Устройство для пространственной ориентации образцов в вакуумной камере

 

Изобретение относится к испытаниям материалов в вакууме. Цель - расширение функциональных возможностей устройства для пространственной ориентации образцов в вакуумной камере путам обеспечения поворота площадки для образцов в трех взаимно перпенди (Л оо о СП со о ьо

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУВЛИК (51) 4 Н 05 К 13/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

/ !

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР по делАм изОБРетений и ОткРытий (21) 3933949/24-21 (22) 26.07.85 (46) 23.04.87. Бюл. У 15 (72) Ю.Л. Пяйт, 10.M. Киселев, Е.А.Теленков, А.В. Самоцветов и Б.С.-Г. Рябой (53) 621. 396. 69. 005 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР и 444833, кл. С 23 С 13/00, 19.06.72.

„.SU 1305902 A 1 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОСТРАНСТВЕННОЙ

ОРИЕНТАЦИИ ОБРАЗЦОВ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ (57) Изобретение относится к испытаниям материалов в вакууме. Цель — расширение функциональных возможностей устройства для пространственной ориентации образцов в вакуумной камере путем обеспечения поворота площадки для образцов в трех взаимно перпенди13О59О2 кулярных плоскостях, 0»а достигается тем, что в устройстве имеется механизм (M) поворота штанги 12 вокруг оси с полым цилиндром 14 и H наклона герметичного стакана 4 в двух взаимно перпендикулярных плоскостях, а М

1 (ii

Изобретение относится к испытаниям материалов и может быть использовано в качестве устройства для пространственной ориентации образцов в вакуумной камере при испытаниях.

Цель изобретения — расширение функциональных возможностей путем обеспечения поворота площадки в трех взаимно перпендикулярных плоскостях.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2— штанга и схема соединения цепями и гибкими нитями штанги с противовесом; на фиг. 3 — разрез А-А на фиг.1; на фиг. 4 — вид Б на фиг. 1; на фиг. 5 — разрез В-В на фиг. 4; на фиг.6 — конструкция стержня регулируемой длины, пример конструкции; на фиг. 7 — узел I на фиг. 1; на фиг. 8 — разрез Г-Г на фиг. 7; на фиг. 9 — шарнирная подвеска площадки для образцов, вариант; на фиг. 10— разрез Д-Д на фиг. 1; на фиг. 11 разрез Е-Е на фиг. 1; на фиг. 12 крепление проводов к цепи; на фиг. 13— положение штанги в вакуумной камере.

Устройство содержит корпус 1, ус— тановленный сверху вакуумной камеры 2 на шлюзовом отсеке 3 (шлюэе).

Корпус 1 выполнен в виде герметичного вертикального стакана 4 и соединен с верхней стенкой шлюза сильфоном 5 и опорным шарниром 6, выполненным в виде двухосного кардана, состоящего из двух стоек 7, закреп— ленных на шлюзе 3, кольца 8, состоящего иэ двух половинок 9, жестко соединенных между собой, двух цапф 10, закрепленных на кольце 8 и шарнирно соединенных со стойками 7, а также двух цапф 11, закрепленных на стакане 4 и шарнирно соединенных с кольцом 8. подъема и опускания штанги 12 имеет две пары блоков и противовес 26 и направляющие. В описании изобретения дано взаимное расположение конструктивных элементов устройства. 1 з.п, ф-лы, 13 ил.

Внутри стакана 4 размещена штанга

12 с площадкой для образцов 13, Штанга 12 выполнена в виде квадратной трубы, установленной внутри полого цилиндра 14, установленного с возможностью вращения внутри стакана 4.

На полом цилиндре 14 жестко закреплено зубчатое колесо 15, находящееся в зацеплении с шестерней 16, кинематически связанной с электродвигателем

17 (например, с помощью волновой зубчатой передачи), размещенной снаружи корпуса 1.

Штанга 12 снабжена приводом 18 продольного перемещения, выполненным в виде двигателя 19, установленного снаружи на верхнем торце корпуса 1 и кинематически соединенного (например, через волновую зубчатую передачу) через конические зубчатые шестерни

20 и 21 с двумя ведущими звездочками

22 и 23, закрепленными на верхнем торце корпуса 1 внутри него.

Внутри верхней части корпуса 1 установлены вертикальные направляющие

24, B которых на роликах 25 установлен противовес 26, выполненный в виде прямоугольной рамы 27, охватывающей штангу 12 и снабженной двумя верхними 28 и двумя нижними 29 блоками.

На верхнем конце штанги 12 установлена охватывающая ее траверса 30.

Штанга 12 может поворачиваться вокруг

35 продольной оси внутри траверсы 30.

Внутри корпуса 1 установлены два неподвижных блока 31.

На траверсе 30 сверху закреплены одними концами две цепи 32, охватывающие ведущие звездочки 22 и 23 и верхние блоки 28. Вторые концы цепей

32 закреплены на верхней части корпуса 1 (фиг. 2).

