержа1цу1о, как правило, загрязняюшие примеси различного проиc ождения (металлы и их окислы органические соединения), а также остатки продук1ов реакций.

Известен способ очистки поверхностей кварцевых изделий с использова11ием газовой смеси, включа1огций хлор, хлор11стый водород или их смесь (1). Однако этот cIIoсоб не обеспечивает достаточну1о степень чистоты изделий.

11аиболее близкой и изобретению является газовая смесь для очистки поверхности изделий, состоящая из хлористого во Ippo да, паров во,1ы и инертного газа. при следующем содержании компонентов, мол.

НС1 от 7,5 .Io 33; Н О от 45,5 до 33; инертный газ от 47 до 34 (2).

Очистка внутренних поверхиосте1 1 камер данной газовой смесью от загрязняющих примесей различных металлов:и их окислов и остатков продуктов реакции проводят путем нагрева реакционной кварцевой камеры до указанных выше температур и во входное отверстие реакционной камеры подают поток парогазовой смеси, состоящей из хлористого водорода, паров воды и

10 инертного газа, например азота, с oDIIIIIM расходом парогазовой смеси 250 el«. Г1роцесс обработки кварцевой .камеры заканчивается продувкой,инертным газом в течение

10--15 ..ипн. Указанная обработка кварце15 вых изделий обла 1ает рядом существенны.;

1 е,iocTBTI oB, таких как сложность аппаратурного оформлсния для формировання парогазовых смссе11, требует соблюдения повышенных мер IIQ технике безопасности при О приготовлении рабочих растворов и провеTeIIIIII технологического процесса, большой агрессивностью источника парогазовой смеси (11ГС) к технологическому оборудованию, ограниченными техполо1ическими воз2 мo æ 1остям11

Целью изобретения является снижение токсичности процесса. х казанная цель достигается тем, что газовая смесь содержит пары хлористого ам852815> мои и я . 1 кис)!О;)О;(i1j) Jl cлсд ) lоп(с>1 «001 :«)

П! СII}ll! JCOitII Oil C! IT013, МО 1. " )>:

I1ары клорпстого аммония

Кислород г,—;

-13 99

2М((,C(-, О --Ii.—,-21(С; — !((О

I 1БЛИ 1HcIIH(Гс51 (м,:I I O 1 I(.. ll;>It

)31>!СOKO}1 T()(п(;) ИТ > f)(! а« Г:! I IIO -I IIC. LOI (1!11;> ст Ilo cxi ме

2(ICI, .11 (,f .

В cl тМОС<Р . РС lil! C )OРО,(,) Р;! 3I«) 3«C!IL

);1 Лов

)а;!псм иоды ii Këîðà

2(I C I —, О- — C f -(- 11 О.

11 13 про.г, к Гак р;(,5,ioæ«itè>I

i«!0(>IIci0i0;ii1it0llll5l От Гемпсрат ры С иоI ili!Ciпн(>! )СМ, !(j) )ТУРЫ Ii;.)(>II<. СС!1 ОЧИ« 1> И !

30зр IC аст кон цс!Гг );i Jill!l С I,::! it«ill LII;, C i— ся KÎ!Ilji I! ff>«) цпя I IС!. Гf) I 50il, 1«)C! с р<>ллО:ксни51 << I I.J((li .1<)оцс< <.(0 III«)K!I

:)а IIOi3(. f>illOC1 h ИЗ,(СГI?(51 !503 ((ИС 1 153 <."1 illl0I 0K0i11«>11 IITII3H I I I С, СO;!(. pi«ci ill

12О, I IC(, .", C12 и О;,;<:)олмо к;iocih Б !ПнрОКИ Ilpi,j(.,!<1K Ii«il< 1151Ò1> LООТIIO!!IÑ1111( между IСI и (1„)>:5 > Рьl iI0:313<>,151СТ:10,1,"i 10

"1 Е.IСIIh II 1, 1 < () J! II C ОЧ,:IC ÃKI!, P

И 0 1 O I 11 Ñ IC i i (13 0 3 i! 0 ii(l! O C Т Ц: 1 Р (. (, «> Ж < I! I «! I i ) . о с 0 б а .

Гсit. t«рат риый пигервал (<))О !300 (.)

)П ре.(СЛ 51С ГС5I т(. (, IT() И р И тi М Н ср а Г ):)(«: И.кс 700" С и (с! Испо ll«)L р;(5ло.кс Jil!i . 11 Сl, )ер..н!(п нр«д.л (1300 С) <>гр;illlll.":f::3, i<::. I 11 й, 1! I lж)! IIЙ редел по конце (трации (1 i!O.I. „) UII I(.()нрсдсл5«.1«я Гсм, 110 .Iри бо.!ес:tli3êè.; ,0 н ц(ll Г f)!I ll ll 51K Сн !1Жа(. ТС51 с 1 <, li(ll!> 0 111«1 1<к! !

О!)С!) К НОСTil K Ii<1 Pl(«!3 61 И;3.(СГ(:! Й,

11ГС, беi;>ii;ic «>còI IO в рабо1е ii доступltOCTblO . !род) к(ОБ Д,151 ИСТО III IIKO I I I С.. ЛОРиетЫй аММОННЙ ПРП НОРМcI)i(н)ЫК СЛОШ!)Ii

Kf)1ICTа,1, Iii×ÑÑK0Ñ Бе(11 CCTIЗO. О< ЛБр(.,((. II, T«iiII(. P c1Ti;) cl ВОЗ ГО! IК JI Р}1 !I 0() Ма.. 1)>1! 0 >t,j20" С.

