Электроннооптическая система

 

OIl NCAHN Е <„,991529

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (6l ) Дополнительное-к авт. свид-ву (22) Заявлено 19.06.81- (2l ) 3305277/18-21 с присоединением заявки J4 (23) Приоритет (53 )M. Кл.

Н Ol Р 9/18

Мкудератееиее кеявтет

Опубликовано 23.01.83. Бюллетень 14 3 вв делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385. .832(088.8) Дата опубликования описания.23.01.83 (72) Авторы изобретения

В. В, Назаров и Г. А. Якушев

1 (il ) Заявитель

{ 54) ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА

Изобретение относится к электровакуу мной технике, а именно к конструкции электронно-оптических систем, и может быть использовано в элементах конструкции электронных пушек, электронных мик роскопов, масс-спектрометров и других устройств, где требуется повышенная точность установки деталей.

Известно устройство, предназначенное для установки деталей по двум цилиндри ческим отверстиям с помощью двух направляющих стержней, один из которых цилиндрический, а другой ромбический (1 ).

Однако в подобных устройствах соединение деталей осуществимо только при наличии определенного зазора между направляющим пояском ромбического стерж.ня и отверстием детали, который приводит к увеличению погрешности центровки за счет возможных угловых перемещений 2о относительно оси другого направляющего стержня.

Известно также устройство, содержащее два продольных центрирующих стержня, неподвижно закрепленных в основании, направляемые детали, в которых выполые ны отверстия для размещения стержней (2 ).

Это устройство устраняет указанный недостаток, но при центрировании нескош ких деталей, набранных в пакет, не дает высокой точности установки из-за имеюшейся в пределах допуска неперпендикулярности поверхности центрируюших отверстий относительно посадочного торца детали, что вызывает в пакете перекосы и деформации или же введение в соединение меж ду стержнями и отверстиями сборочного расчетного зазора.

Белью изобретения является повышение точности сборки электродов электроннооптических систем.

Указанная цель достигается тем, что в электронно-оптической системе, содержащей соосно расположенные электроды, в каждом из которых вне рабочей зоны выполнены диаметрально противоположные ответстия, в которых размещены центрирующие изоляционные стержни, толщина

29 4 менее 1,5. В случае же исполнеении электродов, например, из алюминия с модулем упругости 0,7. 10 кг/см толшина электр рода не превышает 0,3 диаметра стержня.

Углубление 13 снижает жесткость электрода вокруг стержней и повышает его податливость в направлениях изгиба так, что электрод получает возможность при стяжке пакета во время сборки. системы за счет упругих деформации на участке наклоняться относительно центрирующего стержня на угол, соответствующий допуску на перпендикулярность отверстий и тем самым самоцентрироваться.

Конструкция электронно-оптической системы позволяет повысить точность центрирования электродов, снизить различного вида абберации и повысить разрешающую способность системы. Кроме того, сопряжение центрнрующих стержней по посадке с натягом в пределах упругости препятствует возникновению в соединении тепловых зазоров и нарушению центровки иэ-за различия температурных коэффициентов линейного расширения различных материалов деталей электронно оптической сисгемы в условиях изменяющихся температур.

3 9918 электрода в области отверстий не превышает 0,3. диаметра стержней. При этом отверстия для стержней могут быть выполнены в мембранах, закрепленных на электродах. 5

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид, "на фиг. 2 - один иэ электродов; на фиг. 3 - разрез А-А на фиг. 2.

Электроды 1 электронно-оптической системы (фиг. 1) установлены на основа- !О нии 2 через дистанционные изоляционные втулки 3, сцентрированы изоляционными стержнями 4, например керамическими, закрепленными на основании 2 винтами 5 g стянуты в пакет винтами 6 через нажим.15 ное кольцо 7. Каждый электрод (фиг. 2) в области отверсгий имеет уточнение или мембраны 8, одно центрирующее цилиндрическое отверстие 9 и одно овальное центрируюшее отверстие 10, выполненные в 20 мембранах 8. Отверстия находятся на одной прямой l l симметрично относительно

"оптического центра 12 и могут быть выполнены с углублением 13.

Для существенного повышения точности центрирования электродов, которую возможно обеспечить конструктивно, беэ применения ручной юстнровки, необходимо исключить из сопряжения центрирующий стержень - отверстие сборочные зазь- З0 ры и скомпенсировать допуск на перпендикулярность центрируюших отверстий относительно посадочной плоскости электр родов без потери точности центровки. Для этого целесообразно выполнить сопряжение электродов с центрирующими стержнямн по посадке без зазора, компенсируя в то же время неперпендикулярность цент» рирующих отверстий упругими деформациями электрода в районе стержней как мем- 4о бра ны. Это достигается в приводимом приме.ре {фнг. 3) уменьшением толщины электрода вокруг центрируюших отверстий 9 и

10 соосным с ними углублением 13 н 15 посадкой стержней,4 в центрирующие отверстия по посадке, например, с натягом.

В случае исполнения стержней 4, например, из керамики 22ХС, электродов иэ стали с модулем упругости 2,1 10 кг/ so

/см с точностью по 6-7 квалитетам, отношение толщины диска электрода в области отверстий к диаметру стержня следует брать не более 0,1, а отношение диаметр р углубления K диаметру стержня формула изобретения

1. Электронно-оптическая система, содержащая соосно расположенные электроды, в каждом из которых вне рабочей зоны выполнены два диаметрально противоположных отверстия, в которых размещены центрирующие изоляционные стержни, отличающаясятем,что,с целью повышения точности сборки, толшь на электрода в области отверстий не превышает 0,3 диаметра стержней.

2. Система по п. 1, о т л и ч а ющ а я с я тем, что отверстия для размещения стержней выполнены в мембранах, закрепленных на электродах.

Источники информации принятые во внимание при экспертизе

1. Картавов С. А. н др. Технология машиностроения. Киев, Техника, 1965, с. 112»114.

2. Орлов П. И. Основы конструирования. М., "Машиностроение", Т. 1, 1977, с. 592 (прототип).

Составитель В. Гаврюшин

Редактор Н. Гунько Техред h4, Надь КорректорB. Прохненко

Заказ 154/73 Тираж 701 Поднисное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж 38, Раушская наб., д. 4/5

Фклиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4