С нижней стороны траверсы 30 одними концами закреплены две гибкие

1305902 нити 33 (например, тросы), огибающие неподвижные 31 и нижние 29 блоки.

Вторые концы гибких нитей 33 закреплены на нижней части стакана 4 (фиг.2).

Внутри полого цилиндра 14 установ- 5 лены восемь роликов 34, которые установлены в верхней и нижней частях полого цилиндра 14 и служат для центрирования штанги 12 (фиг. 7 и.8). Система роликов 34 образует направляющие»0 для продольного перемещения штанги 12.

Снаружи вакуумной камеры 2 установлены два привода 35 наклона корпуса 1, расположенные в двух взаимно перпендикулярных плоскостях, одна иэ которых параллельно оси вакуумной камеры 2.

Каждый привод 35 выполнен в виде стержня регулируемой длины (фиг. 6) и одним концом шарнирно соединен с корпусом, а другим концом — с верхней частью шлюзового отсека 3.

Один кронштейн 36 закреплен на корпусе 1 и имеет проушину, в которой шарнирно на оси 37 установлен кардан

38, в котором имеется отверстие, перпендикулярное оси 39. На последней шарнирно закреплен винт 40, снабженный вилкой 41 и имеющий правую резьбу.

Второй кронштейн 42 закреплен на шлюзовом отсеке 3 и имеет проушину и кардан 43, шарнирно закрепленный на оси 44. На оси 45 на кардане 43 шарнирно закреплен винт 46, снабженный вилкой 47 и имеющий левую резьбу.

Винты 40 и 46 соединяет стяжка 48, 35 имеющая соответственно правую и левую резьбы и центральное отверстие 49 для вращения стяжки.

Шлюзовой отсек 3 снабжен сбоку крышкой 50, открывающей доступ к пло- "0 щадке для образцов 13 снаружи вакуумной камеры. Между шлюзовым отсеком 3 и вакуумной камерой 2 имеется вакуумный затвор 51, обеспечивающий опускание через него штанги 12 с площадкой 4> для образцов 13 иэ шлюзового отсека 3 в вакуумную камеру 2 и закрывание (герметиэацию) вакуумной камеры 2 при верхнем положении штанги 12 при нахождении площадки для образцов 13 в шлюзе 3.

На образце 13 могут быть установлены (наклеены) датчики 52 для снятия показаний при испытаниях. При этом провода 53 от датчиков 52 прохо->> дят внутри штанги 12 и после выхода из штанги 12 закрепляются сбоку к одной из цепей 32 скобками 54 (фиг.12), а в верхней части корпуса 1 установлен герморазъем 55, к которому изнутри подсоединяются провода 53.

Для сохранения вертикального положения площадки с образцом 13 при наклоне корпуса 1 площадка с образцом

13 подвешена к штанге 12 на горизонтальной оси 56 (фиг. 9).

Устройство работает следующим образом.

В начальный момент (фиг ° 1) штанга 12 находится в поднятом верхнем положении, а площадка для образцов

13 — в шлюзе 3. Вакуумный затвор 51 закрыт. В вакуумной камере 2 — ва- куум. Открывают крышку 50 и производят установку образца, подлежащего испытаниям, после чего закрывают крышку 50. Затем производят откачку воздуха из шлюзовой камеры, открывают вакуумный затвор 51 и с помощью привода 18 продольного перемещения опускают штангу 12 вместе с испытуемым образцом в вакуумную камеру (фиг. 13), Вращение звездочек 22 и

23 приводит в движение цепи 32, и штанга 12 опускается, а противовес

26 поднимается. Масса противовеса 26 в два раза больше массы штанги 12 с образцом 13, а проходимый путь (величина хода) противовеса 26 в д::.:" раза меньше перемещения штанги 12.

При необходимости перемещения образца вдоль оси вакуумной камеры 2 (в направлении, указанном стрелкой Ж) производят наклон корпуса 1 приводом

35 наклона, расположенным в плоскости оси вакуумной камеры 2, и затем производят перемещение штанги 12 по высоте с помощью привода 18 продольного перемещения.

При необходимости перемещения образца в направлении, перпендикулярном оси вакуумной камеры 2, производят наклон корпуса 1 приводом 35 наклона, расположенным в поперечной плоскости, и затем производят перемещение штанги 12 по высоте с помощью привода 18 продольного перемещения.

Поворот штанги 12 вокруг ее продольной оси происходит на угол + 90 (для ориентации образца под заданным углом, не превышающим 190 ), при этом происходит закрутка проводов (на длине штанги), идущих от датчиков к гермораэъему.

Если необходимо сохранить вертикальное положение образца при на1305902 клоне штанги, используется шарнирное крепление площадки для образца к концу штанги, в этом случае за счет собственного веса площадка с образцом занимает вертикальное положение.

