Устройство для растяжения эластичного носителя полупроводниковых кристаллов
УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСТЯЖЕНИЯ ЭЛАСТИЧНОГО НОСИТЕЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКО ВЫХ КРИСТАЛЛОВ, содержащее осиовани с опорным выступом, обойму для закр Фиг. ления эластичного носителя, размещенную на опорном выступе, и механизм перемещения и фиксации обоймы относительно опорного выступа, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей , оно снабжено выдвижными базирующими упорами, установленными на обойме, и упругим элементом, р змещенным между обоймой и основанием, а механизм перемещения и фиксации обоймы выполнен в виде пневмокамеры, размещенной между обоймой и основанием , причем в обойме выполнены окна и пневмодорожки для перемещения эластичного носителя.
СОЮЗ СОБЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН (19) (11) А
3<511 B 01 L 21/78
1 и
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н ABTOPCHOIVIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
i
I
ГОСУДАРСТБЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3535521/18-21 (22) 11.01,83 (46) 30.04.84. Вюп, 11- 16 (72) М. Г. Елинский, В. А. Зайцев, Г. В. Приходченко и А, П. Токарев (53) 621.382.002 (088.8) (56) 1. Патент Великобритании
Ф 1488150, кл. В 5 Е 8, 1977 °
2, Авторское свидетельство СССР .
У 963120 кл H Ol 1 21/ООе
31.03 ° 81 (прототип1 1 (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСТЯЛИНИЯ
ЭЛАСТИЧНОГО НОСИТЕЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ, содержащее основание, с опорным выступом, обойму для закреп. ления эластичного носителя, размещенную на опорном выступе, и механизм перемещения и фиксации обоймы относительно опорного выступа, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, оно снабжено выдвижными базирующими упорами, установленными на обойме, и упругим элементом, р змещенным между обоймой и основанием, а механизм перемещения и фиксации обоймы выполнен в виде пневмокамеры, размещенной между обоймой и основанием, причем в обойме выполнены окна и пневмодорожки для перемещения эластичного носителя.
1089676
Изобретение относится к микроэлект ронике и может быть применено для автоматизированной установки, закрепления, растягивания, фиксации в растянутом состоянии и съема эластичного носителя полупроводниковой пластины, разделенной на отдельные кристаллы на операциях в.1зуального контроля, разбраковки и посадки кристаллов в корпуса.
Известно устройство для закрепления и растягивания эластичной планки с разделенной на кристаллы полупроводниковой пластиной, содержащее основание с цилиндрическим выступом, эластичную пленку, подвижное кольцо для растягивания носителя, зажимную крышку и фиксаторы. Эластичный носитель устанавливают на цилиндрический выступ основания, зажимают крышкой и фиксируют. Внутри цилиндрического выступа находится подвижное кольцо, которое при помощи рукоятки, связанной с эксцентриками, перемещается вверх и растягивает носитель 1 1).
Недостатками данного устройства аВ. ляются неудобство использования -его в установках визуального контроля, разбраковки и посадки кристаллов из-за громоздкости конструкции и наличия 3g открывающейся зажимной крышки под объективом оптического устройства, . изменяющегося по высоте уровня положения кристаллов при растягивании пленки, что затрудняет контроль и съем кристаллов, а также отсутствие пространства внутри устройства для размещения механизма подкола крис" таллов для отделения их от эластичного носителя, 40
Работа производится вручную. Кроме того, отсутствует возможность автоматизированной установки, закрепления, растягивания, фиксации в растянутом состоянии и съема эластичного носителя.
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство для растяжения эластичного носителя полупроводниковых кристаллов, содержащее основание с опорным выступом, обойму для закрепления эластичного носителя, размещенную на опорном выступе, и механизм перемещения и фиксации обоймы относительно
55 опорного выступа )2 j .
К недостаткам известного устройства относятся его ограниченные эксплуатационные возможности, обусловленные тем, что операции по установке, закреплению„ растяжению и съему эластичного носителя производятся вручную, что не позволяет автоматизировать процесс и испльзовать устройство в автоматической линии.
Цель изобретения вЂ,расширение эксплуатационных возможностей устрой(1 Вй ф
Указанная цель достигается тем,что устройство для растяжения эластичного носителя полупроводниковых кристаллов, содержащее основание с опорным выступом, обойму для закрепления эластичного носителя, размещенную на опорном выступе, и механизм перемещения и фиксации обоймы относительно опорного выступа, снабжено выдвижными базирующими упорами, установленными на обойме, и упругим эле-. ментом, размещенным. между обоймой и основанием, а механизм перемещения и фиксации обоймы выполнен в виде пневмокамеры, размещенной между обоймой и основанием, причем в обойме выполнены окна и пневмодорожки для перемещения эластичного носителя.
