Устройство для герметизации изделий

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ИЗДЕЛИЙ, преимущественно радиоэлектронных микроэлементов, содержащее цилиндрическую рабочую камеру, в торцовой стенке которой выполнено выпускное отверстие со скосом на внутренней поверхности торцовой стенки, и установленный с зазором в выпускном отверстии рабочей камеры щток с головкой, имеющей скос на своей цилиндрической поверхности, отличающееся тем, что,с целью расширения эксплуатационных возможностей, скосы стенки рабочей камеры и головки штока образуют острые углы с торцовыми поверхностями рабочей камеры и головки щтока. (Л х со 00 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1191988 A дп 4 Н 01 L 21/56, 23/28 В 05 С 5/02

ГОСУДАРСТ8ЕКНЬ Й КОМИТЕТ СССР

llO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

;, К

Н АBTGPCXOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1

1 (21) 3455910/24-21 (22) 06.07.82 (46) 15.11.85. Бюл. № 42 (72) Г. А. Бобков (53) 621.396 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 947932, кл. В 05 С 5/02, 22.08.79.

Авторское свидетельство СССР № 610570, кл. В 05 С 5/02, 28.06.76.

1 (71) Проектно-технологический и научноисследовательский институт Научно-производственного объединения «Электронприбор» (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ИЗДЕЛИИ, преимущественно радиоэлектронных микроэлементов, содержащее цилиндрическую рабочую камеру, в торцовой стенке которой выполнено выпускное отверстие со скосом на внутренней поверхности торцовои стенки, и установленный с зазором в выпускном отверстии рабочей камеры шток с головкой, имеющей скос на своей цилиндрической поверхности, отличаюи1ееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, скосы стенки рабочей камеры и головки штока образуют острые углы с торцовыми поверхностями рабочей камеры и головки штока.

1191988

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при защите микроэлементов интегральных схем и микросборок с помощью герметизирующего поI крытия отверждающимися материа яами.

Известно устройство для герметизации изделий, которое содержит размещенные на основании головку для подачи герметизируюгцего материала с цилиндрическим серде.-гпиком, установленным с зазором в выпуск1О ном отверстии головки, держатель изделии и приводной механизм, причем держатель изделий установлеII с возможностью вращения и поступательного перемещения вдоль оси выпускного отверстия, а в сердечнике выполнено осевое отверстие для подачи загцитного газа. Цилиндрический сердечник устройства жестко закреплен в головке (1).

Недостатком этого устройства. является то, что оно обспечивает герметизацию изделий определенного типоразмера, для герметизации изделий различных типоразмеров, например, при изготовлении гибридных многокриста lhHblx микросборок, требук>тся сменные рабочие головки. Кроме того, устройство предусматривает вращательное движение держателя изделий, что усложняет его кон- д струкцию и создает неудооство в работе. особенно при герметизации многокристальных микросборок.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство, содержащее цилиндрическую рабочую камеру с выпускным отверстием в торцовой стенке и подвижно установленный в ней с зазором в выпускном отверстии шток с головкой на свободном конце. Головка штока и торцовая стенка камеры по периметру выпускного отверстия со своей внутренней стороны вы35 полнены со скосами по направлению к зазору (2).

Недостатком этого устройства является то, что оно не обеспечивает создания герметичной полости над герметизируемым изде- 40 лием, что ограничивает его эксплуатационные возможности.

Цель изобретения — расширение эксплуатационных возможностей. Цель достигается 4> тем, что в устройстве для герметизации изделий, содержащем цилиндрическую рабочую камеру, в торцовой стенке которой выполнено выпускное отверстие со скосом на внутренней поверхности торцовой стенки, и установленный с зазором в выпускном от- 50 верстии рабочей камеры шток с головкой, имеющей скос на своей цилиндрической поверхности, скосы стенки рабочей камеры и головки штока образуют острые углы с торцовыми поверхностями рабочей камеры и головки штока.

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 — 5 — последовательность операций, поясняющая принцип действия устройства; на фиг. 6 — торцовая стенка и головка штока, в увеличенном масштабе.