После проведения испытаний образцов в вакуумной камере возвращают штангу 12 в вертикальное положение, поднимают ее в верхнее положение и закрывают вакуумный затвор 51, после !О чего впускают в шлюзовую камеру воздух, открывают крышку 50 и извлекают образец. При этом не происходит разгерметизации всего объема вакуумной камеры. Происходит только разгерметизация шлюзового отсека 3, благодаря этому при испытании последующего образца выход на заданный режим вакуумной камеры (создание заданного вакуума) происходит быстро и с малой 20 затратой времени (поскольку объем шлюзового отсека во много раз меньше объема вакуумной камеры).

Формула изобретения

1. Устройство для пространственной ориентации образцов в вакуумной камере, содержащее герметичный стакан с сильфонным уплотнением и штангу с ме- З0 ханиэмом ее подъема и опускания, площадку для перемещения образцов, о т— л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем обеспечения поворота 35 площадки в трех взаимно перпендикулярных плоскостях и смены образцов в вакуумной камере со шлюзом, оно снабжено механизмом поворота штанги локруг оси с полым цилиндром и механизмами наклона герметичного стакана в двух взаимно перпендикулярных плоскостях, причем механизм подъема и опускания штанги снабжен двумя парами блоков, противовесом и направляющими, расположенными в полом цилиндре, сильфонное уплотнение размещено между вакуумным шлюзом и герметичным стаканом и соединено с ним посредством шарнира в виде двухосного кардана, механизм подъема и опускания штанги соединен с приводом посредством зубчатой конической передачи, противовес выполнен в виде охватывающей штангу рамы и соединен посредством цепной передачи с двумя парами блоков, два из которых жестко соединены с герметичным стаканом, а два других соединены с противовесом, при этом один конец цепной передачи соединен со штангой, а другой конец — с герметичным стаканом, механизм поворота штанги вокруг ее оси кинематически соединен с полым цилиндром, установленным внутри стакана с возможностью вращения.

2. Устройство по п.1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что механизм подъема и опускания. штанги снабжен дополнительными двумя парами блоков с тросом, два из которых жестко соединены с герметичным стаканом, а два других соединены с противовесом, при этом один конец троса соединен со штангой, а другой конец троса — с герметичным стаканом.

1305902

А-А

27

Фиг.З

Фиа4

f 305902

И

39

Ч

Г-Г

) 305902

3Z 59 Я

Фиа 1Т

51

Ю

12

Составитель В. Сутормин

Редактор И. Горная Техред Л.Сердюкова Корректор M. Самборская

Заказ 1468/57 Тираж 802 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие; r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Устройство для пространственной ориентации образцов в вакуумной камере Устройство для пространственной ориентации образцов в вакуумной камере Устройство для пространственной ориентации образцов в вакуумной камере Устройство для пространственной ориентации образцов в вакуумной камере Устройство для пространственной ориентации образцов в вакуумной камере Устройство для пространственной ориентации образцов в вакуумной камере Устройство для пространственной ориентации образцов в вакуумной камере 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к электротехнике, в частности к производству электрических источников света,преимущественно к сборке цоколей.Цель - расширение эксплуатационных возможностей за счет обеспечения ориентирования деталей, длина которых незначительно отличается от диаметра

Изобретение относится к технологическому оборудованию для подачи радиодеталей

Изобретение относится к области подачи радиодеталей, в частности к устройствам для загрузки плоских .изделий

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов

Изобретение относится к радиотехнике

Изобретение относится к области подачи радиодеталей

Изобретение относится к технологическому оборудованию по производству интегральных схем и может быть использовано в различных областях народного хозяйства

Изобретение относится к технологической оснастке, используемой в процессе изготовления радиодеталей

Изобретение относится к автоматизации производственных процессов, в частности к радиоэлектронному машиностроению, а именно к оборудованию для монтажа полупроводниковых приборов и радиоэлементов преимущественно плоской формы на печатные платы и подложки микросборок

Изобретение относится к автоматизации производственных процессов, в частности к радиоэлектронному машиностроению, а именно к оборудованию для монтажа ИЭТ преимущественно плоской формы на печатные платы и подложки микросборок

Изобретение относится к устройствам для установки изделий электронной техники на печатную плату, к конструкциям промышленных роботов для выполнения сборочных и монтажных работ

Изобретение относится к области радиоэлектронных технологий и может быть использовано в малогабаритных автоматах поверхностного монтажа

Изобретение относится к области радиоэлектронных технологий и может быть использовано в малогабаритных автоматах поверхностного монтажа

Изобретение относится к области радиоэлектронных технологий и может быть использовано в малогабаритных автоматах поверхностного монтажа

Изобретение относится к области радиоэлектронных технологий и может быть использовано в малогабаритных автоматах поверхностного монтажа

Изобретение относится к области радиоэлектронных технологий и может быть использовано в малогабаритных автоматах поверхностного монтажа

Изобретение относится к подаче деталей при изготовлении блоков электронной аппаратуры

Изобретение относится к области радиоэлектронных технологий и может быть использовано в малогабаритных автоматах поверхностного монтажа
Наверх