На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 — разрез
А-А на фиг, 2 в положении загрузки на фиг. 4 — разрез Б-Б на фиг, 2.
Устройство содержит основание 1 с (цилиндрическим) опорным выступом 2, на котором происходит растяжение эластичного носителя 3 полупроводниковых кристаллов 4, выполненного в виде пленки, закрепленной в рамке
5. На опорном выступе 2 размещена обойма 6, содержащая две плиты— нижнюю 7 и верхнюю 8, жестко закрепленные на ней, В плите 8 выполнены пневмодорожки 9, Между плитой 8 обоймы би основанием 1 размещена пневмо-. камера 10, а между плитой 7 обоймы б и основанием l — упругий элемент в виде тарельчатой пружины 11, Обойма 6 установлена с возможностью перемещения относительно опорного выступа 2 по направляющим, образованным стойками 12 и отверстиями 13. В обойме б выполнены два окна — входное 14 и выходное 15 для прохода эластичного носителя 3. В плите 8 обоймы 6 установлены два подпружиненных выдвижных базирующих упора 16, В рамке
5 и обойме 6 выполнены отверстия 17 н 18 соответственно, диаметр которых
1089676 превышает диаметр цилиндрического выступа 2 не менее, чем на две толщины пленки эластичного носителя 3.
Устройство работает следующим образом.
Для загрузки,установки) эластичного носителя 3 с разделенной на крис. таллы 4 полупроводниковой пластиной в пневмокамеру 10 подают сжатый воздух, который, увеличиваясь в объеме, воз10 действует на плиту 8, которая с жестко скрепленными с ней обоймой 6 и нижней плитой 7 перемещается в верхнее положение вдоль опорного выступа
2 основания l. Тарельчатая пружина
11 сжимается,при этом верхняя рабочая плоскость плиты 8 располагается выше опорного выст; па. 2, открывая входное окно !4 для прохода рамки 5 в рабочую зону и выходное окно 15 для выхода рамки иэ рабочей зоны. Одновременно на пневмодорожки 9 верхней плиты 8 и базирующие упоры 16 подают сжатый воздух, при этом базирукнцие упоры 16 поднимаются выше уровня рабочей пло25 скости плиты 8, Эластичный носитель
3 подается автоматическим транспортером (не показано) во входное окно
14, подхватывается воздухом пневмо;дорожек 9 и транспортируется в рабочую зону до базирующих упоров 16. Воздух из пневмокамеры 10 сбрасывается,тарельчатая пружина 11, распрямляясь воздействует на нижнюю плиту 7, пневмокамера 10 при стравливании сжа- 35 того воздуха в атмосферу сжимает ся, а обойма 6, верхняя 8 и нижняя 7 плиты перемещаются вниз вдоль выступа 2 основания 1. Обойма 6, перемещаясь вниз, давит на рамку 5, заставляя ее перемещаться вслед за собой, при этом эластичный носитель 3, скользя по торцу опорного выступа 2, растягивается до требуемой величины путем регулирования стравливания воздуха в атмосферу из пневмокамеры 10. Кристаллы 4 разделенной полупроводниковой пластины раздвигаются (между ними образуются зазоры), и они могут сниматься с эластичного носителя путем подкола снизу и захвата сверху вакуумным пинцетом (не показано).
После съема кристаллов в пневмокамеру 10 подают сжатый воздух и верхняя плита 8 с жестко закрепленной на ней обоймой 6 и нижней плитой 7 перемещается в верхнее положение. Тарельчатая пружина ll сжимается, при этом верхняя рабочая плоскость плиты 8 располагается выше опорного выступа 2, прекращается подача сжатого воздуха на баэирующие упоры 16 и они под действием возвратных пружин опускаются вниз, открывая путь вдоль рабочей плоскости плиты 8, а в пневмодорожки 9 верхней плиты 8 подают сжатый воздух и эластичный носитель 3 через выходное окно
i5 удаляется.
Применение предлагаемого устройства позволяет автоматизировать его работу и использовать его в автоматических линиях.
1089676
1089676
Составитель Г. Падучин
Редактор M. Рачкулинец Техред М.Тепер Корректор О.Билак
Заказ 2944/50 Тираж 683 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5
Филиал ППП "Патент", r, Ужгород, ул. Проектная, 4
