Способ работы вакуумного крионасоса

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ .СВИДЕТЕЛЬСТВУ

I (61) Дополнительное к авт. свид-вуСоюз Советскик

Социалистических

Республик фМ г

",Ф (22) Заявлено 210181 (2 ) 3272132/25-06 (51) М.Кп

F- 04 В 37/08 с присоединением заявки №Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет—

Опубликовано 1510.82. БЮллетень ¹ 38

Дата опубликования описания 151082

РНУДК 621. 528..1(088.8) (72) Авторы изобретения

В.И. Иванов, В.Н. Новотельнов, H A Ле

Л.И. Владимиров и С.Ю. Голубкина

Ленинградский технологический институт промышленности (71) Заявитель . (54) СПОСОБ РАБОТЫ ВАКУУМНОГО KPHOHACOCA

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам работы вакуумных крионасосов.

Известен способ работы вакуумного крионасоса, включающий заполнение полой крнопанели газообразным гелием при избыточном давлении, охлаждение криопанели и конденсацию на .ней откачиваемого газа f1).

Недостатком известного способа является невысокая его надежность вследствие непрерывного повышения температуры криопанели в процессе конденсации на ней откачиваемого газа.

Цель изобретения - повышение надежности.

Указанная цель достигается тем, что в процессе конденсации осуществляют дросселирование гелия из полости криопанели.

На чертеже представлена схема вакуумного крионасоса, реализующего описываемый способ.

Насос содержит корпус 1 с криоге-. нератором 2, на котором установлена полая криопанель 3, окруженная охлаждаемым экраном 4, контактирующим с криогенератором 2. Насос через клапан 5 соединен с откачиваемым объектом 6. Полость криопанели 3 соединена посредством трубопровода через вентиль 7 с регенератором 8, компрессором 9 и через вентиль 10 с газгольдером 11.

Насос работаеФ следующим образом.

Газообразный гелий иэ газгольдера 11 эакачивается, компрессором 9 через регенератор 8 и вентиль 7 в полую криопанель 3. Вентиль 7 закрывают, а криопанель 3 и содержащийся в ней сжатый гелий охлаждают посредством криогенератора 2 до рабо" чей температуры, например 15 К. Экран

4 охлаждают до температуры 80-100 К.

Затем открывают клапан 5,. сообщают откачйваемый объект 6 с насосом и конденсируют откачиваемый .гаэ на криопанели 3.

Одновременно с конденсацией газа на криопанели осуществляют дросселирование гелия из полости криопанели

3 через вентили 7 и 10 в газгольдер 11. Интенсивность дросселирова25 ния регулируют таким образом; чтобы температура криопанели сохранялась. постоянной.

Формула изобретечия.

Способ работы вакуумного крионасоса, включающий заполнение полой

966292

Составитель В. Кряковкин

Техред И. Рейвес Корректор А, Ференц

Редактор Н. швыдкая

Заказ 7806/46

Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, К-35; Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 криопанели газообразным гелием при избыточном давлении, охлаждение криопанели и конденсацию на ней откачиваемого газа, о т л и Ч а юшийся тем, что, с целью повышения надежности, в процессе конден". сации осуществляют дросселирование гелия из полости криопанели.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент CltA 9 3485054 кл. 62-55.5, опублик. 1969.