< < к I I 13 110 I 1 < I cl C T b 10 О и и }ц (10 1! I, C É 1 1 Г С . I Яс ГсЯ >з Iо f) licт1>(й ВO.",0;)0 (н кло f), Р (!Зг!ОrKcll1fL и; ров . 11)(.I. 10 1(.l II (.1, II()olicio:11t 1 13 j)C. IСРС Б cl I МОСфС",)L КИСлорода:1;>и выс )Kой тем:!с;>а!урс IIO уравН IIIIIO це}(тра}(}!як более 57»0ë. ",о cJIJIH ;!el«H мо Ih«o(содержа н и« ки се(о р<)д(l Б Га 30 Бои смеси, !)следствие !его 311}С(;)азг!агзется

ilL!l0.1:!О С 1 !»О II ИСР <3;5ЛО>КИ Б)}) <3 Я«51 Ча«ТЬ С(>. i:I K0I1,I IlL II() \ () Г<. я !(а 1 с i!!О. !01 il:i(Cк<>м

:>О:>f>i) .((!15«!ИИ. (.ОД«:)rliclll)IС K:.ILËOÐÎ.(à 13 ГБЗОВОЙ СМЕСИ опрсдсляегся 1рсбусмой кс>ниентрацией HCI и С f u I 11 С. !

О I f;> i! it с р. I lp;< исполь 3015l X К 3:! РИС 3 Ы ; K

ОКИС.«. П), и, .(Ифф ЛИ И Jf 1. II. I5 !);5:I}fKÈ«T НЕОб. 0.1!i )10<. 1 ь 13 0 Ис l Kc. lill > трсниси 1013L}). lloc и )c;I "(сры от:3агрязняющи.; примесей.

15 l lавсску . 11.;С! (10 г) загр, жа:0T Б

К:)БРЦ«БЫИ >1..!Icl.l П ПО»)СЩа)О! ВО БКОД:!УЮ часть;>сакцион:(Ой камс:;>ы (температура зоны ))олгонки Х1-!)С! 400 000 С),:)к Ilo" i,l10Т ИОД;1 1, K It«)IO))0, j I C;) л5(сг 1100- (.:. 11;);>цссс Оч:iс;к}! ««.(1 )5 т« 1«:I и 1 Ч,:i(>с . . 1()! 0 Ка ):i f) :1:>0;. 1)а Ю 1 ! (1 ; > ;, <, >)

I l р, 1,.(аз(1!l )ык сool юшс;(ця: (<>Н С(и

25 )< . I c, I J f > o, < i !J 0 L c! « ч:! 15;I (. 1 с 51 (> >! о г! . „> Х Н 4 С 1

I (l < l> .).IL «))В(с О«О<. !0, ц,нос cÎ.Ic. ржание ."11.;(1 Б Ill С,((>с);! а«тся co<>г)3«!Ственно ул«л)::)спи(с м )(а 5(ски Х(1>(1 при у Ie:) иче! (И I(. !!!L!) 11, f>1>i 50:I <>! ОЛ(.>IIКИ ИЛI! CII}!ЖC. 30 I I « ii f > I i « i I (C ) (, >,! <> л .

КО !5С()i С. .!СС! t.

1 (300f)(1<ч!И<. I«> 5i30,15IC. i !i JC. II<):I:.I 1, Iiз

Il, )<>. . сс: 01 соля1: и к:!ел<;тhl lf ул 035 I(«с<"! << JIIÑ ГK:I, С)11!3}!ТI CО;IС ) Ж;> i! ИL Ii i 10 ..ь:i iicl;I,I,!015 ((1, К) Б l б,)аз, у}3ег)и. чить сро)с сл > ifc Obl KI3dp Lieâû:; 1 j) 0 11 oc llil c 1 11

НЫ : Т;>3

40 (!> <»; 3! .,1,, i 1! .5 О б;> <

I I I!)b! .;,10 >:« Т(): O

I lc i0 !!i!I!(}i информ(1:(:!Б) цри!. я! ь:«БО

5 ) < и; < н ° п р н > к <." с р 11 (3 е:

I, (ас,!О, 3 .j.:j. 1(..".,.Io;1<>I )151 )! конст:)у к(!О,)\ и f)():«).i:I:I«0:3Û., llj)lt()0:)0:3..>!., 0

>313 i,(>()Око(«Б:1) (с Тс, 11>СТ:30 СССР

Л (>7<530:(;>, к.l. С 03 С 23, 00, !977 (:)рото:инi

I азоваЯ Cil«CO ДЛ5! ОЧИС1 к 1 с 1 «K, IE:I>ibi ;

5! K.< (> Ili .<)l>I i I Л.IC. Ili Ji, 13K 1K>45 L<).« ;)ilicllll,ll!i KOii:IÎJI(:! 11 0 1 . 1 !l 1 iJ 10

I l f ) O i ((. C (. < > I I I C T K i I, 0 Н;<, (О:1 0 Л П И С Гl h 110 C 0.iL )ж;1::.ис.lо:)<>.„(1 15 качсст!3(.. ;;lорсо.(е().к;! н;(I <> K(Jit IOI« н(гк !о;>исто) о а м50 !Он I!l, >н . « (!.Ii(. м с<),(ер ка)I!!:I JiOiIIIOI « I: I <, l3,,1<)Л.

852815 ни

УП 3И J;f00 ?И

Составитель О. Самохина

Пенчко

Редактор П. Горьксва Тсхрсд И.

Заказ 1091/93! Изд. № 519

НПО «Поиск» Государственного комитета

113035, Москва, Ж-35, Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

v о

Коррсктор И. Осиновская

Тираж 530 Подписное

СССР по делам изобретений и открытий

Раушская наб,, д. 4/5