Способ сборки многозондовой головки

 

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники. Цель изобретения - упрощение технологии сборки и повышение ее точности. Она достигается тем, что при сборке многозондовой головки зондов каждый из зондов укладывают в сборочное приспособление, размещая отогнутый контактирующий конец 4 в отверстие имитатора топологии проверяемой структуры, а тело зонда - на опорном элементе кольцевой формы. Под действием силы тяжести зонд устойчиво самоустанавливается в пространстве так, что его контактирующие концы лежат в вертикальной плоскости. После этого стержни 3 и опорный элемент скрепляют в единое целое заливкой диэлектрическим закрепляющим составом. Способ может быть использован при изготовлении устройств для контроля полупроводниковых структур на пластине при их производстве. 1 з.п. ф-лы, 3 ил. Ю N3 00 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5114 Н 011 21 68

j

1 /

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3875191/24-21 (22) 01.04.85 (46) 23.11.86. Бюл. № 43 (72) Ю. А. Львов (53) 621.382.2 (088.8) (56) Установка сборки контактных устройств

ЭМ-947 2.245.002 ТО.

Патент США № 3835381, кл. 324 — 158р, 1974. (54) СПОСОБ СБОРКИ МНОГОЗОНДОВОЙ ГОЛОВКИ (57) Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники. Цель изобретения — упрощение технологии сборки и повышение ее точности. Она достигается тем, что при сборке многозондовой головки зон,.SU„„1272378 дов каждый из зондов укладывают в сборочное приспособление, размещая отогнутый контактирующий конец 4 в отверстие имитатора топологии проверяемой структуры, а тело зонда — на опорном элементе кольцевой формы. Под действием силы тяжести зонд устойчиво самоустанавливается в пространстве так, что его контактирующие концы лежат в вертикальной плоскости. После этого стержни 3 и опорный элемент скрепляют в единое целое заливкой диэлектрическим закрепляющим составом. Способ может быть использован при изготовлении устройств для контроля полупроводниковых структур на пластине при их производстве. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

1272378

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при изготовлении устройств для контроля полупроводниковых структур на пластине при их производстве.

Цель изобретения — упрощение технологии сборки многозондовой головки и повышение ее точности.

На фиг.1 представлена сборка многозондовой головки (фрагмент) концами зондов, общий вид; на фиг.2 — конструкция зонда (а) и схемы установки зондов в сборочное приспособление (б, в); на фиг.З а-к— варианты исполнения зондов.

При сборке многозондовой головки концами зондов 1 (фиг.1) последние размещены в отверстиях имитатора 2 топологии проверяемой структуры. Тела зондов лежат на опорном элементе кольцевой формы.

На фиг.2а представлена конструкция зонда, выполненного в форме стержня 3 с отогнутым контактирующим концом 4 и дополнительным изгибом 5, лежащим в плоскости, образованной стержнем 3 и отогнутым концом 4.

На фиг.2б и 2в представлены схемы установки зондов в сборочное приспособление.

А — точки соприкосновения тела зонда с опорным элементом,  — точки соприкосновения контактного конца с имитатором топологии, С вЂ” центр тяжести зонда, G — вектор силы веса зонда. Центр тяжести зонда С расположен между точками А и В и ниже линии, их соединяющей.

На фиг.За — и представ1с ны конструктивные варианты исполнения зондов с изгибом; на фиг.Зк — вариант исполнения зонда с дополнительным грузом 6.

Сборка многозондовой головки осуществляется следующим образом.

Зонды укладывают в сборочное приспособление так, как показано на фиг.!. При этом они под действием силы тяжести устойчиво самоустанавливаются в пространстве так, что их контактирующие концы лежат в вертикальных плоскостях.

После этого стержни зондов и опорный элемент скрепляют в единое целое заливкой диэлектрическим закрепляющим составом. Эффект упрощения технологии сборки и повышения ее точности достигается за счет самоустановки контактирующих концов зондов в вертикальных плоскостях.

Формула изобретения

1. Способ сборки многозондовой головки из зондов, выполненных в форме стержневого тела с отогнутым контактирующим концом, включающий установку контактирующих концов зондов до упора в дно глухих отверстий, выполненных в шаблоне в соответствии с контактными площадками, проверяемой структуры, и установку стержней зондов на опорном элементе кольцевой формы с последующей заливкой стержней зондов и опорного элемента диэлектри2р ческим закрепляющим составом, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии сборки и повышения ее точности, перед установкой зондов на опорном элементе осугцествлено не менее одного изгиба стержня каждого зонда в плоскости, образованной стержнем и отогнутым контактным концом в сторону прямой, проведенной между точкой соприкосновения стержня с опорным элементом и точкой соприкосновения контактного конца с шаблоном, до размещения центра тяжести зонда между указанными точками и ниже указанной прямой.

2. Способ по и, 1, отличающийся тем, что на стержне зонда устанавливают дополнительный груз, центр тяжести которого расположен в плоскости, образованной стержнем и отогнутым контактным концом, причем массу груза подбирают такой, чтобы приведенный цсн гр 1 яжести системы зонд груз был расположен между точкой соприкосновения стержня с опорным элементом и

40 точкой соприкосновения контактного конца с шаблоном и ниже прямой, проведенной меж.1у этими точками.

l272378

Составитель H. Шмелев

Рс LBvTop L. Папи Текрсд И. Версс Корректор М. 1смчик

Заказ 6343, 50 Тираж 643 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4