Устройство для гравитационной послойной выдачи изделий из накопителя
Изобретение относится к технике изготовления больших интегральных схем микроэлектроники. Цель - улучшение эксплуатационных характеристик .путем предохранения крзттких полупроводниковых пластин от повреждений при их поштучной выгрузке из накопителя . Устройство состоит из корпуса 1, внутри которого перемещается платформа 5 с накопителем 4. Новизной в устройстве является лента 14, натянутая на ролики 10 и 11, установленные внутри корпуса. Концы ленты закреплены на платформе, поэтому она движется вместе с платформой. На платформу устанавливается накопитель с пластинами, кромки которых упираются в ленту и не трутся о корпус. Для обеспечения возможности сброса пластин из загруженного накопителя как при движении платформы влево, так и при движении ее вправо, могут быть (Л установлены две ленты, натянутые каждая на свою пару роликов - одна по одну сторону от окна выдачи пластин, другая - по другую. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. 5 ю 00
CQt03 СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
А1
„„Я0„„1271 1 (50 4 В 65 С 59/12
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCHOIVIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
llO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3920762/31-11 (22) 02.07.85 (46) 23.11.86. Бюп. Ф 43 (71) Специальное конструкторско-технологическое бюро специальной электроники и аналитического приборостроения CO AH СССР (72) А.НД1епин (53) 621.869(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
9 779223, кл. В 65 С 65/36, 1978.
Авторское свидетельство СССР
У 1134824, кл. В 65 G l/10, 1983. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГРАВИТАЦИОННОЙ
ПОСЛОЙНОЙ ВЫДАЧИ ИЗДЕЛИЙ ИЗ НАКОПИТЕЛЯ (57) Изобретение относится к технике изготовления больших интегральных схем микроэлектроники. Цель — улуч шение эксплуатационных характеристик ,путем предохранения хрупких полупроГ водниковых пластин от повреждений при их поштучной выгрузке из накопителя. Устройство состоит из корпуса
1, внутри которого перемещается платформа 5 с накопителем 4. Новизной в устройстве является лента 14, натянутая на ролики 10 и 11, установленные внутри корпуса. Концы ленты закреплены на платформе, поэтому она движется вместе с платформой. На платформу устанавливается накопитель с пластинами, кромки которых упираются в ленту и не трутся о корпус. Для обеспечения возможности сброса пластин из загруженного накопителя как при движении платформы влево, так ипри движении ее вправо, могут быть установлены две ленты, натянутые каждая на свою пару роликов — одна по одну сторону от окна выдачи пластин, другая — по другую .1 з.п. ф-лы, 1 ил.
1271810
35 полнительные ролики, оси которых параллельны передней стенке корпуса, причем один из роликов установлен в зоне окна вьдачи, а.лента закреплена своими концами на козырьке. мрихина
45 ль
Составите Е.У
Техред В.Kapàð
Корректор О.Луговая
Редактор Г.Волкова
Заказ 6303/22
Тираж 833
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Подписное
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к устройствам для гравитационной разгрузки накопителя и может быть использбвано дпя автоматической поштучной подачи легкоповреждаемых полупроводниковь1х пластин из накопителя, например из кассеты, в зону их обработки.
Целью изобретения является улучшение эксплуатационных характеристик путем предотвращения повреждения кромок хрупких пластин, загруженных в накопитель, при их поштучной выгрузке.
На чертеже изображено устройство для гравитационной послойной выдачи изделий из накопителя, общий вид.
Устройство содержит корпус 1,, имеющий в одной иэ стенок окно 2 выдачи для поштучного выхода пластин 3, помещенных в накопитель 4. Накопитель установлен на платформу 5, к которой посредством стоек 6 прикреплен козырек 7„ и которая имеет винтовой привод поступательного перемещения: ходовой винт 8, вращаемый двигателем
9. В корпусе установлены две пары роликов 10, 11 и 12, 13 по одну и по. другую сторону от окна выдачи. На каждую пару роликов натянута своя лента 14 и 15. Концы ленты 14 закреплены планками 16 и 17 на платформе 5, а ленты l 5 - на козырьке 7. В вари- анте с одной гибкой лентой платформа представляет собой плиту с резьбовым отверстием для ходового винта 8 и устройством для закрепления накопителя 4.
Устройство работает следующим образом.
Загруженный изделиями (пластинами) накопитель 4 устанавливают йа платформу 5 в ее исходном поло,:женки, .Исходнъ м положением платфюрмы в варианте с двумя гибкими лентами может быть как крайнее левое, так и крайнее правое, изображенное на чертеже. В этом заключается смысл установки двух гибких лент: после разгрузки накопителя для замены его новым, заполненным накопителем, не нужно возвращать платформу вправо, т.е. исключается "холостой ход" устройства. Разгрузка накопителя происходит так: включают двигатель на вреФ мя, необходимое для перемещения платформы 5 винтом 8 на шаг, равный шагу ячейки накопителя 4. Первая пластина в накопителе выскальзывает под, действием собственного веса в окно 2 выдачи корпуса 1. Вторая и последующая пластины выскальзывают иэ накопителя после второго и последующих шаговых ходов платформы.
Формула изобретения
1. Устройство для гравитационной послойной выдачи изделий из накопителя, содержащее корпус с окном выдачи в одной из его стенок и подъемноопускную платформу для накопителя, размещенную внутри корпуса и связанную с приводом ее шагового перемещения, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения эксплуатационных характеристик путем предотвращения повреждения кромок изделий, оно снабжено лентой, огибающей смонтированные внутри корпуса на его стенке по одну сторону от окна выдачи ролики, оси которых параллельны этой стенке, и один из роликов установлен в зоне окна выдачи, а лента закреплена своими концами на платформе с образованием замкнутого контура.
2. Устройство по п. l, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что к платформе посредством стоек прикреплен козырек с образованием ниши, а устройствб снабжено дополнительной лентой, огибающей смонтированные внутри корпуса по другую сторону от окна выдачи до
