Способ изготовления n-p+- и p-p+-структур кремниевых непланарных приборов

 

Способ изготовления n-p⁺- и p-p⁺ - структур кремниевых непланарных приборов, включающий заполнение промежутка между кремниевой монокристаллической пластиной-подложкой и пластиной-источником расплавом алюминия и последующее проведение зонной перекристаллизации в поле с градиентом температур, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества структур за счет уменьшения удельного сопротивления p⁺-слоя, в качестве пластины-источника используют пластину поликристаллического кремния, легированную бромом до уровня 10²⁰ - 3 · 10²⁰ · см^-3.