Устройство содержит основание 1, на котором закреплен пневмоцилиндр 2, на штоке

3 которого установлен пневмоцилиндр 4, имеющий шток 5, и рабочая цилиндрическая камера 6 со штоком 7. Верхняя часть штока 7 подпружинена и упирается в шток 5 пневмоцилиндра 4. Пневмоцилиндры 2 и 4 и рабочая камера 6 соединены с пневмораспределителем 8, соединенным с блоком управления

9. Под рабочей камерой 6 на основании 1 установлен держатель О для размещения герметизируемых изделий 11. В торцовой стенке 12 рабочей камеры 6 выполнено выпускное отверстие 13 со скосом !4 на внутренней поверхности торцовой стенки 2.

Шток 7 рабочей камеры 6 имеет головк 15, имеющую скос 16 на своей цилиндрической поверхности. Скосы 14 и 16 образуют острые углы о и В с торцовыми поверхностями рабочей камеры 6 и головки 15 штока 7.

Устройство работает следующим ооразом.

В исходном состоянии шток 5 пневмоцилиндра 4 находится в положении, при котором головка 15 штока 7 находится в положении, при котором острые кромки скосов

14 и 16 совпадают. Затем по команде блока управления 9 сжатый воздух подается в пневмоцилиндр 2 и его шток 3 опускает рабочую камеру 6 на позицию герметизации, где па держателе 10 установлено изделие 1.

При этом торец рабочей камеры 6 располагается от изделия 11 на некотором расстоянии. 1Пток 7 перемещается вниз так, что его головка 15 выходит из выпускного отверстия 13 на требуемую величину, определяемую экспериментально в зависимости от геометрических размеров герметизируемого изделия 11.

В рабочую камеру 6 подается сжатый воздух и герметизирующий материал 17 начинает выдавливаться из рабочей камеры 6 в направлении, указанном стрелками на фиг. 3. При этом направление движения герметизирующего материала 17 в основном определяется величиной острого угла B скоса 14 и взаимным положением торцовой стенки 12 камеры 6 и головки 15 штока 7. Если поверхности внешних сторон торцовой стенки 12 рабочей камеры 6 и головки !5 штока

7 находятся в одной плоскости, герметизирующий материал 17 выдавливается вниз, образуя полый цилиндр, при расположении головки 1Ъштока 7 ниже торцовой стенки 12 камеры 6 поток герметизирующего материала 17 будет отклоняться в направлении от центра. В процессе выдавливания герметизирующего материала 17 шток 7 поднимается пневмоцилиндром 4 вверх относительно рабочей камеры 6 для формообразования гермвгизирующего покрытия так, что в момент касания герметизирующего материала по1191988 верхности платы 18, на которой лежит изделие 11, он оказывается вдвинутым внутрь рабочей камеры 6. При этом поток герметизирующего материала 17 из выпускного отверстия 13 направлен вниз к центру и направление потока в основном определяется величиной острого угла сС скоса 16 и взаимным положением торцовой стенки 12 рабочей камеры 6 и головки 15 штока 7. При таком направлении потока герметизирующего матерйала 17 его стенки в верхней части смыкаются и образуют над изделием 11 сводчатое герметичное покрытие 19 с полостью

12. Затем при удалении рабочей камеры 6 вверх пневмоцилиндром 2 и прекращении подачи в нее сжатого воздуха, герметизирующий материал 17 обрывается по шейке 21.

После этого шток 7 опускается в исходное положение. В рабочей камере 6 создается вакуум и излишки материала 17 втягиваются в рабочую камеру 6, в результате чего устройство приводится в исходное состояние, а материал герметизирующего покрытия 19 отверждается.

Устройство позволяет получить герметизи рующее покрытие куполообразной формы с полостью внутри покрытия при исключении необходимости вращения изделия. Кроме того, благодаря возможности управления потоком герметизирующего материала и в связи с этим получения герметизирующих покрытий различных размеров и формы, исключается необходимость разработки и изготовления сменных головок для герметизации различных типоразмеров изделий, а также их замены в процессе эксплуатации при переходе с одного типоразмера на другой, например, при изготовлении многокристальных микросборок.

iI91988

1б 1

Составитель Г. Падучин

Редактор М. Товтин Техред И. Верес Корректор Е. Рошко

Заказ 7166/50 Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4